“江苏弘琪工业自动化有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果34个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种定位精度高的全自动植球装置及其使用方法-CN202310966360.6在审
发明人：刘劲松;刘泽洋 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种定位精度高的全自动植球装置，包括第一安装板、支撑板和储料框，所述第一安装板的顶部对称安装有支撑板，所述储料框的底部贯穿开始有出料口，所述第一导向框的内侧活动安装有移动板，所述第二液压缸的输出端安装有移动框，所述移动框的内部对称安装有第二支撑杆，所述第二支撑杆的顶部活动安装有模板。本发明移动框将移动板向后方推动，使储料框内部的锡球通过出料口落到模板上方，进而通过模板的孔洞内部进入基板的安装孔洞内，通过第一液压缸推动推板移动可以使落在模板上的锡球左右移动，使锡球更容易进入模板的孔洞内，移动框向前移动时多余的锡球会留在储料框内，无需另外将锡球刮除，提高植球效率。
一种定位精度全自动装置及其使用方法

[发明专利]一种适用于8寸晶圆的晶圆盒(SMIF)装载装置-CN202310785393.0在审
发明人：刘劲松;刘泽洋;许慧玲 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于8寸晶圆的晶圆盒(SMIF)装载装置，包括安装板，所述安装板的正面安装有承载板。本发明通过安装有承载板，工作人员可以将八寸的晶圆放置到对应大小的晶圆盒的内侧储存，然后再通过防护块移动晶圆盒，使晶圆盒带动其内侧放置的八寸晶圆一同移动放置到装载板的顶部，使插头插入环槽的内侧，随后工作人员需要在装载板的支撑下控制旋转气缸带动转盘转动一定角度，使转盘带动插头沿着环槽转动，直至插头插入插孔的内侧，使插头可以利用与插孔的嵌合作用定位晶圆盒在装载板顶部，使防护块可以利用自身弧度缓冲偏移外力，进而提高晶圆盒对八寸晶圆的防护作用，进而该装置可以适用于八寸晶圆的支撑放置和保护。
一种适用于寸晶圆晶圆盒 smif 装载装置

[发明专利]一种超薄晶圆载体基片制造用夹持校准装置及使用方法-CN202310491528.2在审
发明人：刘劲松;刘泽洋;许慧玲 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种超薄晶圆载体基片制造用夹持校准装置及使用方法，包括，底板，所述底板的顶部设置有支撑平台，所述支撑杆的顶端连接有夹紧机构，所述夹紧机构的底部对称设置有安装架，所述安装架的内壁设置有夹紧气缸，所述夹紧气缸的一端固定连接有连接架，所述夹紧机构包括滑轨、滑块和夹持板，所述滑轨对称设置在夹紧机构的上方。本发明通过安装有减震机构便于对超薄晶圆载体基片制造用夹持校准装置对夹持基片施加的冲击力进行缓冲，夹持板的位置移动时会带动减震机构的位置移动，减震机构移动带动橡胶板与超薄晶圆载体基片边缘部位接触后，使橡胶板对超薄晶圆载体基片进行夹持定位，同时避免夹持力度过大对晶圆载体基片边缘部位造成损害。
一种超薄载体制造夹持校准装置使用方法

[实用新型]一种防翘曲的凸点式晶圆载台-CN202222819076.X有效
发明人：刘劲松;郭俭 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种防翘曲的凸点式晶圆载台，包括：安装支架，所述安装支架的一侧设置有连接加强块，所述安装支架的顶部安装有连接板，所述连接板的另一端安装有固定环，所述固定环的下方设置有气缸，所述气缸的输出端安装有凸起头，所述固定环的顶部设置有支撑钉，所述固定环的内部设置有旋转体，所述旋转体的内部开设有连通槽，所述连通槽的内部设置有吸盘，所述吸盘的一侧设置有盖板，所述连通槽的下方开设有旋转连接槽。本实用新型可以同步启动两侧的气缸，从而推动凸起头相互靠近，这样可以让移动板提高，这样可以让起钉向上移动，通过起钉可以把晶圆向上运送，这样便于机械臂拿取晶圆片。
一种防翘曲凸点式晶圆载台

[实用新型]一种晶圆夹持手臂-CN202222821043.9有效
发明人：刘劲松;郭俭 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。本实用新型通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片上设置的压力传感器，压力传感器受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性。
一种夹持手臂

[发明专利]一种12吋晶圆用平整固定装置-CN201811137336.7有效
发明人：刘劲松;郭俭;张金志;崔恒彬;邵志翔 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种12吋晶圆用平整固定装置，包括：承载台；吸附固定部，安装在承载台上；以及检测部，用于检测翘曲晶圆的平整度，包括负压检测单元和平整度检测单元，其中，吸附固定部具有：预固定单元、装载固定单元以及用于为预固定单元和装载固定单元分别提供真空负压的负压单元，预固定单元，安装在承载台上，可相对于承载台上下移动，用于对翘曲晶圆进行预固定，装载固定单元，安装在承载台上，可相对于承载台上下移动，用于装载固定翘曲晶圆，具有底盘以及设置在底盘上的多个吸附孔和多个底盘通孔，该底盘通孔位于底盘的中央区域，用于供预固定单元通过，当预固定单元对翘曲晶圆进行预固定后，装载固定单元启动负压对预固定后的翘曲晶圆进行吸附固定。
一种 12 吋晶圆用平整固定装置

[发明专利]一种利用传感技术的料盒挡杆检测机构-CN202211346919.7在审
发明人：刘劲松;郭俭 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用传感技术的料盒挡杆检测机构，包括底板、龙门架和挡料器，所述龙门架的下方安装有多组光电传感器，所述框架的内壁安装有二号传送带，所述框架的外壁安装有收纳槽。本发明通过安装有光电传感器和挡料器可以对料盒内部传送有瑕疵工件进行筛分识别，送料盒移动至光电传感器的下方后，当光电传感器检测送料盒内部的工件外表完好无损时，通过一号传送带使送料盒带动待加工的工件移动至下一工位进行加工，当光电传感器检测到送料盒内部的工件表面有瑕疵时，使一号伸缩杆工作推动限位挡杆移动出挡料器的内部后，可以对内部放置有瑕疵工件的送料盒进行限位，利用光电传感器可以对外表有瑕疵的工件进行自动筛分。
一种利用传感技术料盒挡杆检测机构

[发明专利]一种边缘吸附可替换治具平台-CN202211346863.5在审
发明人：刘劲松;郭俭 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B25H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种边缘吸附可替换治具平台，包括支脚，所述支脚的顶部安装有支座。本发明通过安装有轴承二，工作人员需要将治具需要使用到的图纸的边缘在纵板和珩板的支撑下放置到边缘槽的内侧，同时工作人员需要根据实际情况推动纵板，使纵板在外力的作用下带动珩板一同通过撑杆和侧板与顶座利用转柱以轴承二为圆心转动到合适角度处，同时毛垫会在纵板和珩板的支撑下利用自身干燥且毛绒的材质产生静电对放置到边缘槽内侧的图纸边缘进行吸附，使图纸可以在纵板和珩板的支撑下放置在合适的工作地点处，方便工作人员进行观看。
一种边缘吸附替换平台

[发明专利]一种晶圆平整固定设备-CN201811137363.4有效
发明人：刘劲松;郭俭;毕秋吉;谢旭波;崔恒彬 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆平整固定设备，和植球装置相连接，用于对翘曲晶圆进行平整固定，其特征在于，包括：平整固定装置，用于对翘曲晶圆进行平整固定，包含承载台、吸附固定部以及压边固定部；以及固定控制装置，用于控制平整固定，其中，承载台能够在平整固定装置的平整固定工位和植球装置的植球工位之间来回移动，吸附固定部安装在承载台上，包含预固定单元、装载固定单元以及负压单元，压边固定部包含压边单元、喷气单元以及压边电机，固定控制装置包括负压存储部、平整度存储部、时间存储部、固定控制部、负压传感器、距离传感器、负压判断部、信息处理部以及平整度判断部。
一种平整固定设备

[发明专利]一种晶圆平整固定装置-CN201811137141.2有效
发明人：刘劲松;郭俭;钟亮;张应伍;马强 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种晶圆平整固定装置包括：承载台；吸附固定部具有预固定单元和装载固定单元；以及负压单元；压边固定部用于对装载固定在吸附固定部上的翘曲晶圆的边缘区域进行平整固定；以及检测部包括安装在吸附固定部上的负压检测单元和安装在压边固定部上的平整度检测单元，压边固定部具有：支架；压边单元可相对于吸附固定部上下移动，具有压盘和安装在压盘上的多个压边头；喷气单元用于喷射垂直向下的气流；以及压边电机用于驱动压边单元和喷气单元移动，翘曲晶圆预固定并装载至装载固定单元上，喷气单元向翘曲晶圆喷射气体，同时压边单元向下运动将预固定后的翘曲晶圆的边缘区域压平，装载固定单元对压平后的翘曲晶圆进行吸附固定。
一种平整固定装置

[发明专利]一种晶圆平整固定方法-CN201811137091.8有效
发明人：刘劲松;郭俭;钟亮;马强;杨帆 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆平整固定方法，在将翘曲晶圆预固定并装载至底盘上后将其边缘压平，再通过底盘上的多个吸附孔圈对整个翘曲晶圆背面的全部区域进行吸附固定，既保证了翘曲晶圆在较短的时间内获得足够大的吸附力，进而获得更好的吸附固定效果，提高固定后的平整度，又不会对翘曲晶圆上具有芯片结构的位置造成损伤，影响后续操作；而且，由于负压传感器、距离传感器和判断单元，能够对负压总管道内的负压进行检测确认，确保翘曲晶圆被均匀稳定的吸附力所吸附固定，进而获得更好的吸附固定效果；能够对平整固定后的翘曲晶圆的平整度进行检测确认，确保固定后的翘曲晶圆的平整度处于误差范围内，保证了后续操作的顺利进行。
一种平整固定方法

[实用新型]一种转台式匀胶装置-CN202121966175.X有效
发明人：刘泽洋;谢旭波;杨帆 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司;上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B05C11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种转台式匀胶装置，该装置包括底板以及分别设置在底板上的转台单元、升降式刮胶单元、驱动单元，升降式刮胶单元与转台单元相适配，驱动单元与转台单元传动连接。与现有技术相比，本实用新型解决了传统匀胶方法无法将胶涂匀至高度水平、无法做到每次动作的产出结果一致、无法快速根据胶的量做出调整、耗时较长、装置占用空间大的问题。
一种转台式匀胶装置

[实用新型]一种用于晶圆的顶针接触式测距装置-CN202121968063.8有效
发明人：刘泽洋;谢旭波;陆思轶 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司;上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，该装置包括Y向移动机构以及分别设置在Y向移动机构上的伸缩式顶针单元、接近传感器触发机构、限位保护机构，伸缩式顶针单元分别与接近传感器触发机构、限位保护机构相适配。与现有技术相比，本实用新型采用顶针接触式测距方式，相比激光测距、超声波测距等传统测距方式，本实用新型抗干扰能力强，测量精度高(同电机精度，微米级)；本实用新型可利用晶圆相关机台已有的结构和元器件，新增元器件少，成本低，可靠性高，性价比高。
一种用于顶针接触测距装置

[发明专利]一种用于晶圆的顶针接触式测距装置-CN202110961555.2在审
发明人：刘泽洋;谢旭波;陆思轶 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司;上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，该装置包括Y向移动机构以及分别设置在Y向移动机构上的伸缩式顶针单元、接近传感器触发机构、限位保护机构，伸缩式顶针单元分别与接近传感器触发机构、限位保护机构相适配。与现有技术相比，本发明采用顶针接触式测距方式，相比激光测距、超声波测距等传统测距方式，本发明抗干扰能力强，测量精度高(同电机精度，微米级)；本发明可利用晶圆相关机台已有的结构和元器件，新增元器件少，成本低，可靠性高，性价比高。
一种用于顶针接触测距装置

[发明专利]一种转台式匀胶装置-CN202110961531.7在审
发明人：刘泽洋;谢旭波;杨帆 -专利权人： 江苏弘琪工业自动化有限公司;上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B05C11/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种转台式匀胶装置，该装置包括底板以及分别设置在底板上的转台单元、升降式刮胶单元、驱动单元，升降式刮胶单元与转台单元相适配，驱动单元与转台单元传动连接。与现有技术相比，本发明解决了传统匀胶方法无法将胶涂匀至高度水平、无法做到每次动作的产出结果一致、无法快速根据胶的量做出调整、耗时较长、装置占用空间大的问题。
一种转台式匀胶装置

1
2
3
下一页»
尾页
共 34 条