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[发明专利]槽轮及具有其的线切割装置-CN202310974187.4在审
发明人：李晓宝;刘姣龙;袁祥龙;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请提供一种槽轮及具有其的线切割装置，槽轮包括有本体，本体上设置有槽体，槽体具有开口且包括第一部段，开口位于第一部段的一侧；第二部段，第二部段位于第一部段背离开口的一侧，第一部段与第二部段连接；定位部，定位部位于第二部段远离第一部段的一侧，定位部与第二部段连接，定位部被配置对线切割装置的切割线进行定位；其中，沿槽轮的第一方向，第一部段的第一内壁之间具有第一尺寸W1，第二部段的第二内壁之间具有第二尺寸W2，第二尺寸W2小于等于第一尺寸W1。本申请通过对槽轮的改进，可提有效升产品质量。
具有切割装置

[发明专利]一种晶圆及其制备方法-CN202311067864.0在审
发明人：谷海云;马乾志;张雨杭;姚祖英;魏启旺;张奇;罗朝阳;李志才;马坤;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆及其制备方法，制备方法包括：提供衬底硅层，进行第一次升温；对衬底硅层进行第一次热氧化，在衬底硅层表面形成第一氧化层；进行第二次升温；对衬底硅层进行第二次热氧化，在衬底硅层表面形成第二氧化层；进行第三次升温；对衬底硅层进行第三次热氧化，在衬底硅层表面形成第三氧化层；降温，得到晶圆。通过分阶段升温，对衬底硅层进行分步氧化，先形成的氧化层可以作为缓冲层，减少晶圆材料表面和内部受热不均匀导致的应力损伤，同时通过控制升降温速率，减少因内外受热不均匀带来的内部结构损伤，在生长较厚的氧化层情况下，实现最终氧化硅片的应力损伤达到最小的效果。
一种及其制备方法

[发明专利]一种晶圆及其制备方法-CN202311066746.8在审
发明人：谷海云;马乾志;张雨杭;姚祖英;魏启旺;张奇;罗朝阳;李志才;马坤;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆及其制备方法，包括：衬底硅层、第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层；衬底硅层、第三氧化层、第二氧化层、第一氧化层沿晶圆的厚度方向X依次排列；其中，第一氧化层具有第一平均厚度L1，第二氧化层具有第二平均厚度L2，第三氧化层具有第三平均厚度L3，满足：0.06μm≤L1≤0.2μm，0.25um≤L1+L2≤0.45um，且0.5μm≤L1+L2+L3≤0.7μm。本申请的制备方法通过干湿氧化结合，以及匀速逐级升温的工艺，对衬底硅层进行分阶段氧化，获得更致密的氧化膜，避免在后续工序中受到腐蚀损伤。
一种及其制备方法

[发明专利]一种磨片清洗工艺-CN202310966724.0在审
发明人：白玉麟;段立群;孙希凯;东士博;刘建伟;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供一种磨片清洗工艺，步骤包括：对研磨后的硅片先进行预清洗，再对预清洗后的硅片进行碱液清洗；其中，所述碱液清洗时所用的药液为弱碱性清洗剂。本申请一种磨片清洗工艺，适合各种类型产品的清洗，清洗效果好且质量高，避免多种工艺切换而导致的切换工时的浪费，提高清洗效率；可有效去除硅片表面残留的杂质，并使腐蚀后的去除量不足0.5um，且不会对产品的TTV产生影响。
一种清洗工艺

[实用新型]可电动开合门与调节横向间隔的档案管理柜-CN202320880061.6有效
发明人：邱巧艳;王彦君 -专利权人：紫金矿业集团股份有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： A47B63/00 文献下载
摘要：可电动开合门与调节横向间隔的档案管理柜，它包括设有柜顶的柜体顶部设有电动装置及其柜体上方设有转动组件、柜体内部设有滑动组件；所述电动装置由带有电机箱盖的电机箱及其内部外接电源的伺服电机组成，能提供开合柜门的动力；所述转动组件由传动杆齿轮、置于齿轮上面的第一齿板与置于齿轮下面的第二齿板、置于柜门上头滑套和置于柜体上头滑动杆组成，用条杆连接第一齿板与右柜门，用另一条杆连接第二齿板与左柜门，能电动横向左右位移开合柜门；所述滑动组件由开有滑动槽的滑动板、上下带有滑动块的滑动挡板组成，能手动调节横向间隔，具有能电动平移开合橱门、可根据档案文件的分量来调节收纳整理的空间、归纳整理档案文件效率高等优点。
电动开合门调节横向间隔档案管理

[实用新型]一种液压油箱及其呼吸器-CN202320364787.4有效
发明人：刘晓磊;魏鹏;霍东东;刘超;王彦君;李小健;刘琪;郭彪 -专利权人：山西金鼎高宝钻探有限责任公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F15B1/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种液压油箱及其呼吸器，属于液压油箱的技术领域，包括呼吸器外壳、呼吸器接头、单向阀、棉网滤芯和干燥剂；呼吸器外壳包括顶板、底板以及连接顶板和底板上的侧板，顶板上设置有接口和单向通气孔；呼吸器接头安装在呼吸器外壳的接口上；单向阀安装在呼吸器接头中；多层棉网滤芯和干燥剂安装在呼吸器外壳中。该液压油箱呼吸器采用单向阀和单向通气孔限制气体单向流动，尽量避免吸附在棉网滤芯上的杂质被反吹回液压油箱中，呼吸器外壳中设置间隔设置棉网滤芯和干燥剂，兼顾吸附和干燥，减少液压油污染，延长液压油使用寿命。
一种液压油箱及其呼吸器

[实用新型]一种高低压转换水力割缝器-CN202320331462.6有效
发明人：张晓飞;王彦君;李小健;刘琪;郭彪;李雁龙;张雅楠 -专利权人：山西金鼎高宝钻探有限责任公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： E21B43/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高低压转换水力割缝器，属于水力割缝器的技术领域，包括外管Ⅰ、外管Ⅱ、内管、活塞管、活塞和弹簧；外管Ⅰ包括第一管道和第二管道，第二管道的管壁上设置有高压出水孔；外管Ⅱ包括第一管道和第二管道，第一管道的内壁上设置有环形内凸台，环形内凸台的管壁上设置有高压进水孔，外管Ⅱ的第一管道固定插设在外管Ⅰ的第二管道内，高压进水孔与高压出水孔对齐；内管外设置有环形外凸台，插设在外管Ⅱ的第二管道内；活塞管外设置有环形外凸台，活塞管滑动穿过环形内凸台；活塞为设置在有斜切面的斜切圆柱，活塞固定插设在活塞管内，弹簧套设在内管和活塞上。上述高低压转换水力割缝器可实现低压水钻进和高压水割缝的切换。
一种低压转换水力割缝器

[实用新型]一种新型的集中供液装置-CN202320207150.4有效
发明人：尹文宝;王维师;王锴;菅明辉;曹锦伟;李世权;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型的集中供液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有加热管，所述加热管的顶部设置有主抛光液箱，所述主抛光液箱的顶部设置有冷却水盘管，所述主抛光液箱的一侧设置有框架，所述框架的顶部分别设置有原液箱和氢氧化钾溶液箱，所述氢氧化钾溶液箱的一侧表面设置有氢氧化钾液位系统，所述原液箱和氢氧化钾溶液箱的一侧分别设置有原液供液泵和计量泵，所述框架的底部设置有三路供液系统。该一种新型的集中供液装置，在进行日常使用的过程中，可实现由原来的7小时换液延长至168小时换液，减少产品因换液带来的质量波动，进而有效的实现抛光液集中供应，减少抛光液的更换周期，提高产品的整体质量。
一种新型集中装置

[实用新型]一种新型的不停机换液装置-CN202320164865.6有效
发明人：尹文宝;黄盛军;王维师;白苏宁;王锴;菅明辉;曹锦伟;李仕权;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型的不停机换液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有冷水管，所述冷水管的顶部一侧设置有抛光液回收箱，所述抛光液回收箱的一侧设置有温度传感器，所述冷水管的一侧表面设置有液位传感器，所述冷水管一侧的底座顶部设置有供液泵，所述冷水管靠近底部的一侧设置有抛光液出口，所述抛光液出口与供液泵之间通过管道贯通连接。该一种新型的不停机换液装置，采用抛光机同时连接一主、一副两组供液系统实现不停机换液，减少传统的停机换液造成的工时浪费，减少停机造成大盘温度变化对产品几何参数造成的影响，有效的实现抛光机的抛光液寿命到期后，直接切换加入新抛光液的副TANK系统供液，达到不停机换液的目的。
一种新型停机装置

[发明专利]一种便携式碳排放和风速风向监测采样设备-CN202310775412.1在审
发明人：曹泊;唐盼;张远远;徐辉;王彦君;陈孚尧 -专利权人：江苏地质矿产设计研究院（中国煤炭地质总局检测中心）
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及采样技术领域，且公开了一种便携式碳排放和风速风向监测采样设备，包括主体机构、过滤机构、监测机构和辅助机构，所述过滤机构位于主体机构的前侧，所述监测机构位于过滤机构的下方，所述标气进气口固定设置在便携式箱体外壳上端的中部，该便携式碳排放和风速风向监测采样设备，通过在风速风向模块预留位的侧壁上，设计两条滑轨，滑轨高度与该预留位高度一致，风速风向模块可以通过风速风向模块滑块与预留位连接，并且可以通过滑块在滑轨上下移动，风速风向监测模块的4组气体通道，两两之间的夹角为45°，可以让来自东、东南、南、西南、西、西北、北、东北共8个方向的气流通过，提高监测采样设备的实用性。
一种便携式排放风速风向监测采样设备

[发明专利]一种安全使用HNO3-CN202310303455.X在审
发明人：郑岳亮;杨振域;龚赛;王超;吴志豪;王瀚;赵佳豪;杜金生;武卫;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种安全使用HNO3溶液的方法，其工艺方法包括以下步骤：S1、首先需要将HNO3桶、脉冲流量计、密封连接装置、隔膜泵和酸洗槽进行实时安装固定在相应位置处，并将HNO3桶、密封连接装置、脉冲流量计、隔膜泵和酸洗槽之间相互通过管道进行贯通连接，将酸排管路通过对空管进行实时与密封连接装置贯通安装在一起；S2、然后通过将酸洗槽增加一路HNO3进液管路，包含隔膜泵和脉冲流量计，将隔膜泵进液管路插入HNO3桶内，即可实现自动加液控制。本发明通过增加隔膜泵和脉冲流量计以及密封连接装置,有效的保证了自动供液系统的正常运转，通过HNO3自动供液系统上线，不仅实现了流量的精确控制，而且操作起来整体更安全。
一种安全使用 hno base sub

[实用新型]一种晶片厚度测量的自适应机构-CN202320154472.7有效
发明人：黄盛军;菅明辉;曹锦伟;孙晨光;李仕权;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片厚度测量的自适应机构，包括气缸，所述气缸的伸缩端设置有活塞杆，所述活塞杆的输出端设置有滑动销固定板，所述滑动销固定板的顶部设置有滑动销，所述滑动销的顶端设置有定位块安装板，所述定位块安装板的表面贯穿设置有测头，所述定位块安装板的顶部设置有定位块，所述定位块的顶部设置有陶瓷盘，所述陶瓷盘的底部设置有晶片，所述滑动销固定板的表面设置有滑动孔，且滑动孔与滑动销贯穿滑动连接。该一种晶片厚度测量的自适应机构，有效的避免了在进行陶瓷盘移栽到位时平面位置度有差别，更加容易使测量机构能够适应，减小了多块陶瓷盘本身的面型公差影响对测量的误差，有效的提升了晶片测量的精确性。
一种晶片厚度测量自适应机构

[发明专利]一种废水回用处理工艺-CN202310825991.6在审
发明人：周艺妃;孙维帅;潘力;董雪丽;张晋英;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本申请提供一种废水回用处理工艺，步骤包括：收集生产废水；对废水进行中和及絮凝；使废水中的絮凝物进行处理；再对废水进行过滤，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。本申请一种废水回用处理工艺，可快速且稳定地对废水进行回收处理，并可保证废液处理后的各项技术参数均符合生产所用的纯水标准，提高废水的利用率，节约水资源，降低生产成本。
一种废水用处理工

[发明专利]一种核电站智能监管信息系统及方法-CN202310551961.0在审
发明人：荆春宁;张雷;吴宇翔;徐思敏;陈日罡;吕冬宝;王欢;杜德君;李玉荣;王彦君;张冬;孙涛 -专利权人：中国核电工程有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G21D3/00 文献下载
摘要：本发明属于核电厂仪控技术，具体涉及一种智能化的信息监管系统及方法。系统包括现场仪表、边缘采集和处理机柜、生产控制系统采集处理柜、中心服务器机柜、人机交互平台、远程智能VDU、网络安全设备、镜像中心服务器、厂级人机交互设备；现场仪表的输出数据均通过生产控制系统采集处理柜进行数据采集；边缘采集和处理机柜分散采集现场仪表中的智能化业务数据；针对生产及智能化相关数据的采集与汇聚，搭建基础平台进行采集、算力、人机交互资源的统筹，进行核电智能化业务融合与实施，对多源异构数据采集进行统筹规划，对核电运行控制、运行辅助优化、运维支持和管理方面的信息进行智能化监管，降低运行降本。
一种核电站智能监管信息系统方法

[发明专利]一种核电厂DCS系统的报警方法及装置-CN202310749441.0在审
发明人：白江斌;刘松林;高媛;张帆;田晖;邓士光;王硕;王彦君 -专利权人：中国核电工程有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种核电厂DCS系统的报警方法及装置，该方法包括：对核电厂DCS系统进行监控；当监控到所述核电厂DCS系统故障时，生成第一报警信号；当第二次监控到所述核电厂DCS系统故障时，生成第二报警信号；判断所述第二报警信号的报警优先级是否大于等于所述第一报警信号的报警优先级；如果是，则进一步判断所述第二报警信号与所述第一报警信号之间的时间间隔是否小于等于预设间隔；如果是，则启动第一报警机制。通过本发明不仅能按照报警信号的紧急程度提醒操作员，又能解决报警信息较多时操作员很难注意到新报警产生的问题，便于操作员对电厂状态进行综合判断，从而为核电厂稳定运行提供保障。
一种核电厂 dcs 系统报警方法装置

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