[发明专利]半导体承载件暨封装件及其制法无效
申请号: | 201110208031.2 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN102867801A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 林邦群;蔡岳颖;陈泳良 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L23/31;H01L23/00;H01L21/60;H01L21/56;H01L21/48 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 承载 封装 及其 制法 | ||
1.一种半导体承载件,包括:
第一封装层,具有多个贯穿的顶宽底窄的锥形孔;
电性接点,形成于各该锥形孔中而呈锥形;以及
多路线路,形成于该第一封装层的顶面上,各该线路的一端连接各该电性接点,各该线路的另一端形成有焊指垫,该等焊指垫以围绕方式配置,以于该第一封装层的顶面上定义出一置晶区。
2.根据权利要求1所述的半导体承载件,其特征在于,该半导体承载件还包括承载板,其设于该第一封装层的底面上。
3.根据权利要求1所述的半导体承载件,其特征在于,该电性接点为金/钯/镍/钯、金/镍/铜/镍/金、金/镍/铜/镍/银、金/镍/铜/银、钯/镍/钯、金/镍/金、或钯/镍/金的自底部依序构成的多层金属。
4.根据权利要求1所述的半导体承载件,其特征在于,该电性接点与线路为一体成型或分别成型。
5.一种半导体封装件,其包括:
第一封装层,具有多个贯穿的顶宽底窄的锥形孔;
电性接点,形成于各该锥形孔中而呈锥形;
多路线路,形成于该第一封装层的顶面上,各该线路的一端连接各该电性接点,各该线路的另一端形成有焊指垫,该等焊指垫以围绕方式配置,以于该第一封装层的顶面上定义出一置晶区;
半导体芯片,设置于该置晶区中的该第一封装层的顶面上;
多个导电组件,用于将该半导体芯片电性连接至各该焊指垫;以及
第二封装层,其覆盖该半导体芯片、导电组件、线路与第一封装层。
6.根据权利要求5所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体封装件还包括焊球,其形成于该第一封装层底面的各该电性接点上。
7.根据权利要求5所述的半导体封装件,其特征在于,于该半导体芯片与该第一封装层之间还包括粘着层。
8.根据权利要求7所述的半导体封装件,其特征在于,该粘着层的材质为玻璃粉、环氧树脂、或干膜。
9.根据权利要求5所述的半导体封装件,其特征在于,该电性接点为金/钯/镍/钯、金/镍/铜/镍/金、金/镍/铜/镍/银、金/镍/铜/银、钯/镍/钯、金/镍/金、或钯/镍/金的自底部依序构成的多层金属。
10.根据权利要求5所述的半导体封装件,其特征在于,该电性接点与线路为一体成型或分别成型。
11.一种半导体承载件的制法,包括:
于一承载板上形成第一封装层;
于该第一封装层中形成多个顶宽底窄的锥形孔,以外露该承载板;以及
于各该锥形孔中形成锥形的电性接点,并于该第一封装层上形成多路线路,各该线路的一端连接各该电性接点,各该线路的另一端形成有焊指垫,该等焊指垫以围绕方式配置,以于该第一封装层上定义出一置晶区。
12.根据权利要求11所述的半导体承载件的制法,其特征在于,该半导体承载件还包括移除该承载板。
13.根据权利要求11所述的半导体承载件的制法,其特征在于,该电性接点与线路的形成步骤包括:
于该具有锥形孔的第一封装层上形成阻层,该阻层具有多个外露该锥形孔与第一封装层的阻层开口区;
于该阻层开口区中形成该电性接点与线路;以及
移除该阻层。
14.根据权利要求11所述的半导体承载件的制法,其特征在于,该电性接点为金/钯/镍/钯、金/镍/铜/镍/金、金/镍/铜/镍/银、金/镍/铜/银、钯/镍/钯、金/镍/金、或钯/镍/金的自底部依序构成的多层金属。
15.根据权利要求11所述的半导体承载件的制法,其特征在于,形成该锥形孔的方式为雷射钻孔或机械钻孔。
16.根据权利要求11所述的半导体承载件的制法,其特征在于,该电性接点与线路为一体成型或分别成型。
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