专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种三维器件的套刻误差补偿方法及系统-CN201910861907.X有效
  • 张利斌;韦亚一;陈睿;马乐 - 中国科学院微电子研究所
  • 2019-09-12 - 2021-12-07 - H01L21/66
  • 本发明提供了一种三维器件的套刻误差补偿方法,包括在测量晶圆套刻标识之间的第一套刻误差的基础上,再测量晶圆翘曲高度,并以第一套刻误差作为基准坐标,基于基准坐标和晶圆翘曲高度构造高度轮廓图;对高度轮廓图进行特征分析,获取高度曲面轮廓数据;基于套刻标识的图层信息和高度曲面轮廓数据进行计算,得到第二套刻误差;第一套刻误差减第二套刻误差,得到修正数据,基于修正数据补偿采用传统套刻测量方法测量出的套刻误差,解决了由于晶圆形变和翘曲所导致的高度差带来的套刻误差本发明还提供了一种三维器件的套刻误差补偿系统,通过加入激光测距单元,能够准确测量晶圆翘曲高度,实现对现有套刻测量系统的修正和性能提升。
  • 一种三维器件误差补偿方法系统
  • [发明专利]一种近圆LEO目标轨道误差动态评估方法-CN202210093786.0有效
  • 王秀红;张荣之;张炜;侯重远 - 中国人民解放军32035部队
  • 2022-01-26 - 2022-04-26 - G06F17/10
  • 本发明公开了一种近圆LEO目标轨道误差动态评估方法,包括:获取近圆LEO目标的预报时长和测轨数据,计算近圆LEO目标的轨道高度;在预先构建的多个轨道预报误差模型中,确定与轨道高度匹配的一个目标轨道预报误差模型;利用预报时长、测轨数据量和目标轨道预报误差模型,得到近圆LEO目标的轨道预报位置误差在R、T、N三个方向的误差分量;多个轨道预报误差模型是基于轨道误差影响因素分析和轨道预报误差演化特性分析的结果,针对不同轨道高度进行轨道预报误差建模得到的本发明能针对不同轨道高度的目标轨道,用对应的轨道预报误差模型进行误差评估分析,因此模型适应性更高,能提高不同轨道类型的LEO目标轨道误差评估的准确性。
  • 一种leo目标轨道误差动态评估方法
  • [发明专利]一种无人机的高度自适应控制技术-CN202210936770.1在审
  • 孙宏波;马国欣;任英娜 - 烟台大学
  • 2022-08-05 - 2022-10-11 - G05B13/02
  • 本发明是关于一种无人机的高度自适应控制技术,其通过测量无人机俯仰角、俯仰角速率、加速度、垂直高度形成位置误差、速度误差与加速度误差三位一体的误差滑模,同时从俯仰角、俯仰角速率、垂直加速度三个层面进行干扰自适应估计与补偿形成俯仰角期望信号,并通过俯仰角误差、俯仰角速率误差以及误差非线性变换形成误差综合滑模面,并叠加由加速度与角速度两个方面进行的干扰自适应估计补偿,最终实现了无人机高度自适应控制的方法,具有良好的高度抗干扰自适应能力。
  • 一种无人机高度自适应控制技术
  • [发明专利]晶圆厚度测量方法及装置-CN202310169352.9有效
  • 黎雪峰;何晓宇;尹陈林 - 泰微科技(珠海)有限公司
  • 2023-02-23 - 2023-08-29 - G01B11/06
  • 本发明公开了一种晶圆厚度测量方法及装置,测量方法包括:获得吸盘上表面和标定物体的高度数据;基于获得的标定物体的高度数据获得R轴驱动组件运动误差值;基于获得的R轴驱动组件运动误差值对获得的吸盘上表面的高度数据进行误差补偿;获得被测物体上表面和标定物体的高度数据;基于获得的标定物体的高度数据获得R轴驱动组件运动误差值;基于获得的R轴驱动组件运动误差值,对获得的被测物体的高度数据进行误差补偿;基于获得的吸盘上表面的高度数据和被测物体上表面的高度数据获得被测物体的厚度数据
  • 厚度测量方法装置

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