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B 作业；运输

C 化学；冶金

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F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

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2023-09-26 公布专利

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国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]退火腔进气装置-CN201910784371.6在审
发明人：代迎伟;杨宏超;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C21D1/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔以及进气筒，每个散气腔由一条供气支路与供气管路连通，所述进气筒的一端与供气支路的出气口相连并位于所述散气腔内，所述进气筒的侧壁上开有多个散气孔本发明通过每个散热腔内增加一个用于缓冲均布工艺气流的进气筒，解决了现有装置内工艺气体一下子涌入散气腔内，无法在散气腔内均匀分布后均匀进入退火腔的问题，保证了退火腔内工艺气体的均匀性。
退火腔进气装置

[发明专利]退火腔进气装置-CN201910784408.5在审
发明人：代迎伟;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C22F1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔和多个气流控制楔子，每个散气腔通过一条供气支路与供气管路相连通，每个供气支路与供气管路之间安装有一个气流控制楔子；气流控制楔子包括固定端和导气管本发明使用一个混气模块供应多个退火腔体的工艺气体，减少了成本以及设备体积，通过在退火腔进气装置上增加气流控制楔子，在工艺过程中通过更换不同内管径的气流控制楔子，达到多个腔体的气流均匀稳定，实现了工艺稳定
退火腔进气装置

[实用新型]汽车的进气谐振腔及进气系统-CN201520669729.8有效
发明人：王晓东;牛浩龙 -专利权人：北京汽车股份有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种汽车的进气谐振腔及进气系统。该汽车的进气谐振腔包括：用于与发动机进气主管连接的外连接管，谐振腔壳体，隔板及锥形内连接管；外连接管与谐振腔壳体连通，隔板沿垂直于外连接管的方向固定设置于谐振腔壳体内，以将谐振腔壳体内部分隔为不同的腔体该汽车的进气谐振腔实现了对进气噪声的两个问题频率进行调校的同时减小了内连接管的尺寸，使内连接管能够顺利的布置在进气谐振腔的腔体内。
汽车谐振腔系统

[实用新型]汽车进气谐振腔-CN200420105656.1无效
发明人：刘振宇;殷西军;赵玲;陈荣军;张建辉 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2004-12-15 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： F02M35/104 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车进气谐振腔，包括腔体、进气管路和出气管路，还于腔体内设置分管路，进气管、出气管管路延伸汇接于腔体内，构成汇接管路，汇接管路中设置有汇接出口与该分管路连接贯通。由此延长管路的长度，增加发动机整个进气系统的长度，在发动机中低转速段提高充气效率，在降低发动机进气噪声的同时，又提高了车辆动力性与经济性，达到容积较大的谐振腔起到的作用。
汽车谐振腔

[发明专利]进气环、进气组件、工艺腔装置和CVD设备-CN201110118979.9有效
发明人：周卫国 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-05-09 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提出了进气环、进气组件、工艺腔装置和CVD设备。所述进气环包括环体，所述环体分别设有出气槽、均流槽、多个供气孔和多个导入通道，其中，所述出气槽沿所述环体的周向形成在所述环体的外周面上，所述均流槽沿所述环体的周向形成在所述环体的下表面上且与所述出气槽连通根据本发明实施例的进气环，结构简单、加工方便、成本低、可以实现气体的均匀分配。
进气环组件工艺装置 cvd 设备

[发明专利]一种进气稳压腔-CN201510827460.6在审
发明人：唐中;黄雅婷;韩龙章;杨润岱 -专利权人：重庆普什机械有限责任公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： F02M35/10 文献下载
摘要：本发明公开一种进气稳压腔，包括腔体(1)，在所述腔体(1)的前壁底端设置有进气口(2)，在所述腔体(1)的侧壁顶端设置有出气口(3)，在所述腔体(1)的后壁上还设置有防爆阀(4)，所述防爆阀(4)位于所述进气口有益效果，安全性能高，防爆能力强，安装简单，稳定效果好，结构设计合理，避免了进气干扰和较大的气压波动。
一种稳压

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN201910138374.2在审
发明人：王乐;柳朋亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种进气装置及反应腔室，包括进气本体和喷嘴，进气本体的上端面设有环形凹道，在进气本体的环形凹道处设置有安装孔，喷嘴中设置有进气孔，喷嘴可拆卸的安装在安装孔中，且进气孔与环形凹道连通。本发明提供的进气装置及反应腔室能够方便的对进气装置进行清理，降低进气装置的维护成本。
装置反应

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN202110477358.3在审
发明人：秦海丰;史小平;兰云峰;王勇飞;张文强;王昊;任晓艳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种进气装置及反应腔室，反应腔室包括腔室本体和喷淋头，喷淋头设置于腔室本体的顶部，进气装置用于和喷淋头连通，进气装置包括第一管道和进气组件；第一管道用于与喷淋头相连通，第一管道的侧壁开设有第一通孔，第一管道的进气端用于通入第一反应气体或清洗气体；进气组件包括组件本体，组件本体套设于第一管道的外侧，组件本体内具有环绕第一管道的至少两个通道，组件本体的外侧设有第二通孔，第二通孔与其相邻近的通道相连通上述方案能够解决反应腔室的清洗效果较差的问题。
装置反应

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN200710119581.0有效
发明人：南建辉;宋巧丽 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-07-26 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种进气装置及反应腔室。反应腔室的侧壁与上盖之间设有进气装置，进气装置为环状，内部设有环形空腔，进气装置的外侧壁上设有至少一个进气口；进气装置的内侧壁上设有多出气口。工艺气体可通过进气装置的进气口和出气口从侧面进入反应腔室，可以有效的改进进气方式，既能使气流在反应腔室内分布均匀，减少由于气流分布不匀对工艺结果的影响，又能使工艺气体充分反应，降低成本。
装置反应

[发明专利]进气组件及反应腔室-CN201510781116.8有效
发明人：李兴存;韦刚;成晓阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种进气组件及反应腔室，其设置在反应腔室内的顶部，且包括进气板，以及间隔分布在该进气板中的多个进气件，其中，进气件采用绝缘材料制作，且与进气板可拆卸地连接，并且在进气件中设置有进气孔，用以向反应腔室内输送工艺气体本发明提供的进气组件，其不仅可以提高工艺均匀性和工艺稳定性，而且还可以降低设备的使用成本。
进气组件进气板进气件反应腔室反应腔室内工艺均匀性工艺稳定性工艺气体间隔分布降低设备绝缘材料地连接进气孔可拆卸制作

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN201310335533.0无效
发明人：谭华强;乔徽;林翔;苏育家 -专利权人：光垒光电科技（上海）有限公司
申请日： 2013-08-02 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种进气装置及反应腔室。所述进气装置包括堆叠设置的主体和可移除层，所述主体至少包括第一气体腔室，所述主体和该主体下方的可移除层之间的区域构成第二气体腔室；所述可移除层与所述主体之间通过定位配合装置可拆卸连接，所述定位配合装置用于确定所述可移除层与主体之间的相对位置关系那么当经过一段时间后，便可以将所述可移除层拆卸以进行清洗或者替换新的可移除层，从而能够有效的降低进气装置表面的颗粒脱落的几率，减少对产品的污染，提高成膜质量。
装置反应

[实用新型]车辆进气系统谐振腔-CN201320393798.1有效
发明人：泰瑞·皮埃尔·查尔斯·马尼 -专利权人：美嘉帕拉斯特汽车零部件（上海）有限公司
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：一种车辆进气系统谐振腔，包括壳体，壳体上设有外进气管、四分之一波纹管以及出气管，壳体内设有腔体，外进气管通过一位于腔体内的内进气管与腔体连通，壳体包括盖板、上壳体以及下壳体，盖板、上壳体以及下壳体由上至下依次拼合连接，四分之一波纹管为四根，其中三根四分之一波纹管、外进气管以及出气管均沿各自轴向分为上下两瓣体，三根四分之一波纹管的上瓣体、外进气管的上瓣体以及出气管的上瓣体均设于盖板上，三根四分之一波纹管的下瓣体、外进气管的下瓣体以及出气管的下瓣体均设于上壳体上
车辆系统谐振腔

[实用新型]内燃机进气稳压腔-CN201520949220.9有效
发明人：唐中;黄雅婷;韩龙章;杨润岱 -专利权人：重庆普什机械有限责任公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： F02M35/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种内燃机进气稳压腔，包括腔体(1)，在所述腔体(1)的前壁底端设置有进气口(2)，在所述腔体(1)的侧壁顶端设置有出气口(3)，在所述腔体(1)的后壁上还设置有防爆阀(4)，所述防爆阀(有益效果，安全性能高，防爆能力强，安装简单，稳定效果好，结构设计合理，避免了进气干扰和较大的气压波动。
内燃机稳压

[实用新型]进气谐振腔和汽车-CN201720771256.1有效
发明人：郭强;万里;汪方俊 -专利权人：宁波远景汽车零部件有限公司;浙江吉利控股集团有限公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：本实用新型提供的进气谐振腔和汽车，涉及进气谐振腔技术领域。该进气谐振腔用于安装在汽车的车身本体上。其包括进气谐振腔本体、安装角和预安装定位结构。安装角的一端与进气谐振腔本体连接，另一端用于与车身本体固定连接。预安装定位结构与安装角间隔设置，且预安装定位结构包括相互连接的连接部和定位部，连接部与进气谐振腔本体连接，定位部用于与车身本体配合，以使车身本体支撑预安装定位结构。预安装定位结构的定位部用于与车身本体配合，车身本体可支撑该预安装定位结构，因此不需要再人工托举进气谐振腔本体，降低了人工成本，该预安装定位结构也有利于方便快速定位安装。本实用新型提供的汽车采用该进气谐振腔，生产效率高。
谐振腔汽车

[发明专利]一种发动机进气管道、其参数计算方法和相关设备-CN202211259896.6有效
发明人：李卫;王雪鹏;刘洪哲;张海瑞 -专利权人：潍柴动力股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明提供一种发动机进气管道、其参数计算方法和相关设备，方案包括进气稳压腔，进气稳压腔的进气侧设置有进气口，进气口位于进气稳压腔的中心线上；多个气缸，多个气缸关于进气稳压腔的中心线对称布置，一个气缸通过一个进气道和一个进气歧管与进气稳压腔的出气侧连通，进气歧管与进气稳压腔的出气侧的进气夹角的范围为90°~180°，且位于进气稳压腔一侧的气缸的进气夹角相异。由于进气歧管与进气稳压腔的出气侧的进气夹角的范围为90°~180°，且位于进气稳压腔一侧的气缸的进气夹角相异，减少了气流在进气稳压腔内撞壁，回流等现象的发生，气体进入气缸的状态一致，从而提高了发动机各缸的一致性
一种发动机管道参数计算方法相关设备

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