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[发明专利]改善热处理腔室污染的方法-CN201911134589.3在审
发明人：左敏 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/225 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善热处理腔室污染的方法，包括：提供晶圆；于晶圆的正面形成掺杂材料层；将正面形成有掺杂材料层的晶圆进行退火处理，退火处理的同时于掺杂材料层的表面形成离子扩散阻挡层。使得进行退火处理时，掺杂材料层内的掺杂离子被离子扩散阻挡层阻挡，抑制因为热运动而向各方向扩散的掺杂离子扩散到掺杂材料层的表面而溢出，温度探头的读温精度得以保持，热处理腔室内部被污染的情况得到抑制，减少了工作人员清理保养的频率次数
改善热处理污染方法

[发明专利]工艺腔室和半导体处理设备-CN201810529483.2在审
发明人：刘耀琴;杨帅;刘建涛;黄扬君 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括：用于放置基片的腔室本体，以及用于对进入所述腔室本体内的工艺气体中的颗粒杂质进行过滤的过滤器，还包括磁性吸附件，所述磁性吸附件用于吸附进入所述腔室本体内的工艺气体中的金属颗粒杂质。外界的工艺气体在进入腔室本体内时，可以利用过滤器过滤掉该工艺气体中的绝大部分颗粒杂质，此外，借助磁性吸附件吸附工艺气体中的金属颗粒杂质，从而可以将过滤器无法过滤掉的微小金属颗粒进行吸附，使得进入到腔室本体内的工艺气体更洁净
工艺气体过滤器磁性吸附件体内腔室吸附过滤金属颗粒杂质颗粒杂质半导体处理设备微小金属颗粒工艺腔室腔室本体进入腔洁净

[发明专利]用于处理腔室的涂覆材料-CN201910765969.0在审
发明人：元泰景;崔寿永;崔金贤;崔毅;古田学 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：当通过向腔室施加射频(RF)功率来激励所述腔室中的前驱物气体或气体混合物时，流过等离子体的RF电流在电极间间隙中产生驻波效应(SWE)。当基板或电极尺寸接近RF波长时，SWE变得显著。
用于处理材料

[发明专利]具有退火迷你环境的处理腔室-CN201980069577.9在审
发明人： M·霍南;D·伯拉尼克;R·B·沃派特;J·伯拉尼克;C·卡尔森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了用来处理一个或多个晶片的装置及方法。所述装置包括：腔室，界定上内部区域及下内部区域。加热器组件位于下内部区域中的腔室主体底部上且界定工艺区域。
具有退火迷你环境处理

[发明专利]混合腔组件以及尾气后处理封装-CN202011288635.8在审
发明人：严才宝;凌睿;叶威;王长林;郑鑫 -专利权人：天纳克（苏州）排放系统有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：一种混合腔组件，其包括混合腔壳体以及混合管组件。所述混合腔壳体设有第一腔体以及第二腔体。所述混合管组件包括旋流管、与所述旋流管相连的挡板以及用以收容所述挡板的锥体。所述挡板设有若干气流通孔。本发明还揭示了包括上述混合腔组件的尾气后处理组件。相较于现有技术，本发明通过设置锥体，增大了用以将尾气与尿素液滴进行混合的混合腔的体积，并将通过挡板上的气流通孔将温度较高的尾气引入混合腔中，提升了抗结晶能力。
混合组件以及尾气处理封装

[发明专利]混合腔组件以及尾气后处理封装-CN202110936322.7在审
发明人：吴涛涛;王长林;李硕;郑鑫 -专利权人：天纳克（苏州）排放系统有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：一种混合腔组件，包括混合腔壳体以及混合管组件。所述混合腔壳体设有用以与第一后处理载体组件相连通的第一开口以及用以与第二后处理载体组件相连通的第二开口。所述混合腔组件还包括旋流装置，所述旋流装置包括旋流腔体。相较于现有技术，本发明通过设置所述旋流装置，增加了气流流动的行程，从而有利于提高气流混合的均匀性。本发明还涉及一种包括上述混合腔组件的尾气后处理封装。
混合组件以及尾气处理封装

[发明专利]热处理炉的腔室冷却单元-CN202010655539.6在审
发明人：金珉哲;中西识 -专利权人：韩国光洋热电系统有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F27D1/12 文献下载
摘要：本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。
热处理冷却单元

[发明专利]混合腔组件以及尾气后处理装置-CN202111388612.9在审
发明人：叶威;吴涛涛;严才宝;刘翠洁 -专利权人：天纳克（苏州）排放系统有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：一种混合腔组件，其包括混合腔壳体以及安装于所述混合腔壳体内的混合组件，所述混合腔壳体设有用以与第一后处理载体组件相连通的第一开口、用以与第二后处理载体组件相连通的第二开口、与所述第一开口相连通的第一腔体以及与所述第二开口相连通的第二腔体本发明还揭示了一种具有所述混合腔组件的尾气后处理装置。
混合组件以及尾气处理装置

[发明专利]混合腔组件以及尾气后处理封装-CN202110936308.7在审
发明人：吴涛涛;严才宝;王长林;刘翠洁 -专利权人：天纳克（苏州）排放系统有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：一种混合腔组件，包括混合腔壳体以及混合管组件。所述混合腔壳体设有用以与第一后处理载体组件相连通的第一开口以及用以与第二后处理载体组件相连通的第二开口。所述混合腔组件还包括安装在所述第二开口中的扰流板。本发明还涉及一种包括上述混合腔组件的尾气后处理封装。
混合组件以及尾气处理封装

[发明专利]宫腔粘连图像处理及分析方法-CN202310458604.X在审
发明人：徐大宝;赵行平;张爱倩;徐露 -专利权人：湖南科迈森医疗科技有限公司;中南大学湘雅三医院
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及宫腔粘连图像处理及分析方法，包括以下步骤：构建数据库，上传宫腔粘连图像数据，实时接收需要分析的图像数据，通过构建的数据库对图像数据进行区分储存；在数据库中选择接收时序距离当前时间戳最远的一组需要分析的图像数据，对该组图像数据与数据库中宫腔粘连图像数据进行相似度比较；本发明以图像数据相似度比较的方式，为所属患者的病情对应宫腔粘连图像进行了具体分析，并且更进一步的对所需分析的宫腔粘连图像数据进行了像素化处理，从而通过像素化处理得到的像素块，再次对患者病情对应宫腔粘连图像进行了分析。
粘连图像处理分析方法

[发明专利]用于处理腔室的多板面板-CN202310316256.2在审
发明人： D·D·斯里坎塔亚;S·L·图尔希巴格瓦勒;S·辛格;A·塔姆 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-08-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及一种多板面板，所述多板面板具有第一板和第二板。所述第一板具有多个第一板开口。所述第二板具有第一表面、相对的第二表面和从中延伸穿过的多个第二板开口。所述第一表面机械地耦接到所述第一板。第二板开口具有锥形部分，所述锥形部分被配置为流体地耦接到第一板开口，并且所述锥形部分的横截面从所述第二表面在所述锥形部分的深度方向上减小。所述锥形部分的表面在与所述第一表面和所述第二表面的相邻处涂覆有保护涂层。在另一个实施方式中，所述第一板具有突起，所述突起从所述第一板延伸到从所述第一表面向内形成的凹槽中。所述突起具有通路，所述通路延伸穿过所述突起、流体地连接到所述凹槽，所述凹槽流体地连接到所述第二板开口。
用于处理面板

[发明专利]基板处理方法和腔室清洁方法-CN202211327100.6在审
发明人：李元硕;尹荣培 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种基板处理方法。所述基板处理方法包括：通过将过程等离子体传送到腔室的处理空间来处理基板；以及通过将清洁介质供应到定位在所述处理空间下方的所述腔室的排气空间来清洁排气空间。
处理方法清洁

[发明专利]一种湿处理基板腔室-CN202211687165.1在审
发明人：王本义;刘迟;于宏嘉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺设备技术领域，具体地说是一种湿处理基板腔室，包括腔室主体、气体过滤装置及用于检测腔室主体内部气体压力的压力传感器，还包括照明装置、视频监控装置及自动开关门装置。本发明通过压力传感器、外接控制器与气体过滤装置配合设置，可实现腔室主体内压力按需求自动调节，从而确保腔室主体内压力可控，进而保障了工艺稳定性；通过气体过滤装置的设置，可在实现正常对腔室主体供气的功能的基础上
一种处理基板腔室

[发明专利]隧道富水岩溶塌腔处理方法-CN202310863637.2在审
发明人：付弦;冉波;吴志勇;任光辉 -专利权人：中国十九冶集团有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： E21D11/10 文献下载
摘要：本发明涉及隧道施工方法领域，尤其是一种操作简单，进度快，成本低且安全度高的隧道富水岩溶塌腔处理方法，包括如下处理步骤：a、快速喷射堵漏剂封闭塌腔面；b、超前地质预报；c、引排水处理；d、施作止浆墙；e、超前帷幕注浆堵水：根据涌水量、水压等情况，综合确定注浆孔布置，注浆方式采用前进式分段注浆；f、洞内塌腔处理；g、监控量测:岩溶的坍塌空腔处理完成后，进行溶洞段监控量测观测，分析溶洞段断面围岩变化情况，判断溶洞处治措施有效程度本方法处理富水岩溶塌腔，操作简单，进度快，成本低且安全度高，尤其适用于隧道富水岩溶塌腔处理之中。
隧道岩溶处理方法

[发明专利]用于等离子处理腔的喷头组件-CN201010552244.2有效
发明人： K·S·洛;十岛正人;W·T·布洛尼甘;L·卡恩;R·K·F·洛 -专利权人：奥博泰克LT太阳能公司
申请日： 2010-10-15 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于处理基板的等离子腔的喷头，包含喷头主体，喷头主体包含在它们之间限定空腔的顶板和底板；形成于顶板上的进气口；开孔板，其被放置于顶板和底板之间并将空腔分隔成为上部气体分隔间和下部气体分隔间；以及，其中
用于等离子处理喷头组件