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[实用新型]一种基于回流烟气再利用的磁悬浮鼓风机-CN202222562355.2有效
发明人：安然;李瑜;王本义;马维东;高京生;王刚;曲哲;李康 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F04D25/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于回流烟气再利用的磁悬浮鼓风机，包括：廊道进气模块、气动总成模块、放空排气模块和人机交互模块；廊道进气模块与气动总成模块主进气侧之间设有主进气消音组，气动总成模块通过划分单元与柜体实现弹性连接，放空排气模块设置在气动总成模块上方，人机交互模块设置在电气正门上；廊道进气模块与主进气消音组之间留有第一腔室；气动总成模块自冷风扇侧依次设置的电机风冷消音组和电气消音组之间留有第二腔室；气动总成模块下方留有第三腔室；由第一、第二、第三腔室构成气动总成模块消音腔室可对从自然气入口进入的自然气和从烟气入口进入的烟气进行流量分配并循环利用。
一种基于回流烟气再利用磁悬浮鼓风机

[发明专利]一种利用多控制曲线循环迭代优化叶片的方法-CN202310952033.5在审
发明人：安然;李瑜;王本义 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用多控制曲线循环迭代优化叶片的方法，S1：建模得到风机模型，并构建对应的数值计算模型；S2：随机选取叶片型线在径向面的投影曲线上的若干点作为控制点，确定每个控制点所在分度圆的切线与叶片型线切线的夹角及每个控制点所在分度圆的直径，确定夹角对应的变量即约束参数和约束参数对应的变化范围；S3：依次对约束参数进行循环迭代优化确定优选值：S4：构建响应面优化模型；S5：基于优选值，通过响应面优化模型对约束参数进行优化确定最优值，并根据最优值确定叶片形状。本发明通过选取约束参数改变控制点实现叶片曲率方向变更从而改变叶片的形状，解决了叶片建模时无法实现曲率方向变更导致建模出错不能迭代优化的问题。
一种利用控制曲线循环优化叶片方法

[实用新型]一种主动降噪进气消声器-CN202321123235.0有效
发明人：李瑜;季玲;黄露霞;李廷金;王本义;安然;乔巍 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F04D29/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种主动降噪进气消声器，包括消声器外壳和消声组件，所述消声器外壳设有容纳腔，所述消声组件设置于所述容纳腔内，所述消声器外壳还设有进气口和出气口，所述容纳腔的横截面沿所述进气口到所述出气口方向逐渐增大；所述消声组件包括消声板；所述消声板包括板状的竖条多孔部，所述竖条多孔部的端部与所述消声器外壳固定连接，并将所述容纳腔分隔为若干消声腔，所述竖条多孔部设有填充腔，所述填充腔内设有扬声组件和竖条吸声棉片；所述竖条吸声棉片上设有通孔，所述扬声组件设于所述通孔内。该消声器能够通过消除主频噪声及其余波段的声波，实现对风机的降噪，并减小了消声器的阻力使其能够应用于动车组。
一种主动降噪进气消声器

[发明专利]一种轨道交通移动装备用紧凑型冷却风机-CN202310644014.6在审
发明人：李瑜;安然;王本义;黄露霞;季玲;乔巍 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F04D25/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种轨道交通移动装备用紧凑型冷却风机，包括蜗壳和设置在所述蜗壳内的叶轮，还包括永磁电机、变频控制柜和冷却风通道；所述永磁电机包括定子、转子、电机外壳、电机前端盖和电机后端盖；电机外壳的两端分别与电机前端盖和电机后端盖连接，并通过电机前端盖与蜗壳连接，转子的一端穿过电机前端盖与叶轮连接，并与设置在蜗壳的背板上的变频控制柜配合驱动叶轮转动，蜗壳与电机外壳内设有容纳腔，冷却风通道设置在容纳腔内，叶轮转动产生的冷却风通过冷却风通道流经永磁电机。本发明通过采用永磁电机作为驱动，利用变频控制柜调高电源频率，并设置冷却风通道为永磁电机散热，来减小冷却风机的尺寸，使冷却风机整体结构更为紧凑。
一种轨道交通移动装备紧凑型冷却风机

[实用新型]一种空压机冷却系统-CN202320653451.X有效
发明人：阎凯;王本义;安然;李瑜 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F04D29/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空压机冷却系统，包括：控制系统、共用换热器的水冷回路和冷却液回路；水冷回路中的中冷器连接冷却塔，换热器和流量控制阀并接后形成的入口节点连接中冷器，形成的出口节点连接冷却塔的进水口；冷却塔与中冷器间设有流量计和温度传感器，中冷器与入口节点间设有温度传感器，换热器与出口节点间设有流量计和温度传感器；冷却液回路中的换热器与水箱并接后和水泵连接，水泵与空压机的电机的冷却液进口连接，电机的冷却液出口与换热器连接；控制系统配合温度传感器和流量计联锁控制流量控制阀以及冷却塔。克服现有空压机的冷却系统无法确保电机始终获得良好的冷却，且由于设置两套冷却系统造成空间占用大，不利于现场布置的问题。
一种空压机冷却系统

[发明专利]一种主动降噪进气消声器及降噪方法-CN202310522759.5在审
发明人：李瑜;李廷金;王本义;安然;乔巍;黄露霞;季玲 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F04D29/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种主动降噪进气消声器及降噪方法，包括消声器外壳和消声组件，所述消声器外壳设有容纳腔，所述消声组件设置于所述容纳腔内，所述消声器外壳还设有进气口和出气口，所述容纳腔的横截面沿所述进气口到所述出气口方向逐渐增大；所述消声组件包括消声板；所述消声板包括板状的竖条多孔部，所述竖条多孔部的端部与所述消声器外壳固定连接，并将所述容纳腔分隔为若干消声腔，所述竖条多孔部设有填充腔，所述填充腔内设有扬声组件和竖条吸声棉片；所述竖条吸声棉片上设有通孔，所述扬声组件设于所述通孔内。该消声器能够通过消除主频噪声及其余波段的声波，实现对风机的降噪，并减小了消声器的阻力使其能够应用于动车组。
一种主动降噪进气消声器方法

[发明专利]一种空压机冷却系统-CN202310320286.0在审
发明人：阎凯;王本义;安然;李瑜 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F04D29/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种空压机冷却系统，包括：控制系统、共用换热器的水冷回路和冷却液回路；水冷回路中的中冷器连接冷却塔，换热器和流量控制阀并接后形成的入口节点连接中冷器，形成的出口节点连接冷却塔的进水口；冷却塔与中冷器间设有流量计和温度传感器，中冷器与入口节点间设有温度传感器，换热器与出口节点间设有流量计和温度传感器；冷却液回路中的换热器与水箱并接后和水泵连接，水泵与空压机的电机的冷却液进口连接，电机的冷却液出口与换热器连接；控制系统配合温度传感器和流量计联锁控制流量控制阀以及冷却塔。克服现有空压机的冷却系统无法确保电机始终获得良好的冷却，且由于设置两套冷却系统造成空间占用大，不利于现场布置的问题。
一种空压机冷却系统

[发明专利]一种牵引电机试验风道及试验方法-CN202310251078.X在审
发明人：李瑜;安然;乔巍;王本义;季玲;黄露霞 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01M17/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种牵引电机试验风道及试验方法，能够通过风量调节部调整第一牵引风道和第二牵引风道的出风口风量，并且通过导流部降低第一电机牵引风道的风道阻力，所确定出的牵引电机风道结构的风道阻力低，两个风道的出风口风量均匀，并且通过入口测压部获得静压，能够根据静压和风量选取适配的冷却风机。其中试验风道包括：总风道连接部、风量调节部、第一牵引电机风道、第二牵引电机风道、导流部和入口测压部；导流部用于调整第一牵引电机风道出口侧的风道阻力，使得第一牵引电机风道出口侧的风道阻力最小；风量调节部用于使得第一牵引电机风道的出口风速和第二牵引电机风道的出口风速小于风量差阈值；入口测压风道用于获取冷却风机出口静压。
一种牵引电机试验风道方法

[发明专利]一种湿处理流体回收装置-CN202211674584.1在审
发明人： 王本义;王一;刘迟;关贺聲;孙俊主 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种湿处理流体回收装置，包括设有流体调速装置的基座，该流体调速装置位于基座的中心处，还包括上固定回收槽、下固定回收槽、升降回收槽盖及若干层由外至内依次设置的升降回收槽，升降回收槽盖及每层升降回收槽分别各连接有一组外接升降组件。在所有组外接升降组件均为缩回时，回收凹槽B及所有回收凹槽C均处于被挡住状态；通过调节各组外接升降组件伸出状态以控制回收凹槽B及各回收凹槽C的开启使用。本发明通过上固定回收槽、下固定回收槽、升降回收槽盖及升降回收槽的配合设置，做到可根据湿制程工艺中化学药品种类以及数量对应配置，并分类收集回收液体，且收集率高。
一种处理流体回收装置

[发明专利]一种半导体湿制程工艺设备用气体过滤装置-CN202211713456.3在审
发明人： 王本义;刘迟;于宏嘉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B01D46/54 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种半导体湿制程工艺设备用气体过滤装置，包括壳体、进风动力源、整流板及滤芯。外界环境气体通过进风动力源被输入至壳体内腔的整流前空间，整流前空间中的气体穿过整流板的整流孔进入至壳体内腔的整流后空间中，整流后空间中的气体经过滤芯并被滤芯过滤、之后从壳体底面的出风口流出。本发明通过壳体、进风动力源、整流板及滤芯的配合设置，可在实现正常对工艺腔室供气的功能的基础上，充分对进入壳体的外界环境空气进行过滤，避免环境中化学气体通过气体过滤装置进入工艺腔室污染基板，保证半导体湿制程工艺的稳定性，同时也可避免工艺腔室内气体从气体过滤装置挥发至工艺腔室外腐蚀其它区域。
一种半导体湿制程工艺备用气体过滤装置

[发明专利]一种流体回收槽自动升降装置-CN202211674870.8在审
发明人：邹春太;王本义;刘吉东 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B66F11/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体回收槽自动升降装置，包括基座及若干组执行机构。每组执行机构均包括升降驱动件及传动组件，各组执行机构的升降驱动件分别通过同组执行机构的传动组件与对应的流体回收槽连接；各组执行机构的升降驱动件均内设有检测件，各组执行机构的升降驱动件及升降驱动件内部的检测件均与外接控制器连接、并形成闭环反馈控制系统。本发明通过升降驱动件、升降驱动件内部的检测件及外接控制器之间形成闭环反馈控制系统，可精准检测升降高度位置及升降速度，并按需自动对升降高度位置及升降速度进行调节，充分满足流体回收槽升降的稳定精确需求，进而使半导体湿制程设备可以适配更多的工艺需求。
一种流体回收自动升降装置

[发明专利]一种腔室压力自动调节控制系统-CN202211687158.1在审
发明人：刘吉东;王本义;邹春太 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种腔室压力自动调节控制系统，包括工艺腔室、进风过滤装置及排风装置，还包括控制器、压力传感器A及压力传感器B。本发明通过压力传感器A、控制器与进风过滤装置配合设置形成的闭环反馈调节系统，压力传感器A可实时将检测工艺腔室内部的气压数据传输至控制器，并由控制器控制进风过滤装置相应进行调节，可实现半导体湿制程工艺设备的工艺腔室内压力按需求自动调节，从而确保工艺腔室内压力可控，进而保障了工艺稳定性。通过压力传感器B的设置，可对排风管路的压力进行检测，以确认是否排风正常，使进风过滤装置及排风装置形成联系，进一步保证自动调节的效果。
一种压力自动调节控制系统

[发明专利]一种湿处理基板腔室-CN202211687165.1在审
发明人： 王本义;刘迟;于宏嘉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺设备技术领域，具体地说是一种湿处理基板腔室，包括腔室主体、气体过滤装置及用于检测腔室主体内部气体压力的压力传感器，还包括照明装置、视频监控装置及自动开关门装置。本发明通过压力传感器、外接控制器与气体过滤装置配合设置，可实现腔室主体内压力按需求自动调节，从而确保腔室主体内压力可控，进而保障了工艺稳定性；通过气体过滤装置的设置，可在实现正常对腔室主体供气的功能的基础上，充分对进入气体过滤壳体的外界环境空气进行过滤；通过自动开关门装置的设置，可实现自动控制基板通过窗口的开启与封闭。本发明能够更好地适应目前半导体湿制程工艺的高要求，使用稳定性高。
一种处理基板腔室

[发明专利]一种磁悬浮鼓风机风量曲线拟合与风量转速平稳切换控制方法-CN202111063990.X有效
发明人：马维东;李瑜;王本义;安然;高京生;蔡雅琪 -专利权人：中车大连机车研究所有限公司;大连中车泽通机械有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁悬浮鼓风机风量曲线拟合与风量转速平稳切换控制方法，其包括磁悬浮鼓风机系统自动打开放空阀，输入目标风量值/目标转速值，使鼓风机进入风量模式/转速模式运行；按启动转速/目标转速值升速运行至系统平稳后，使鼓风机系统以运行转速运行，当鼓风机当前运行转速超过设定关阀转速时，放空阀关闭；待鼓风机实际风量和实际风压波动平稳，手动切换鼓风机运行模式，此时鼓风机以当前转速进入转速模式/风量模式运行，本发明简化了风量控制曲线拟合方程与方法，并在恒风量控制中实现平稳升速与降速运行。
一种磁悬浮鼓风机风量曲线拟合转速平稳切换控制方法

[发明专利]一种升降旋转装置-CN202211686380.X在审
发明人： 王本义;刘迟;于宏嘉;戴红峰 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B05B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种升降旋转装置，包括机架、旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副。旋转驱动件安装于机架上，旋转驱动件的驱动端通过传动组件带动滚珠花键螺母在滚珠花键母法兰中转动，进而带动滚珠花键轴转动；升降驱动件安装于机架上，升降驱动件的驱动端通过浮动结构与滚珠花键轴的下端连接、并带动滚珠花键轴在滚珠花键母法兰中升降。本发明通过旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副的配合设置结构，可分别实现滚珠花键轴的旋转动作及升降动作，滚珠花键副本身具有导向效果，运行更准确顺畅，且集成度高，结构相对简单且造价低，使安装维护更加方便，更加适合半导体湿制程工艺设备使用。
一种升降旋转装置

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