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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于处理衬底的装置和方法-CN201910444327.0有效
发明人：田明娥;李茂贤;李瑟 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文中描述的发明构思的实施例涉及用于去除从被处理的对象暴露于外面的粘合剂的装置和方法。一种用于去除从被处理的对象的边缘区域暴露于外面的粘合剂的装置，其中，所述对象具有通过粘合剂粘合在一起的图案化衬底和支撑板，覆盖液喷嘴将覆盖液分配至对象顶表面中除暴露区域之外的覆盖区域上，并且控制器控制覆盖液分配构件以调节覆盖液的流速，从而使粘合剂的去除速率保持恒定。
用于处理衬底装置方法

[发明专利]基板处理装置和用于偏心检查的装置及方法-CN201911164061.0有效
发明人：权五烈;朴修永;李志玹;秋永浩 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了基板处理装置，以及用于测量旋转卡盘的偏心量的偏心检查装置、偏心检查方法和记录介质。该基板处理装置包括：处理腔室；支撑单元，其支撑基板并使基板围绕旋转卡盘的支撑轴旋转；和偏心检查设备，其检查支撑轴的偏心。该偏心检查设备包括：图像获取单元，其获得在支撑单元上所支撑的基板的图像；和偏心测量单元，其从基板的图像获得基板的边缘数据并基于该边缘数据测量支撑轴的偏心量。
处理装置用于偏心检查方法

[发明专利]用于处理衬底的装置-CN201910617646.7有效
发明人：李种求 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于处理衬底的装置，包括：处理室，其在内部具有处理空间；衬底支撑单元，其支撑处理空间中的衬底；加热单元，其加热被支撑在衬底支撑单元上的衬底；排气单元，其用于排空处理空间；和引导构件，其在处理空间中引导气流。引导构件包括阻隔板，其位于处理室的上壁和衬底支撑单元之间并且与处理室的内侧壁间隔开并且具有小于处理室的内径的直径。当俯视时，排气单元在与阻隔板交叠的位置处连接到处理室的上壁。
用于处理衬底装置

[发明专利]腔室清洁方法、基板处理方法和基板处理装置-CN201810383771.1有效
发明人：郑镇优;李暎熏 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：提供用于清洁腔室的装置和方法。一种用于清洁具有用于处理基板的处理空间的腔室的方法包括：通过向处理空间中供应清洁介质来清洁腔室。清洁介质包括具有非极性的超临界流体和具有极性的有机溶剂。相对于非极性污染物和极性污染物，腔室的清洁效率得以改善。
清洁方法处理装置

[发明专利]支承单元及基板处理装置-CN202210359420.3在审
发明人：金经晩;韩定宇;李知桓;朴玩哉;朱润钟;裵晟学 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种支承单元及基板处理装置。该支承单元包括：支承板，基板放置在该支承板上，并且该支承板包括向基板提供静电力的静电电极；加热器，该加热器设置在支承板内侧、并配置为加热基板；绝缘板，该绝缘板作为绝缘物质、设置在支承板下方；双金属构件，该双金属构件设置在支承板内侧并配置为补偿支承板由于热量而引起的弯曲，其中，双金属构件包括：销，该销设置成与放置在支承件上的基板的底表面为可接触的；第一构件，该第一构件配置为支承销；第二构件，该第二构件设置成围绕第一构件，并且销设置为根据第一构件与第二构件之间的热变形量的差而向上移动或向下移动。
支承单元处理装置

[发明专利]支承结构、基板支承装置以及用于处理基板的设备-CN202310383088.9在审
发明人：郑载勳;申哲榕;郑完熙;林度延 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种支承结构，包括：支承板，其支承基板；下盖，其覆盖所述支承板的下部；以及扣接单元，其包括具有彼此对应的部分的凹凸结构，使得所述支承板和所述下盖旋转且彼此组装。
支承结构装置以及用于处理设备

[发明专利]药液供应组件-CN201911036200.1有效
发明人：李彦锡;李东晋;成普滥璨;李东润;金大城 -专利权人： 细美事有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：药液供应组件为了向喷墨头供应药液而可包括药液供应线路。所述药液供应组件可包括：具有第一直径且向第一方向延伸的主线路、向垂直于所述第一方向的第二方向从所述主线路分支，连接于所述喷墨头，并且具有比所述第一直径小的第二直径的分支线路、以及连接在所述主线路的一侧端部，使得所述药液供应组件向所述喷墨头供应所述药液期间将在所述药液供应线路内发生的气泡排出到所述药液供应线路的外部的排出线路。
药液供应组件

[发明专利]臭氧水分解装置及方法-CN202310121311.2在审
发明人：田明娥;崔永燮;李福圭;张奎焕;高镛璿 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C02F1/20 文献下载
摘要：提供了一种能够快速且稳定地分解臭氧水的臭氧水分解装置及方法。该臭氧水分解装置包括：罐，配置成容纳臭氧水并分解臭氧水；第一供应单元，配置成将臭氧水供应到罐；第二供应单元，配置成将添加剂供应到罐，其中添加剂以预设的第一供应量或第二供应量供应；循环管线，配置成循环罐中的臭氧水；以及浓度计，安装在循环管线中，其中：使用循环管线循环臭氧水之后，使用浓度计测量臭氧水的臭氧浓度；随后基于臭氧水的测量到的臭氧浓度供应第一供应量或第二供应量的添加剂；以及随后循环臭氧水直至臭氧水的臭氧浓度达到预设的参考浓度。
臭氧水分装置方法

[发明专利]基板处理装置、用于测量升降销之间高度差的方法及存储有处理程序的计算机可读记录介质-CN202110660045.1有效
发明人：权珉圣;李隆熙 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于测量升降销之间的高度差的方法，包括：接收第一中心位置，该第一中心位置是在传送机械手将基板装载到设置在处理腔室中的支撑单元上之前测量的基板中心相对于参考位置的位置，支撑单元包括多个升降销；接收第二中心位置，该第二中心位置是在传送机械手拾取从支撑单元卸载的基板之后测量的基板中心相对于参考位置的位置；以及根据第一中心位置和第二中心位置之间的向量差，推导出多个升降销中的至少一个与其他升降销之间的高度差。
处理装置用于测量升降之间高度方法存储程序计算机可读记录介质

[发明专利]传送系统及其控制方法-CN202310030043.3在审
发明人：尹基燮 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种有效率地将任务分配给通过轨道利用功率操作的多辆传送车辆的传送系统。传送系统包括：第一轨道，安装在导轨上；第一电源，被配置为向第一轨道供应功率；多辆传送车辆，被配置为：沿导轨移动，内部安装有电池，并且通过来自第一轨道的功率对电池进行充电；以及控制器，被配置为基于第一轨道中的第一允许功率来分配多辆传送车辆的任务。
传送系统及其控制方法

[发明专利]液体捕集罐和用于捕集液体的方法-CN202310043502.1在审
发明人：赵妿罗;高定奭;朴在训;张镐镇;李正悦;徐庚进;郑雨信 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种液体捕集罐和用于捕集液体的方法，所述液体捕集罐可以包括：罐体，配置为具有形成在所述罐体中的能够容纳液体的容纳空间，具有形成在所述罐体的一部分中的流入单元并且具有形成在所述罐体的另一部分中的排出单元；第一容纳部分，形成在所述罐体内部并且配置为初次且暂时地容纳所述液体使得气泡从通过所述流入单元引入的所述液体中被分离；以及第二容纳部分，形成在所述罐体内部并且配置为第二次且暂时地容纳从所述第一容纳部分移动的所述液体或者通过所述排出单元将移动的所述液体排出到外部。
液体捕集罐用于方法

[发明专利]控制装置、控制装置的工作方法及包括其的系统-CN202310058543.8在审
发明人：尹基燮 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G06F8/658 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种用于能够自动执行软件补丁的供电设备的软件补丁的控制装置、控制装置的工作方法以及包括其的系统。根据本发明的用于供电设备的软件补丁的控制装置的工作方法，所述供电设备在制造工厂中向搬运台车供应电力，其中，所述用于供电设备的软件补丁的控制装置的工作方法包括：从管理者装置接收与要适用软件补丁的供电设备有关的信息的步骤；控制为向所述供电设备的供电区间通过其它供电设备供应电力的步骤；将用于所述软件补丁的数据向所述供电设备传送的步骤；以及在所述供电设备中进行所述软件补丁的期间，控制向所述供电区间进入的搬运台车的台数的步骤。
控制装置工作方法包括系统

[发明专利]机械臂和包括机械臂的用于处理基板的设备-CN202310145668.4在审
发明人：李泰勳 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：提供一种机械臂，其包括臂体；以及连接到臂体并与基板接触的多个垫，其中臂体包括陶瓷板和设置在陶瓷板的外表面上的抗静电涂层，其中垫包括第一导电层，以及其中提供了在垫的外侧上将垫连接到抗静电涂层的导电部分。
机械包括用于处理设备

[发明专利]基板处理设备-CN202310272461.3在审
发明人：严成勳;尹太源;洪润和;裵锺国 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了可以抑制由气流引起的温度偏差的发生的基板处理设备。基板处理设备包括：腔室，包括上主体和下主体，并且具有由上主体和下主体形成在其中的处理空间；基板支承单元，设置在处理空间中，并且具有基板支承在其上的支承表面；加热器，设置成加热处理空间中的气体；引入单元，被配置成朝向支承表面的边缘供应气体；以及排出单元，被配置成排出处理空间中的气体。排出单元可以包括多个出口，多个出口在上主体中与支承表面的中心线间隔开并且设置成比引入单元更靠近支承表面的中心线。
处理设备

[发明专利]基板加工装置和方法-CN202310279399.0在审
发明人：朴宣柱;沈铉宗;文商珉;闵庚石;郑桓;李娜沇 -专利权人： 细美事有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种基板加工装置，该基板加工装置包括：腔室，在该腔室内部具有加工空间；支撑单元，其布置在加工空间中，在支撑单元上放置基板，并且该支撑单元在其内部包括标签材料层，该标签材料层包括标签材料；等离子体源，其被配置为从加工空间中的加工气体生成等离子体；以及测量装置，其被配置为检测标签材料，其中，当支撑单元被蚀刻到大于或等于第一深度的深度时，标签材料层被暴露。
加工装置方法

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