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- [发明专利]冷却设备及待冷却件的冷却方法-CN202010013039.2有效
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罗佳明;顾立勋
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长江存储科技有限责任公司
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2020-01-09
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2021-04-20
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H01L21/67
- 本申请提供了冷却设备及待冷却件的冷却方法。其中,冷却设备包括冷却装置,惰性气体进气装置,以及排气装置。其中,冷却装置具有冷却空间。惰性气体进气装置连接冷却装置,惰性气体进气装置用于向冷却空间内通入惰性气体。排气装置连接冷却装置,排气装置用于排出冷却空间内的气体。通过在冷却设备中增设惰性气体进气装置,利用惰性气体进气装置来向冷却空间内通入惰性气体,而冷却空间内原本的空气可从排气装置中排出。最后导致当处于高温的待冷却件进入冷却空间时,待冷却件的周缘均为惰性气体。由于惰性气体不与待冷却件进行反应,且待冷却件周缘不存在氧气,因此待冷却件便无法与氧气发生反应从而生成氧化层,有效地保护了待冷却件。
- 冷却设备方法
- [发明专利]用于冷却待冷却的物件的冷却装置-CN201980015310.1有效
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F·格罗塞·罗德曼
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SMS集团有限公司
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2019-02-26
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2023-04-11
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B21B45/02
- 本发明涉及一种用于冷却待冷却的物件(2)的冷却装置(1),包括用于冷却介质(M)的进口(3),该进口将冷却介质导引到冷却装置(1)的第一上腔室(4)中,其中,存在第一导引器件(5),其将冷却介质(M)从冷却装置(1)的上腔室(4)导引到第二下腔室(6)中,其中,上腔室(4)与下腔室(6)通过壁部(7)分开,其中,存在第二导引器件(8),其将冷却介质(M)从下腔室(6)导引至用于冷却介质(M)的至少一个出口(9),冷却介质(M)通过该出口施加到待冷却的物件(2)上。为了实现冷却介质的排出的快速停止以及可高效冷却冷却装置,本发明提出,第一导引器件(5)以其上端部与壁部(7)邻接或向上穿过该壁部,并且伸入到下腔室(6)中,并且以敞开端部(10)通到下腔室中,第二导引器件
- 用于冷却物件装置
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