[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
| 申请号： | 202110486503.4 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113224139B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 白杰;赵文礼 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/161 | 分类号： | H01L29/161;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;刘芳 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种半导体器件及其制造方法，该半导体器件包括衬底、SiGe外延层、保护层及PMOS栅极，该衬底的表面至少包括一个PMOS区域；SiGe外延层生长于衬底的表面，且位于PMOS区域；保护层覆盖于SiGe外延层的表面；PMOS栅极位于保护层的表面。即本申请通过在SiGe外延层的表面生成一保护层，可以在PMOS器件制造过程中，有效保护SiGe外延层表面不被损伤，提高PMOS器件的载流子迁移率，进而提升PMOS器件的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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