[发明专利]一种光刻机光线电磁光闸装置在审
| 申请号： | 201911120572.2 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110750037A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 任明锋 | 申请（专利权）人： | 苏州采奕动力科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/02 |
| 代理公司： | 11491 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵红霞 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种光刻机光线电磁光闸装置，包括叶板和偏摆驱动机构，偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴，电磁座包括导磁外筒、线圈及两端的固定铁芯，其中一个铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座，传动轴一端与涡卷扭簧座相配接、另一端穿过电磁座与叶板相连，传动轴上套接有动铁芯，动铁芯与传动轴之间周向锁固轴向滑动配接，动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面，任意固定铁芯设有的驱动面。本发明采用电磁传动结构实现对叶板的偏摆驱动，相较传统地电机驱动具备响应速度快、位置度精确及使用寿命长的特点。特定螺旋桨结构的动铁芯，具备螺旋扇面，能在限制空间内实现低功率高转矩，电磁吸力稳定可靠，满足风叶偏摆行程需求。 | ||
| 搜索关键词： | 传动轴 动铁芯 电磁座 叶板 偏摆驱动机构 固定铁芯 扭簧座 偏摆 涡卷 电磁传动结构 电磁光闸装置 螺旋桨结构 导磁外筒 电磁吸力 电机驱动 使用寿命 限制空间 轴向滑动 轴向两端 低功率 高转矩 光刻机 倾斜面 驱动面 外露面 位置度 扇面 风叶 配接 上套 锁固 铁芯 相配 穿过 驱动 响应 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机光线电磁光闸装置，其特征在于：/n包括叶板和用于驱动所述叶板往复偏摆的偏摆驱动机构，/n所述偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴，/n其中，所述电磁座包括具备中空腔室的导磁外筒，所述中空腔室内设有用于电磁转换的线圈，中空腔室的两端分别设有固定铁芯，任意所述固定铁芯设有轴承，并且其中一个所述固定铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座，/n所述传动轴一端与所述涡卷扭簧座相配接、另一端穿过所述电磁座与所述叶板相连，传动轴与任意所述轴承相旋转活动配接，/n所述传动轴上套接有位于所述中空腔室内的动铁芯，所述动铁芯与所述传动轴之间周向锁固轴向滑动配接，/n所述动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面，任意所述固定铁芯设有朝向所述动铁芯的用于驱动所述动铁芯旋转的驱动面，并且两个所述固定铁芯的旋转驱动方向同向。/n
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- 本发明涉及半导体集成电路制造领域，具体涉及光刻机晶圆载台，包括基板载板，所述基板载板置于能抽真空的腔室中；若干个支柱，若干个所述支柱依次设于所述基板载板上，任意相邻的两个所述支柱形成有一个吸附间隙；若干个所述支柱的上表面位于同一平面上；所述吸附间隙在所述腔室抽真空过程中能将所述晶圆吸附并定位于所述支柱的上表面；所述支柱的上表面在中心位置设有颗粒容纳槽；所述颗粒容纳槽的槽深小于所述支柱的高度。其能有效解决在光刻曝光过程中在晶圆表面或者支柱上产生颗粒杂质对晶圆表面光刻曝光的影响。
- 曝光装置和制造物品的方法-201910663683.1
- 杉田光 - 佳能株式会社
- 2019-07-23 - 2020-02-04 - G03F7/20
- 本发明涉及曝光装置和制造物品的方法。本发明提供一种用于对基板进行曝光的曝光装置，所述曝光装置包括：光学系统，包括镜筒和布置在镜筒中的光学元件；以及调节单元，包括热量辐射器并被配置为通过从热量辐射器向光学元件施加热量来调节光学系统的成像特性，其中，热量辐射器是包括第一端部和在与第一端部相反的一侧的第二端部且物理性质的变化落在预先确定的范围内的构件，热量辐射器的第一端部和第二端部之间的中央部分布置在镜筒的内部，并且热量辐射器的第一端部和第二端部布置在镜筒的外部。
- 一种光刻机光线电磁光闸装置-201911120572.2
- 任明锋 - 苏州采奕动力科技有限公司
- 2019-11-15 - 2020-02-04 - G03F7/20
- 本发明揭示了一种光刻机光线电磁光闸装置，包括叶板和偏摆驱动机构，偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴，电磁座包括导磁外筒、线圈及两端的固定铁芯，其中一个铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座，传动轴一端与涡卷扭簧座相配接、另一端穿过电磁座与叶板相连，传动轴上套接有动铁芯，动铁芯与传动轴之间周向锁固轴向滑动配接，动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面，任意固定铁芯设有的驱动面。本发明采用电磁传动结构实现对叶板的偏摆驱动，相较传统地电机驱动具备响应速度快、位置度精确及使用寿命长的特点。特定螺旋桨结构的动铁芯，具备螺旋扇面，能在限制空间内实现低功率高转矩，电磁吸力稳定可靠，满足风叶偏摆行程需求。
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