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[发明专利]准分子激光器能量掉点恢复方法及装置-CN202210415545.3在审
发明人：梁赛;冯泽斌;王吉亮;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;陈佩佩 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔(104)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔(104)在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值；在主振荡放电腔(103)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一次脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
准分子激光能量恢复方法装置

[发明专利]激光器的波长调整方法及计算设备-CN202210388557.1在审
发明人：王香;冯泽斌;刘广义;李娟娟;袁海涛;梁赛;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器的波长调整方法及计算设备。在本申请实施例中，基于目标波长，获取激光器发射的不同波长与用于调整波长的不同电机运动位置之间的多个映射关系；获取最准确的映射关系，并确定电机运动位置，作为第一运动位置，控制电机运动到第一运动位置，以获取第一波长；根据目标波长、第一波长以及最准确的映射关系，确定电机第二运动位置，控制电机运动到第二运动位置，并获取第二波长；根据目标波长、第一波长以及第二波长确定第一定位误差，根据第一定位误差与第二定位误差进行对比，确定第二波长是否满足最准确的映射关系，在满足的情况下，完成激光器发射目标波长的调整。能够快速地实现激光器的波长调整和定位。
激光器波长调整方法计算设备

[发明专利]准分子激光器能量掉点检测方法及装置-CN202210406979.7在审
发明人：梁赛;冯泽斌;王吉亮;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;陈佩佩 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点检测方法及装置。该方法包括以下步骤：接收来自MO能量传感器的主振荡放电腔在当前脉冲的出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的主振荡放电腔的出光能量的均值，判断出主振荡放电腔是否出现能量掉点；接收来自PA能量传感器的功率放大放电腔在当前脉冲的出光能量；并且，结合功率放大放电腔的预先设定的能量目标以及预先设定的脉冲数量N的功率放大放电腔的出光能量的均值，判断出功率放大放电腔是否出现能量掉点。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
准分子激光能量检测方法装置

[发明专利]激光器风机振动干扰信号提取方法、装置及激光器-CN202310798189.2在审
发明人：梁赛;刘锴锋;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及激光器风机振动干扰信号提取方法、装置及激光器，所述方法包括：根据风机振动干扰信号特性，构建陷波滤波器；根据陷波滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的首脉冲时，利用首脉冲对应的输出能量初始化陷波滤波器输入参数，得到对应的输出结果；当前脉冲为所属burst的非首脉冲时，利用当前脉冲对应的输出能量、同一burst内上一个脉冲的输出结果及输出能量，设置陷波滤波器输入参数，得到对应的输出结果；根据陷波滤波器的输出结果提取对应的干扰信号幅值。本发明能够直接提取激光器风机的干扰信号，为干扰补偿控制算法提供基础。
激光器风机振动干扰信号提取方法装置

[发明专利]基于风机干扰补偿的准分子激光器恒能量控制方法、装置及激光器-CN202310800263.X在审
发明人：刘锴锋;梁赛;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及基于风机干扰补偿的准分子激光器恒能量控制方法、装置及激光器。所述方法包括：获取当前脉冲的输出能量，干扰补偿模块提取对应风机的干扰信号，预估同一burst内下一脉冲的干扰补偿电压；获取激光器输出的目标能量，能量控制模块根据当前脉冲的输出能量和对应干扰信号，进行PI控制：当前脉冲位于所属burst的超调部分时，输出下一burst相同位置脉冲的电压增量，调节下一burst相同位置脉冲的输入电压；当前脉冲位于所属burst的非超调部分时，输出同一burst内下一脉冲的电压增量，结合对应干扰补偿电压，调节同一burst内下一脉冲的输入电压。本发明能够考虑其风机的振动干扰，从而保证了输出单脉冲能量稳定性以及剂量稳定性。
基于风机干扰补偿准分子激光能量控制方法装置激光器

[发明专利]数据的存储方法及计算设备-CN202210301987.5在审
发明人：王香;冯泽斌;李娟娟;袁海涛;梁赛;江锐;徐向宇 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种数据的存储方法及计算设备。在本申请实施例中，创建第一数据库，用于接替第二数据库持续存储待存储数据；根据创建的第一数据库，确定数据库的状态信息表示为第一数据库，以指示第一数据库可进行数据存储；根据数据库的状态信息表示为第一数据库，将第二数据库切换为第一数据库，并将获取到的待存储数据存储至第一数据库。由此实现了数据在受到文件格式限制的情况下，能够将激光器产生的数据全部进行存储，并且保证激光器能够稳定运行。解决了在操作系统和文件格式受限的情况下，数据量过大导致无法继续进行数据存储的问题。
数据存储方法计算设备

[发明专利]准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器-CN202310800259.3在审
发明人：梁赛;刘锴锋;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器，所述方法包括：获取激光器输出当前脉冲的输出能量，通过各陷波滤波器提取对应风机振动干扰信号；针对每组提取的干扰信号，通过对应超前滤波器预估下一脉冲的干扰信号；由每组预估的下一脉冲的干扰信号计算对应电压增量，叠加后得到下一脉冲的补偿电压；将下一脉冲的补偿电压加入当前脉冲的输入电压中，构成下一脉冲输入电压。本发明能够直接堵风机振动干扰进行补偿，稳定光源的输出能量和剂量，从而提高光源性能。
准分子激光风机振动干扰补偿方法装置激光器

[发明专利]准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器-CN202310803066.3在审
发明人：刘锴锋;梁赛;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器。所述方法包括：分别设计二阶低通滤波器和二阶高通滤波器；将二阶低通滤波器和二阶高通滤波器级联得到带通滤波器；根据带通滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的首脉冲时，利用首脉冲对应的输出能量初始化带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；当前脉冲为所属burst的非首脉冲时，利用当前脉冲对应的输出能量、同一burst内上一个脉冲的输出结果及输出能量，设置带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；根据带通滤波器的输出结果提取对应的干扰信号幅值。本发明能够直接提取干扰信号。
准分子激光风机干扰信号提取方法装置激光器

[发明专利]光刻机光源输出能量的建模方法及模型-CN202310682658.4在审
发明人：刘锴锋;梁赛;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及光刻机光源输出能量的建模方法及模型，所述方法包括：在同一输入电压下各burst的同一位置脉冲对应的各输出能量值中，随机选取一个作为该输入电压下、该burst内的当前位置脉冲的输出能量值，构建原始输出能量模型；针对光刻机光源输出能量进行频域分析，确定风机振动为所述输出能量的最大干扰后，构建干扰信号模型；在原始输出能量模型中加入干扰信号模型，得到光刻机光源输出能量模型。
光刻光源输出能量建模方法模型

[发明专利]一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统-CN202011643720.1有效
发明人：吴劲松;刘斌;陈文斌;刘广义;徐向宇;江锐;丁金滨;冯泽斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，该隔振结构包括：隔板，其一侧与所述驱动装置固定连接，另一侧通过一柔性连接件与设备主体连接；减振单元，其与隔板固定连接，用于减弱所述隔板受驱动装置带来的振动。本公开还提供了一种用于激光器的叶轮转子系统。
一种结构用于激光器叶轮转子系统

[发明专利]配置信息的管理方法及服务器-CN202111514941.3在审
发明人：牟迪;冯泽斌;江锐;王香;袁海涛;李娟娟;康霞 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G06F9/445 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种配置信息的管理方法及服务器。在本申请实施例中，根据激光器的型号确定激光器的标识，将确定的多个标识与多个激光器的对应配置信息进行关联；获取针对配置信息的修改信息以及配置信息对应的标识，根据关联关系，定位对应的配置信息；根据修改信息，对定位到的配置信息进行修改，生成修改后的配置信息。减少了初始时因为解析配置信息占用的服务器资源，提升了配置信息启动和加载的效率。由于可以做到针对不同波长，不同能量激光器的一一对应，也避免了因为配置解析加载错误产生的故障，减少了故障检查的复杂程度。同时可以更好地进行数据资源的调配。
配置信息管理方法服务器

[发明专利]电机的同步控制方法、控制设备及激光器-CN202111512557.X在审
发明人：温玉辉;冯泽斌;袁海涛;梁赛;王香;王野弛;刘斌;徐向宇;江锐;赵明;运乃研;刘宇娜 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H02P6/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种电机的同步控制方法、控制设备及激光器。在本申请实施例中，接收电机的驱动信息，根据驱动信息，通过对应的转速驱动多个电机中的对应电机；获取对应电机当前的转速，以及所属耦合电机组中另一个电机当前的转速，确定所属耦合电机组中的转速差值，以及对应电机当前的转速与接收到的转速之间的转速差值；根据转速差值进行转速控制，并将控制后的转速发送至对应电机。从而使得对多个电机进行同步控制，提高多电机协同工作过程效率和安全性。
电机同步控制方法设备激光器

[发明专利]光刻机准分子激光器的信号转接单元-CN202010243270.0有效
发明人：廖密;冯泽斌;张华;张琴;王香;黄立杰;马天龙;沙鹏飞 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及光刻领域，具体涉及一种光刻机准分子激光器的信号转接单元。包括：气体放电管、第一TVS管、自恢复保险丝、第二TVS管、数字信号隔离芯片。本申请通过气体放电管、第一TVS管将光刻机的信号中的干扰信号电压限制在固定范围之内进行第一层防护，通过自恢复保险丝当干扰信号电流过大时断开电流变小时恢复及第二TVS管将干扰信号的电压限制为目标电压值进行第二层防护，通过数字信号隔离芯片将信号转接单元与工控机之间的控制信号进行分开进行第三层防护，能够有效抑制外部光刻机传输过来的较大静电、浪涌等干扰信号，实现准分子激光器信号转接功能的同时，还能够有效减少外部的干扰，保护准分子激光器中的其他硬件单元。
光刻准分子激光信号转接单元

[实用新型]试剂配制机构及具有其的核酸检测一体机-CN202223610995.2有效
发明人：饶捷;郑晓林;王逸贤;刘振华;何国耀;黄任;冯泽斌;华乐凯;贺育敢;陈成 -专利权人：深圳市新产业生物医学工程股份有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B01F33/85 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种试剂配制机构及具有其的核酸检测一体机，试剂配制机构包括：架体，具有试剂配制平台，试剂配制平台上设置有用于放置预混板的预混位和用于放置扩增板的扩增板放置位；配制组件，包括移液针以及用于放置第一试剂瓶和第二试剂瓶的试剂仓，试剂仓设置在试剂配制平台上，移液针可活动地设置在架体上并位于试剂配制平台的上方，移液针具有移动至试剂仓的上方以吸取试剂仓中的扩增试剂的吸取位置、移动至预混板的上方以加注扩增试剂至预混板的混合位置以及移动至扩增板的上方以将预混板中的混合液加注至扩增板的加注位置。通过本申请提供的技术方案，能够解决相关技术中的手工配制扩增试剂存在效率低的问题。
试剂配制机构具有核酸检测一体机

[发明专利]同轴电机驱动的控制方法及控制设备-CN202111281355.9在审
发明人：王野驰;刘斌;张华;邢英金;冯泽斌;徐向宇;江锐;张斌;庞龙亮 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H02P5/50 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种同轴电机驱动的控制方法及控制设备。在本申请实施例中，接收至少两个电机的驱动信息，根据驱动信息，通过对应的转速信息驱动至少两个电机中的一个电机；根据驱动信息，通过对应的转矩信息驱动至少两个电机中的其它电机。从而实现同轴电机同步驱动。且接收至少两个电机中的一个电机返回的转速信息，根据返回的转速信息调整该电机的转速信息，并发送调整后的转速信息至该电机；接收至少两个电机中的其它电机返回的电流信息，根据返回的电流信息调整转矩信息，并发送调整后的转矩信息至其它电机。使得通过对转速和转矩的控制，来实现对功耗的控制。
同轴电机驱动控制方法设备

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