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[实用新型]真空镀膜治具结构-CN202320141307.8有效
发明人： 许青翔;王兴财 -专利权人：秘石股份有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种真空镀膜治具结构，其包括：一驱动装置，设有一马达、一圆盘、一带动件，该圆盘中心与马达相连接，该带动件其中一端设于圆盘；两齿条，其中一齿条与带动件另一端相连接，且该齿条底部设有槽沟，该槽沟内设有至少一防脱装置；一转动装置，该转动装置设有一齿轮、至少两伞齿轮、一第一转杆、一第二转杆、一放置部、一平台、一支撑装置，该齿轮设于两齿条之间，该两伞齿轮互相啮合，且其中一伞齿轮与齿轮通过第一转杆相连接，该放置部与另一伞齿轮通过第二转杆相连接，该平台设于齿轮下方，该支撑装置设于第一转杆及第二转杆上；通过上述组合可达到本实用新型在进行蒸镀时放置部可以前后移动并转动，进而达到使待镀物均匀镀膜的效果。
真空镀膜结构

[发明专利]光罩遮蔽结构、极紫外线仪器及其形成方法-CN202010362158.9在审
发明人： 许青翔;黄正吉;徐丰源 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G03F1/22 文献下载
摘要：本发明实施例涉及光罩遮蔽结构、极紫外线仪器及其形成方法。本发明一些实施例提供一种光罩结构。所述光罩结构包含磁性衬底及安置在所述磁性衬底上的顺磁性部分。所述磁性衬底具有磁场，且所述顺磁性部分具有所述磁性衬底的所述磁场的方向上的感应磁场。所述顺磁性部分包含由所述顺磁性部分的多个突起结构界定的粗糙表面。本发明一些实施例还提供一种用于形成光罩结构的方法及一种极紫外线仪器。
遮蔽结构紫外线仪器及其形成方法

[发明专利]椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法-CN201910644012.0在审
发明人：徐丰源;杨棋铭;许青翔;陈其贤 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明实施例涉及椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法。本发明实施例涉及一种椭圆偏振仪，其包括光源、偏振器、非对称波长延迟器、分析仪及光学检测组件。所述光源经配置以提供入射到样本的具有多个波长的光束。所述偏振器安置于所述光源与所述样本之间，且经配置以使所述光束偏振。所述非对称波长延迟器经配置以提供对波长可变的所述光束的可变延迟效果。所述分析仪经配置以分析由所述样本反射的所述光束的偏振状态。所述光学检测组件经配置以检测来自所述分析仪的所述光束。
椭圆偏振估计厚度方法

[发明专利]极紫外光光掩模及其制造方法-CN201910808857.9在审
发明人：徐丰源;沈仓辉;许青翔 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： G03F1/24 文献下载
摘要：本发明实施例涉及极紫外光光掩模及其制造方法。提供一种光掩模和制造光掩模的方法。根据实施例，一种方法包含：提供衬底；在所述衬底上沉积反射层；在所述反射层上沉积罩盖层；在所述罩盖层上沉积吸收层；以及通过激光束处理所述反射层以形成边界区。所述激光束包含低于约十皮秒的脉冲持续时间。
紫外光光及其制造方法

[发明专利]将金属非金属化合物用作前驱物的光产生系统及方法-CN201910690318.X在审
发明人： 许青翔;徐丰源;张旭凯;杨棋铭 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例涉及将金属非金属化合物用作前驱物的光产生系统及相关的光产生方法。本发明实施例提供一种光产生系统。所述光产生系统包含汽化装置、激光装置及透镜结构。所述汽化装置经配置以汽化金属非金属化合物以产生金属非金属前驱气体。所述激光装置经配置以提供激光，且用所述激光照射从所述汽化装置释放的所述金属非金属前驱气体以发射光信号。所述透镜结构经配置以朝向用于光刻工艺的光掩模引导所述光信号。
金属非金属光产生系统汽化装置激光装置前驱气体透镜结构配置汽化光刻工艺激光照射发射光光产生光掩模前驱物激光释放

[实用新型]便携式电子装置-CN201620338762.7有效
发明人： 许青翔 -专利权人：汉民科技股份有限公司
申请日： 2016-04-21 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种便携式电子装置。该装置包含一壳体、一音频收发单元以及一防水透气片。壳体具有一容置空间以及一开孔，其中开孔使容置空间与外部相通。音频收发单元设置于壳体的容置空间中且靠近开孔，音频收发单元用以接收或产生一声音信息。防水透气片罩设于壳体的开孔，其中防水透气片包含一具有多个孔隙的基材以及以等离子辅助化学气相沉积技术形成于基材的一表面的一防水膜，其中该防水膜的厚度为10纳米至1微米之间。本实用新型提供的便携式电子装置利用于多个孔隙的基材上设置一由等离子辅助化学气相沉积技术形成于基材的表面的防水膜，有效达成透气防水功能。
便携式电子装置

[发明专利]无气泡的封装方法-CN200910119565.0有效
发明人：范士冈;许青翔;邱诚朴;莫启能;江美昭 -专利权人：华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司
申请日： 2009-03-16 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：一种无气泡的封装方法，适用于一显示组件的封装。首先，提供一第一基板及一第一保护层，其中第一保护层是形成于该第一基板的一表面上。此外，提供一第二基板及一第二保护层，其中第二保护层是形成于该第二基板的一表面上。接着，针对第一保护层与第二保护层的表面施行一等离子体处理。之后，将等离子体处理过后的第一基板与第二基板浸泡于一水溶液中。于水溶液中，将第一基板与第二基板进行一压合处理，压合时第一保护层与第二保护层互相面对。最后，将压合后的第一基板与第二基板自溶液内取出。
气泡封装方法

[发明专利]显示器-CN200910111650.2有效
发明人：范士冈;邱诚朴;许青翔;莫启能;江美昭 -专利权人：华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司
申请日： 2009-05-05 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： G09F9/37 文献下载
摘要：本发明涉及一种显示器包括一第一基板、一第一电极、一第二基板、一第二电极与一显示材料层。其中，第一电极配置于第一基板上，而第二电极配置于第二基板上。此外，显示材料层配置于第一电极与第二电极之间。本发明的显示材料层包括一溶液与多个配置于溶液中的第一微粒子。各第一微粒子具有多个不同轴向的轴长。至少一轴向的轴长会不同于其它轴向的轴长，以使第一微粒子在不同的第一驱动频率下呈现不同排列密度的极化自排效应。本发明的显示器除具有驱动方式简单与反应时间快速的优点外，更具有较佳的显示品质。
显示器

[发明专利]粒子显示器的显示三色的像素驱动结构及其显色方法-CN200910106591.X有效
发明人：范士冈;许青翔;邱诚朴;莫启能;江美昭 -专利权人：深圳华映显示科技有限公司;中华映管股份有限公司
申请日： 2009-04-15 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： G09G3/34 文献下载
摘要：本发明适用于电子纸的显色的技术领域，提供了一种粒子显示器的显示三色的像素驱动结构及其显色方法，所述像素驱动结构包括：一第一基板；一第一电极层设于第一基板；一粒子溶液，设于第一电极层的一侧，且具有第一颜色溶液、多第二颜色正电粒子及多第三颜色负电粒子；一第二电极层设于粒子溶液的一侧；一第二基板设于第二电极层；及一交直流电源供应器电性连接于第一及第二电极层。所述显色方法的步骤为施加一交流电压以显示出第一颜色；施加一第一直流电压以显示出第三颜色；及施加一第二直流电压以显示出第二颜色。在本发明中，让像素驱动结构显示三色，使电子纸显示的画面具色彩多样性。
粒子显示器显示三色像素驱动结构及其显色方法

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