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[发明专利]衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备-CN202210371652.0在审
发明人： 宋炳奎;高炯植;裵亨焕;玄俊鎭 -专利权人：株式会社尤金科技
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于对末端执行器的偏转进行感测的衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备。所述衬底转移装置包括：末端执行器，在第一方向上延伸且对衬底进行支撑；末端执行器握手，与末端执行器的在第一方向上的一个侧连接；水平移动单元，与末端执行器握手连接且使末端执行器在第一方向上移动；以及偏转感测单元，包括光发射部件及光接收部件且对末端执行器的偏转进行感测，所述光发射部件及所述光接收部件分别设置在末端执行器的移动路径的两侧处。
衬底转移装置以及具有处理设备

[实用新型]禽舍通风降温装置-CN202222074660.7有效
发明人： 宋炳奎;付建中;张艳 -专利权人：寿光市畜牧业发展中心
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： A01K31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及家禽养殖技术领域，本实用新型提出了禽舍通风降温装置，包括有多个通风窗、水帘和风扇，通风窗和水帘安装在禽舍侧壁上，风扇安装在禽舍内顶部，水帘和风扇可对禽舍降温散热，通风窗不仅用来降温散热，还用来通风换气。通风窗内的马达通过主动齿轮来驱动从动齿轮转动，从动齿轮带动第一活动窗转动，第一活动窗与第二活动窗上齿轮块相啮合，第一活动窗打开或关闭时，可同时驱动第二活动窗打开或关闭。通风窗上的活动窗由马达驱动打开或关闭，马达代替人工来打开或关闭活动窗，省时省力，方便远程操控。
禽舍通风降温装置

[实用新型]一种畜牧用多功能幼崽培养装置-CN202220948991.6有效
发明人：付建中;宋炳奎 -专利权人：寿光市稻田镇畜牧兽医工作站
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： A01K1/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及畜牧技术领域。本实用新型提供了一种畜牧用多功能幼崽培养装置，包括培养组件和消毒机构，所述培养组件包括培育箱体、门体、亚克力板、置物板和吸水垫；所述消毒机构包括光触媒板、紫外线灯带、红外温度传感器、警示灯、PLC控制器、继电器和显示屏；本实用新型通过红外温度传感器对培育箱体内幼崽体表面温度数据进行检测，当红外温度传感器检测的数据高于阈值或低于阈值时，通过PLC控制器和继电器启动警示灯发出警报，提醒工作人员进行查看，从而可以对幼崽及时进行救治，然后通过光触媒板利用紫外线灯带发出的紫外线产生强氧化物质，对培育箱体内的细菌病毒进行分解无害化处理，从而提高了消毒杀菌效果，增加了幼崽的成活率。
一种畜牧多功能培养装置

[发明专利]可调节式畜牧专用保定台-CN201811434068.5有效
发明人：刘福庆;王晓洁;宋炳奎 -专利权人：刘福庆
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： A61G13/04 文献下载
摘要：本发明提出了一种可调节式畜牧专用保定台，包括底座，底座上设有支撑杆和升降杆，升降杆与支撑杆之间设置有升降调节装置，升降杆的顶部固定有水平安装板，水平安装板的中部设有一竖向安装座，竖向安装座的一侧通过一合页转动连接有转动保定台，合页的两端分别设置有一转动锁止装置，竖向安装座的另一侧设有固定座，固定座的两端分别通过一滑动调节装置安装有一滑动保定台，两个滑动保定台之间形成检查通道，水平安装板上分别设置有一安装架，每一安装架与水平安装板之间均设置有一安装架调节装置，每一安装架上均设置有两个保定装置，本发明具有保定台高度和保定角度可调节，检查通道大小可调节，保定的可靠性和安全性高以及操作简单的特点。
调节畜牧专用保定

[发明专利]衬底处理装置及使用所述衬底处理装置的衬底处理方法-CN201610916058.X有效
发明人：玄俊镇;诸成泰;宋炳奎;金龙基;金劲勋;金苍乭;申良湜;金哉佑 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2016-10-20 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及使用所述衬底处理装置的衬底处理方法，且更具体而言，涉及一种能够改善参与衬底处理工艺的工艺气体的流量的衬底处理装置及使用衬底处理装置的方法。根据示例性实施例的衬底处理装置包括：预腔室，衬底被载送至预腔室中；工艺腔室，与预腔室连通且在工艺腔室中执行衬底处理工艺；衬底舟，包括多个分隔板以分隔装载空间，并进行升降，衬底被装载至装载空间中；气体供应单元，用以经由设置于工艺腔室中的多个喷射喷嘴将工艺气体供应至衬底；排放单元，用以经由界定于工艺腔室中的多个抽吸孔来排放气体；以及交换引导构件，设置于预腔室中并用以将被载送至预腔室中的衬底放置于经多个分隔板分隔的装载空间中。
衬底处理装置预腔室衬底衬底处理工艺腔室装载空间工艺气体分隔板分隔气体供应单元排放单元排放气体喷射喷嘴引导构件抽吸孔界定连通升降装载并用交换

[实用新型]多排多列模块化立体养猪出栏设备-CN201821806228.X有效
发明人：张志远;宋炳奎 -专利权人：张志远
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： A01K1/03 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种多排多列模块化立体养猪出栏设备，包括房体，房体两侧分别滑动安装有一供料装置，房体内中部设有一竖向隔断和三个水平隔断，每一水平隔断上均设有一水平通道，每一水平通道内均设置有一模块化猪栏单体，每一模块化猪栏单体与水平隔断之间均设置有固定装置，每一模块化猪栏单体均包括底座，每一底座上均滑动安装有一由第二驱动装置驱动的猪栏，每一猪栏底部的一端均沿X轴方向滑动安装有一由第一液压油缸驱动的止退装置，每一猪栏均包括三个设置在一起的喂养区，每一喂养区的外侧的水平隔断上均滑动安装有一喂养装置，房体内底部设置有两个液压升降机，本实用新型具有占地面积小、生产效率高、生猪疾病少，劳动强度低的特点。
猪栏模块化滑动安装水平隔断本实用新型多排多列水平通道房体养猪底座喂养体内第二驱动装置液压油缸驱动液压升降机供料装置固定装置生产效率竖向隔断喂养装置止退装置驱动疾病

[实用新型]一种畜牧养殖用仔猪喂料设备-CN201821901622.1有效
发明人： 宋炳奎;张志远;刘福庆 -专利权人： 宋炳奎
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： A01K5/01 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种畜牧养殖用仔猪喂料设备，本实用新型的喂料设备安装在养殖栏旁，食槽可从养殖栏的底口伸进养殖栏内，底座上安装的驱动气缸可驱动食槽在底座上来回滑动，喂食完成后，食槽可被驱动气缸拉出养殖栏，可回收食槽内剩余的饲料，同时也方便清洗食槽，保证食槽的清洁卫生。底座的支撑架上安装有搅拌斗，饲料可从搅拌斗侧壁的进料嘴添加，饲料在搅拌斗内搅拌混合后可从导料管向下排出，食槽在养殖栏的外侧，饲料可直接排进食槽内，实现自动投食。本实用新型的结构简单，制造成本不高，适于中小牧场或畜牧企业使用。
食槽养殖栏本实用新型喂料设备搅拌斗底座饲料驱动气缸畜牧养殖仔猪方便清洗来回滑动清洁卫生制造成本导料管进料嘴可回收支撑架侧壁底口拉出排出伸进投食喂食牧场驱动畜牧保证

[发明专利]衬底处理设备-CN201610600648.1有效
发明人：玄俊镇;诸成泰;宋炳奎;金龙基;金劲勋;金苍乭;申良湜;金哉佑 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理设备，包含：管，其提供内部空间，在所述内部空间中处理衬底；衬底支撑部分，其在管的内部空间中以多层堆叠多个衬底；气体供应部分，其将处理气体供应到多个衬底；排气部分，其安置成面向气体供应部分以吸收处理气体；以及流动调节部分，其具有沿着在气体供应部分与排气部分之间的管的圆周形成的喷洒开口以喷洒调节气体，并且能够通过调节处理气体的流动控制供应到衬底的上表面的处理气体的量，可以改进衬底处理过程的效率。
衬底处理设备

[发明专利]衬底处理设备-CN201610600078.6有效
发明人：玄俊镇;诸成泰;宋炳奎;金龙基;金劲勋;金苍乭;申良湜;金哉佑 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理设备，衬底处理设备包含：管子，其中具有内部空间；衬底支撑单元，其包括多个隔板，多个隔板经配置以将多个衬底垂直堆栈于其上并且将其中处理多个衬底的处理空间在管子中分成多个处理空间；气体供应单元，其经配置以将处理气体供应到多个衬底；以及排气单元，其经安置以面对着气体供应单元来排出管子内部的气体。多个通孔界定于隔板中的每一个中。本发明提供的衬底处理设备能够在衬底上均匀地形成薄膜。
衬底处理设备

[发明专利]一种畜牧养殖用仔猪喂料设备-CN201811375464.5在审
发明人： 宋炳奎;张志远;刘福庆 -专利权人： 宋炳奎
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： A01K5/01 文献下载
摘要：本发明提出了一种畜牧养殖用仔猪喂料设备，本发明的喂料设备安装在养殖栏旁，食槽可从养殖栏的底口伸进养殖栏内，底座上安装的驱动气缸可驱动食槽在底座上来回滑动，喂食完成后，食槽可被驱动气缸拉出养殖栏，可回收食槽内剩余的饲料，同时也方便清洗食槽，保证食槽的清洁卫生。底座的支撑架上安装有搅拌斗，饲料可从搅拌斗侧壁的进料嘴添加，饲料在搅拌斗内搅拌混合后可从导料管向下排出，食槽在养殖栏的外侧，饲料可直接排进食槽内，实现自动投食。本发明的结构简单，制造成本不高，适于中小牧场或畜牧企业使用。
食槽养殖栏喂料设备搅拌斗底座饲料驱动气缸畜牧养殖仔猪方便清洗来回滑动清洁卫生制造成本导料管进料嘴可回收支撑架侧壁底口拉出排出伸进投食喂食牧场驱动畜牧保证

[发明专利]用于处理衬底的设备-CN201510037225.9有效
发明人：玄俊镇;宋炳奎;金劲勳;金龙基;申良湜;金苍乭 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2015-01-26 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于处理衬底的设备。在其中对衬底执行工艺的用于处理衬底的所述设备包含：下部腔室，所述下部腔室在其一侧中具有开放的上部及通道，可通过所述通道接近衬底；外部反应管，其经设置以关闭下部腔室的开放的上部，进而提供在其中执行所述工艺的工艺空间；衬底固持器，至少衬底垂直地堆叠在其中，所述衬底固持器在堆叠位置与工艺位置之间切换，在所述堆叠位置中，衬底堆叠在衬底固持器中，在所述工艺位置中，对衬底执行所述工艺；以及气体供应单元，其安置在外部反应管中以将反应气体供应到反应区中，进而产生在垂直方向上具有彼此不同的相位差的反应气体气流。该设备根据高度在不同温度下加热工艺空间，能够提高衬底处理生产量。
用于处理衬底设备

[发明专利]多排多列模块化立体养猪出栏设备-CN201811305121.1在审
发明人：张志远;宋炳奎;王晓洁 -专利权人：张志远
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： A01K1/03 文献下载
摘要：本发明提出了一种多排多列模块化立体养猪出栏设备，包括房体，房体两侧分别滑动安装有一由第一动力装置驱动的供料装置，房体内中部设有一竖向隔断和三个水平隔断，每一水平隔断上均设有一水平通道，每一水平通道内均设置有一模块化猪栏单体，每一模块化猪栏单体与水平隔断之间均设置有固定装置，每一模块化猪栏单体均包括底座，每一底座上均滑动安装有一由第二驱动装置驱动的猪栏，每一猪栏底部的一端均沿X轴方向滑动安装有一由第一液压油缸驱动的止退装置，每一猪栏均包括三个设置在一起的喂养区，每一喂养区的外侧的水平隔断上均滑动安装有一喂养装置，房体内底部设置有两个液压升降机，本发明具有占地面积小、生产效率高、生猪疾病少，劳动强度低的特点。
猪栏模块化滑动安装水平隔断多排多列水平通道房体养猪底座喂养体内第二驱动装置动力装置驱动液压油缸驱动液压升降机供料装置固定装置生产效率竖向隔断喂养装置止退装置驱动疾病

[发明专利]基板处理装置-CN201480052654.7有效
发明人：玄俊镇;宋炳奎;金劲勋;金龙基;申良湜;金仓乭 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2014-10-17 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：根据本发明的一实施例，基板处理装置包括：腔本体，该腔本体的上部和下部开放，并通过形成于一侧的通道运送基板；内部反应管，该内部反应管具有下部开放的形状，并设置在上述腔本体的上部而提供对上述基板实施工序的工序空间；基板支架，配置在上述腔的开放的下部，可以将通过上述通道运送的上述基板转换到沿着上下方向装载的装载位置、及朝向上述工序空间上升而对被装载的上述基板实施工序的工序位置；遮断板，连接在上述基板支架的下部而与上述基板支架一起升降，在上述工序位置封闭上述内部反应管的开放的下部；连接气缸，竖立设置在上述遮断板的下部而与上述遮断板一起升降；及遮断部件，被连接在上述腔本体的开放的下部表面和上述连接气缸之间，将开放的上述腔本体的下部与外部隔离。
处理装置

[发明专利]衬底输送机器人和使用该衬底输送机器人的衬底处理设备-CN201510076200.X有效
发明人：玄俊镇;宋炳奎;金劲勋;金龙基;申良湜;金苍乭 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2015-02-12 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底输送机器人和用该衬底输送机器人的衬底处理设备，该衬底处理设备可包括真空锁腔室，从外部输送的衬底布置在真空锁腔室中，并且真空锁腔室的内部状态变为真空状态和大气压力状态；衬底处理模块，在衬底处理模块中对衬底执行处理；输送室，衬底在该输送室中被输送，输送室布置在真空锁腔室和衬底处理模块之间；和衬底输送机器人，该衬底输送机器人安装在输送室内并输送衬底。
衬底输送机器人和使用机器人处理设备

[发明专利]加热器可提升型基板处理装置-CN201380019312.0有效
发明人：梁日光;宋炳奎;金劲勋;金龙基;申良湜 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2013-04-03 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：根据本发明的实施方式，一种基板处理装置包括腔室，该腔室提供内部空间，在该内部空间中执行对于基板的处理；加热板，该加热板被固定到腔室中，基板放置在加热板的上部；加热器，该加热器设置为与加热板的下部隔开，以加热加热板；以及提升模块，该提升模块对加热器进行提升。
加热器提升型基板处理装置

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