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[发明专利]基片支撑件-CN200410006061.5有效
发明人：安德鲁·源;格哈德·施奈德;细川明广;松本隆之 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2004-02-27 - 公布日： 2004-11-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于支撑基片的装置，所述装置具有适合于最小化基片支撑件与支撑于其上的基片之间的损坏的球体。在一个实施例中，一种用于支撑基片的装置包括设置在倾斜的球体支撑表面上的球体。所述球体支撑表面适合于将所述球体向着球体支撑表面的一侧偏置，从而当支撑于球体上的基片受到热影响而长度变化时为球体提供滚动空间。在另一个实施例中，该装置还包括适合于将球体俘获到球体支撑表面的保持架。
支撑

[发明专利]基片支撑单元、单一类型基片抛光装置和基片抛光方法-CN200810176551.8有效
发明人：具教旭;尹沧老;赵重根;崔基勋;崔重奉;孙德铉;具世薰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2008-11-19 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片支撑单元和使用该基片支撑单元的单一类型基片抛光装置。在抛光处理期间，利用真空吸力，基片的底部表面被吸附于基片支撑单元；在后清洁处理期间，基片由基片支撑单元支撑，置于基片支撑单元上部的空间中，以清洁基片的底部表面。因此，根据基片支撑单元和使用该基片支撑单元的基片抛光装置，在由单一类型基片支撑单元支撑基片的状态下，可以顺序执行用于抛光基片表面的处理和用于清洁基片的顶部和底部表面的后处理。
支撑单元单一类型抛光装置方法

[发明专利]证件基片旋转器及处理模块-CN200580029727.1无效
发明人：詹姆斯·R·梅尔;马丁·A·普瑞布拉;斯坦西·W·鲁卡斯卡伍兹;查德威克·M·约翰逊;安东尼·L·劳肯 -专利权人：法格电子公司
申请日： 2005-09-08 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： B65H39/10 文献下载
摘要：一种证件基片旋转器(170)，包括基片支撑件(176)、基片进给件(206)和基片传感器(240)。所述基片支撑件被构造用来将基片(108)支撑在基片支撑平面(178)内，并绕着中心轴线(184)旋转。所述基片进给件被构造用来沿着所述基片支撑平面进给基片。所述基片传感器包括与所述中心轴线对齐、并具有第一和第二位置(244和246)的基片位置指示器(例如销触发器264)。所述第一位置指示基片从所述基片支撑件的预定位置缺失。所述第二位置指示基片存在于所述基片支撑件的预定位置。还公开了一种证件基片处理模块(100)，所述证件基片处理模块包括证件基片旋转器(170)、第一数据编码器(300)和模块控制器(162)。所述证件基片旋转器包括：基片支撑件(176)，所述基片支撑件被构造用来将基片(108)支撑在基片支撑平面(178)内，并绕着中心轴线(184)旋转；和基片进给件(206)。
证件旋转处理模块

[发明专利]支撑基片的装置-CN200780029450.1有效
发明人：金起祚;朴瑩洙 -专利权人：无尽电子株式会社
申请日： 2007-08-06 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种支撑基片的装置，其有选择地并且一致地处理其上形成图案的基片正面和其上不形成图案的基片背面。该支撑基片的装置包括：非接触导向件，其向该基片提供气体以将该基片浮起预先确定的距离；支撑该非接触导向件的升降部件，该升降部件在垂直方向升高或降低该非接触导向件；将该基片固定在上部的接触导向件，该接触导向件为环形以围绕该非接触导向件并与该非接触导向件同心设置；和转动部件，其支撑和转动该接触导向件。当该非接触导向件设为低于该接触导向件时，该接触导向件支撑该基片，以及当该非接触导向件设为高于该接触导向件时，该基片浮在该非接触导向件之上，并因此有选择地处理该基片的正面和背面。
支撑装置

[发明专利]基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法-CN202310392892.3在审
发明人：严大 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请公开了一种基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法，属于基片处理技术领域。基片处理系统包括载具、支撑组件以及吸盘组件，载具上设有多个容纳基片的工位；吸盘组件可将基片转移到支撑组件中或从支撑组件中的取出基片；支撑组件可将基片平稳放入载具的工位中，或将容纳在工位中的基片平稳顶出载具本申请提供的基片处理系统，支撑组件可将基片平稳放入或顶出载具，吸盘组件向支撑组件放入基片或从支撑组件中取出基片，使得基片可在吸盘组件与支撑组件之间以及支撑组件与载具之间平稳转移，从而实现基片的平稳取放，可提高基片的良品率。
处理系统方法支撑吸盘组件

[发明专利]一种基片承载装置和清洗设备-CN202010680043.4有效
发明人：李广义;边宝孝;赵宏宇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种基片承载装置，包括基片固定组件和基片支撑组件，基片固定组件包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个定位部之间具有定位间隔，定位间隔用于插入基片；基片支撑组件位于基片固定组件下方，基片支撑组件用于在基片插入定位间隔时，托住基片。本发明通过定位间隔的侧面贴扶功能与基片支撑组件的底部托举功能共同实现承载基片，从而使得该基片承载装置能够同时承载多种不同规格尺寸的基片，提高了在机台之间转移基片的效率。本发明还提供一种清洗设备。
一种承载装置清洗设备

[实用新型]一种基片载具-CN201520433153.5有效
发明人：乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 -专利权人：杭州士兰集成电路有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基片载具，用于蒸发沉积系统中，对基片进行装载，所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座，所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端，所述支撑基座用于放置基片，所述滚轮用于在轨道上滚动。本实用新型提供的基片载具，包括滚轮、支撑杆和支撑基座，能够方便地对基片进行装载；可以实现对不同大小的基片进行沉积，同时还可调整基片的沉积倾斜角；并且，本申请中的基片载具能够方便地放置基片，对基片固定牢固稳定，非常利于对基片的沉积的进行。
一种基片载具

[发明专利]基片传送装置、取出基片的方法和容纳基片的方法-CN200310122288.1有效
发明人：吉泽武德;海野重信 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2003-11-29 - 公布日： 2004-06-16 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：一种基片传送装置，用于取出以水平状态容纳在基片容纳托盘中的基片，其包括多个支撑销，用于将在基片容纳托盘中所容纳的基片升起到基片容纳托盘的上方。基片容纳托盘包括多个开孔，多个支撑销能够穿过它们插入。多个支撑销相对于基片容纳托盘向上移动，并穿过基片容纳托盘上的多个开孔插入，以升起基片。多个支撑销中的每个都具有足够的长度，能穿过竖直堆放的多个基片容纳托盘垂直插入。
传送装置取出方法容纳

[发明专利]显示模块和具有所述显示模块的移动通信装置-CN200710005479.8有效
发明人：崔炳盛;金亨锡;洪常基 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2007-02-08 - 公布日： 2008-03-19 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：显示组件，其具有：接收含有指定信息的显示信号的显示模块；主电路支撑基片，其包括地线；连接到主电路支撑基片的柔性电路支撑基片模块，用于处理或从主电路支撑基片到显示模块传递用于指定信息的数据，所述柔性电路支撑基片模块具有凹入的导电部分；和导电部件，其连接到柔性电路支撑基片模块，以将所述柔性电路支撑基片和显示模块接接地，所述导电部件包括应用于柔性电路支撑基片模块的导电带和将柔性电路支撑基片模块的凹入的导电部分连接到导电带的导电膏。
显示模块有所移动通信装置

[发明专利]一种真空锁系统及其对基片的处理方法-CN201510432860.7有效
发明人：雷仲礼 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2015-07-22 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种真空锁系统及其对基片的处理方法，真空锁系统包含腔室主体、设置在腔室主体内的基片转移支撑组件和基片升降组件，腔室主体包含垂直堆叠设置的处理腔和基片转移腔，处理腔对基片进行等离子体处理，基片转移腔可选择性地连接至大气环境或真空处理环境，基片转移支撑组件包含基片支撑装置和基片旋转装置，基片支撑装置上的盘用于放置基片，基片旋转装置实现基片在相邻盘之间的转移，基片升降组件以可升降的方式设置在腔室主体中，带动基片在处理腔和基片转移腔之间移动本发明可以快速有效地实现多个基片的同时搬送，减轻了机械手的搬送压力，提高了工作效率，增加了产量。
一种真空系统及其处理方法

[实用新型]基片托盘的支撑器及基片托盘组件-CN202222860132.4有效
发明人：王子菲 -专利权人：楚赟科技（绍兴）有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基片托盘的支撑器及基片托盘组件。该基片托盘的支撑器包括支撑部和调整部；支撑部设有第一旋转轨道，调整部设有第二旋转轨道，调整部用于连接基片托盘，支撑部用于连接带动基片托盘转动的驱动器。本申请的基片托盘的支撑器通过支撑部设置第一旋转轨道，通过调整部设置第二旋转轨道，使得调整部转动设置于支撑部上，并通过调整部的转动能够调节调整部在支撑部上的高度，进而能够精确调节基片托盘相对于支撑部的高度，解决了现有技术中基片托盘与旋转轴耦合的高度不可调的问题，实现了基片托盘的精细化高度调节，有利于基片托盘表面获得更均匀的温场。
托盘支撑组件

[发明专利]基片处理装置及为此使用的覆盖构件-CN200910207463.4有效
发明人：金炳埈 -专利权人：金炳埈
申请日： 2009-11-05 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：公开了一种基片处理装置，更具体而言是一种能够执行诸如基片蚀刻的基片处理的基片处理装置及其覆盖构件。该基片处理装置包括：处理室，所述处理室形成用于基片处理的处理空间；基片支撑板，所述基片支撑板具有下部电极，并构造成在其上直接或者通过托盘固定一个或者多个基片；覆盖构件，所述覆盖构件具有沿向上和向下方向以贯通形式形成的多个开口，并构造成覆盖基片；以及一个或者更多个向下变形阻止构件，所述向下变形阻止构件安装在覆盖构件和基片支撑板之间，用于维持覆盖构件的底面与基片支撑板之间的距离。
处理装置为此使用覆盖构件

[发明专利]新型多级传输机器人-CN200910192935.3在审
发明人：杨明生;范继良;刘惠森;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-04-14 - 主分类号： B25J9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型多级传输机器人，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，其中，还包括第三级传输机械手臂，第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，基片支撑段与基片承载段固定连接，基片承载段上安装有支撑减振机构，支撑减振机构包括支撑块，支撑块上表面呈弯折结构，弯折结构形成台阶，支撑块分别固定于基片承载段上，且支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，台阶上开设有凹槽，凹槽内容置有弹性橡胶带本发明能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。
新型多级传输机器人

[实用新型]多级传输机器人-CN200920236787.6无效
发明人：杨明生;范继良;刘惠森;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： B25J3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多级传输机器人，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，其中，还包括第三级传输机械手臂，第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，基片支撑段与基片承载段固定连接，基片承载段上安装有支撑减振机构，支撑减振机构包括支撑块，支撑块上表面呈弯折结构，弯折结构形成台阶，支撑块分别固定于基片承载段上，且支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，台阶上开设有凹槽，凹槽内容置有弹性橡胶带本实用新型能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。
多级传输机器人

[发明专利]一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件-CN202011606927.1在审
发明人：张辉;姜勇 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种支撑基片的基片托盘，所述基片托盘包括侧壁和侧壁围绕而成的的加热腔，所述侧壁顶部包括盖板，所述顶盖用于向下辐射热量；所述顶盖下方的侧壁内侧包括多个互相分离的支撑腔，以及与每个支撑腔相邻的举升腔，所述举升腔底部向下延伸并穿过基片托盘侧壁底面，使得举升腔与基片托盘下方空间联通，所述支撑腔底部平面高于所述基片托盘底面。与相应的载环组件配合后能够使得基片从基片托盘底部取放，简化取放基片流程。
一种薄膜生长系统以及托盘组件

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