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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置和基板处理装置中的基板输送装置-CN200310115735.0无效
发明人：大霜努;福井亨;板仓纯一;京谷直树 -专利权人：株式会社华祥
申请日： 2003-11-28 - 公布日： 2004-06-16 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：提供一种基板处理装置和在基板处理装置上的基板输送装置，基板处理装置由处理基板的处理槽、沿处理槽设置的输送路线、在输送路线上移动和输送基板的基板输送装置构成，不增加基板处理装置的占地面积，可以提高基板处理的吞吐量设置有在同一路径上可以移动的至少2个以上的基板输送装置，输送基板的上述基板输送装置可以相互重叠地在多个处理槽移动。此外用由程序机生成的调度程序数据发生同时在多个处理槽输送基板的情况下，参照基板输送分担处理条件，确定调度程序数据。
处理装置中的输送

[发明专利]接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置-CN202111541285.6在审
发明人：方镐千 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供能够有效地充分利用空间的基板接合设备中的基板保管及对准装置。根据本发明的实施例的接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置，包括：前端缓冲器，包括用于临时保管基板的前端保管插槽以及从所述前端保管插槽输送所述基板的输送机械手能够移动的前端开口部；以及前端校准器，形成为层叠于所述前端缓冲器的上方而通过旋转所述基板来对准所述基板。
接合设备中的保管对准装置

[发明专利]设置在基板处理设备中的基板放置部-CN201780061456.0在审
发明人：康豪哲;黄喆周 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板放置部的实施例涉及一种设置在基板处理设备中的基板放置部。基板放置部被分成多个内部区域和外部区域，内部区域具有内部加热线和外部加热线，外部区域置于基座边缘、包围内部区域且包括外部加热线，其中在至少部分区域中，内部加热线设置在相同内部区域中且具有第一间隔，设置在不同内部区域中的相应内部加热线被设置为具有在内部加热线彼此平行的部分中的第二间隔，内部加热线和外部加热线被设置为具有在内部加热线和外部加热线彼此平行的部分中的第三间隔，第一间隔可小于第二间隔。
加热线内部区域基板放置部基板处理设备外部彼此平行外部区域基座边缘包围

[发明专利]微光刻中的基板加载-CN202211042781.1在审
发明人： R·帕特森;C·J·福莱肯斯坦;M·S·沙夫兰;C·S·卡登;S·萨达姆;R·克里斯蒂安森 -专利权人：分子印记公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及微光刻中的基板加载。本发明涉及用于装载和卸载诸如半导体晶片的基板的方法、系统和设备，涉及微光刻和类似的纳米制造技术。该系统包括：两个或更多个基座；基板卡盘，其包括两个或更多个通道；转台，其具有顶面和与第二端相对定位的第一端，第一端和第二端中的每一者都包括相应的开口，每个开口包括两个或更多个切口和两个或更多个突片，所述转台能在第一位置与第二位置之间旋转；和致动器系统，其用于调节转台与基板卡盘之间以及转台与基座之间的距离。
微光中的加载

[发明专利]多孔基板中的通孔-CN201610882078.X有效
发明人： I·莫哈梅德;B·哈巴;C·尤祖;P·萨瓦利亚 -专利权人：泰塞拉公司
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种微电子单元(10)，所述微电子单元可包括具有正面(22)和背面(21)以及在其中具有有源半导体器件的基板(20)，所述基板具有以对称或非对称分布的方式布置在所述背面的整个区域上的多个开口所述多个第一导电互连件(40)可通过所述开口(12)中的至少一个与所述多个第二导电互连件(40)分隔开，所述至少一个开口至少部分地填充有绝缘材料(70)。
多孔中的

[发明专利]微光刻中的基板加载-CN201780046666.2有效
发明人： R·帕特森;C·J·福莱肯斯坦;M·S·沙夫兰;C·S·卡登;S·萨达姆;R·克里斯蒂安森 -专利权人：分子印记公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于装载和卸载诸如半导体晶片的基板的方法、系统和设备，涉及微光刻和类似的纳米制造技术。该系统包括：两个或更多个基座；基板卡盘，其包括两个或更多个通道；转台，其具有顶面和与第二端相对定位的第一端，第一端和第二端中的每一者都包括相应的开口，每个开口包括两个或更多个切口和两个或更多个突片，所述转台能在第一位置与第二位置之间旋转；和致动器系统，其用于调节转台与基板卡盘之间以及转台与基座之间的距离。
微光中的加载

[发明专利]确定光刻中基板的位置-CN201380068339.9有效
发明人： G.德博尔;N.弗吉尔 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2013-10-28 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括光学位置标记(100)的基板(12，513)，该标记用于以光学记录头(500)读出以发射具有预确定波长的光，优选地为红色或红外线光，尤其为具有635nm的光，该光学位置标记(100)具有标记高度(MH)、标记长度(ML)和在该基板(12，513)上预确定的已知位置，该光学位置标记(100)沿纵向方向(x)延伸并且被布置成用于改变该位置标记(100)沿所述纵向方向(x)的反射系数，其中该光学位置标记
确定光刻中基板位置

[发明专利]多孔基板中的通孔-CN201280030709.5有效
发明人： I·莫哈梅德;B·哈巴;C·尤祖;P·萨瓦利亚 -专利权人：泰塞拉公司
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种微电子单元(10)，所述微电子单元可包括具有正面(22)和背面(21)以及在其中具有有源半导体器件的基板(20)，所述基板具有以对称或非对称分布的方式布置在所述背面的整个区域上的多个开口所述多个第一导电互连件(40)可通过所述开口(12)中的至少一个与所述多个第二导电互连件(40)分隔开，所述至少一个开口至少部分地填充有绝缘材料(70)。
多孔中的

[发明专利]阵列基板及阵列基板中TFT器件的启动方法-CN201510974140.3有效
发明人：李亚锋;彭香艺 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2015-12-22 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：本发明提供一种阵列基板及阵列基板中TFT器件的启动方法。本发明的阵列基板包括遮光金属层(10)、及设于所述遮光金属层(10)上的TFT层(20)，通过对所述遮光金属层(10)中的遮光金属块(11)进行通电，使其发热，从而对TFT层(20)进行预热，提高TFT层(20)中TFT器件的启动速度。本发明的阵列基板中TFT器件的启动方法，通过在启动TFT层(20)中的TFT器件之前，对所述遮光金属层(10)中的数个遮光金属块(11)进行通电，使其发热，从而对TFT层(20)进行预热，提高TFT层(20)中TFT器件的启动速度，该方法尤其适用于低温环境下阵列基板中TFT器件的启动。
阵列基板中 tft 器件启动方法

[发明专利]具有基板通孔(TSV)的基板中的对准标记-CN201110258788.2有效
发明人：章鑫;蔡方文;林俊成;邱文智;郑心圃 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2011-08-31 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明公开了一种装置，其包括基板和对准标记，所述对准标记包括穿透所述基板的导电基板通孔(TSV)。本发明还公开了一种形成该器件的方法。通过本发明的方法和器件，基板上的基板通孔对准的准确度高。
具有基板通孔 tsv 中的对准标记

[发明专利]基板检查装置以及基板检查装置中的对位方法-CN201080040313.X无效
发明人：岩津春生 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-09-09 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：一种基板检查装置，具有：检查装置本体部，其用于进行形成有电子电路以及电极焊盘的基板的电气检查；接触器，其与检查装置本体部电连接。接触器是在半导体晶片上形成有由导电性材料形成的接触部的部件，通过使接触部和基板的电极焊盘电连接，而进行基板的电气电路的检查。
检查装置以及中的对位方法

[发明专利]用于基板处理系统中的基板支撑件的基板位置校准方法-CN201880016511.9在审
发明人：松下智治;阿拉维德·卡马斯;贾勒帕里·拉维;蔡振雄;高滨宏行 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本文提供用于基板处理系统中的基板支撑件的基板位置校准的方法与设备。一些实施方式中，一种用于在基板支撑件上定位基板的方法包括：通过重复地将基板放置于基板支撑件上的位置且将所述基板真空吸附至所述基板支撑件及测量背侧压力，而获得多个背侧压力值，所述背侧压力值对应于所述基板支撑件上的多个不同的基板位置；以及分析所述多个背侧压力值，以确定校准过的基板位置。
基板支撑件侧压力基板位置校准基板处理系统定位基板基板放置基板真空吸附测量重复分析

[发明专利]用于保持布置在壳体中的基板的基板保持结构-CN201810558910.X在审
发明人：高崎哲朗 -专利权人：矢崎总业株式会社
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：一种基板保持结构，包括：壳体，该壳体具有元件容纳室；端子，该端子固定到壳体，并且具有元件夹持部；以及基板，该基板具有由端子的元件夹持部夹持的接触部。基板在接触部由端子的元件夹持部夹持的情况下而被保持在壳体的元件容纳室中。保持在元件容纳室中的基板的所有面均布置为与壳体隔开有间隙。
壳体基板元件容纳夹持部基板保持结构夹持隔开

[发明专利]基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法-CN201010119670.7有效
发明人：守田修 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2010-02-20 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： G05B19/048 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法，基板处理装置包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理该基板的基板处理机构的状态，控制部包括控制基板输送机构的输送系统控制器，操作部具有设定检测基板输送机构或基板处理机构的状态的传感器的检测条件、以及包括对基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息的设定画面，输送系统控制器基于来自操作部的指示对输送控制模块指定基板输送机构的工作，输送控制模块根据由操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息来控制基板输送机构。
处理装置中的异常显示方法

[发明专利]阵列基板中双层金属层的制造方法以及阵列基板-CN201810769180.8有效
发明人：宫奎;徐德智;王一军;段献学;张志海 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L21/84 文献下载
摘要：本公开涉及一种阵列基板中双层金属层的制造方法及阵列基板，该方法包括：在阵列基板上形成第一金属层图案；在所述第一金属层图案上形成绝缘层，并在所述绝缘层上形成过孔；在所述阵列基板上形成双层金属层，所述双层金属层包括下层金属层和上层金属层，所述下层金属层通过所述过孔与所述第一金属层图案接触；在所述阵列基板上形成光刻胶，形成所需的下层金属层和上层金属层的图案，并通过灰化工艺使得通过所述过孔暴露出的上层金属层氧化变成氧化物；通过使所述氧化物与光刻胶剥离液反应，去除所述氧化物以及所述光刻胶，以暴露出所述过孔中的下层金属层。
阵列基板中双层金属制造方法以及

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