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- [发明专利]超高纯锗单晶的制备方法及设备-CN202111244373.X在审
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顾小英;赵青松;狄聚青;牛晓东
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安徽光智科技有限公司
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2021-10-25
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2022-02-15
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C30B29/08
- 本公开提供一种超高纯锗单晶的制备方法,包括以下步骤:步骤一,将高纯籽晶和高纯锗料进行腐蚀、清洗、高纯氮气吹干;步骤二,将高纯籽晶和高纯锗料放入炉体里,密封;步骤三,高纯氢气吹扫后,加热将高纯锗料融化;步骤四,引晶:将高纯籽晶伸入熔融锗料,调节温度进行引晶;步骤五,缩颈:调节温度,缩颈至所需的直径和长度,进行排位错;步骤六,放肩:调节温度,放肩至所需要的晶体尺寸;步骤七,等径:温度不变,等径至所需的长度;步骤八,收尾:通过调节温度,收尾直至锗料提拉完毕;步骤九,出炉:降至室温,方可出炉。本公开的制备超高纯锗单晶的设备,包括:加热装置、固定装置、密封装置、冷却装置、通气装置、提拉装置、观察装置。
- 高纯锗单晶制备方法设备
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