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- [发明专利]磁控溅射设备-CN202311147728.2在审
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陈定康;李兆营;程朋
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安徽光智科技有限公司
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2023-09-06
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2023-10-27
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C23C14/35
- 提供一种磁控溅射设备，磁控溅射设备包括腔体、基座、磁铁、第一供气管以及排气管。腔体具有底壁、周壁和顶壁以及部空间，顶壁用于供连接于阴极的金属靶材固定在下方；基座用于支撑衬底并用于连接于阳极；磁铁用于施加磁场；第一供气管在上下方向上定位在金属靶材和基座之间，第一供气管用于使内部空间与氩气源受控连通；排气管用于使内部空间和抽真空装置受控连通；第一供气管和排气管配置成：在衬底上磁控溅射形成单组分金属薄膜时，第一供气管供入氩气，抽真空装置启动；第一供气管包括环状管和至少三根直线伸缩管；各直线伸缩管配置成：基于在衬底上磁控溅射镀覆的薄膜的电阻分布图调整各直线伸缩管的长度直到电阻分布的均匀性符合要求。
- 磁控溅射设备
- [发明专利]图形化聚酰亚胺层工艺-CN202311147714.0在审
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温斐旻;李海涛;闫丽荣
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安徽光智科技有限公司
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2023-09-06
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2023-10-24
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H01L21/02
- 一种图形化聚酰亚胺层工艺包括步骤：S1，在基层上形成钝化层；S2，在钝化层上形成聚酰亚胺层；S3，在聚酰亚胺层上形成硬掩膜层；S4，在硬掩膜层上设置光刻胶；S5，图案化光刻胶以形成沟槽，以使沟槽露出用于形成孔的部分的硬掩膜层而孔周围的硬掩膜层覆盖有光刻胶；S6，主刻蚀，采用CF4、CHF3、Ar的刻蚀气体沿沟槽进行刻蚀，以刻蚀掉沟槽处的硬掩膜层和部分的聚酰亚胺层，主刻蚀刻蚀聚酰亚胺层的厚度为75％～85％；S7，过刻蚀，采用N2和O2的刻蚀气体继续沿沟槽进行刻蚀，将剩余的聚酰亚胺层刻蚀干净并露出钝化层；S8，将硬掩膜层残留的光刻胶去除，以使与沟道对应的部分形成孔；S9，沿着孔以及孔顶部周围的硬掩膜层上生长一层硬掩膜覆层。
- 图形聚酰亚胺工艺
- [发明专利]红外材料棒料加工方法-CN202311129088.2在审
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梁永生;孙超;王艺娜;尹士平
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安徽光智科技有限公司
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2023-09-01
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2023-10-20
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B28D1/22
- 一种红外材料棒料加工方法包括步骤：步骤一，利用粘接材料将多根红外材料棒料多层交错堆叠地粘接固定在切割机台的支撑板上，各层中的红外材料棒料在第一方向上并排，多层的红外材料棒料在与第一方向垂直的第二方向上堆叠，两相邻层中的位于上方的一层中的各外材料棒料的中心在第一方向上处于两相邻层中的位于下方的一层中的相邻的两个对应的红外材料棒料的中心之间，粘接材料至少填充在相邻红外材料棒料之间的间隙中以及切割机台的支撑板上；步骤二，将粘接固定的多根红外材料棒料连同支撑板内圆/多线切割以形成多个红外材料片；步骤三，将各红外材料片球面铣磨；步骤四，定心磨边以形成毛坯镜片；步骤五，对毛坯镜片进行至少垂直度的检测。
- 红外材料加工方法
- [发明专利]锗加工切削液供给及处理和锗泥回收系统-CN202310849655.5在审
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龙群桦;潘亮;彭乔
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安徽光智科技有限公司
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2023-07-11
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2023-10-17
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B23Q11/10
- 一种锗加工切削液供给及处理和锗泥回收系统包括清液池、清液池用泵、清液供给管线、污液池、污液池用泵、离心机以及锗泥回收箱。清液池用于：在锗加工设备工作前盛放切削液，在锗加工设备加工过程中用于收容离心机分离出的含有切削液的清液。清液池用泵用于泵吸清液池初始盛放的切削液以及清液并向清液供给管线泵送。清液供给管线用于将清液池用泵泵送的切削液以及清液供给到锗加工设备。污液池用于：接收切削液使用后构成的初始污液，接收含有切削液的清液使用后构成的后续污液，统称为离心机处理污液。污液池用泵用于从污液池中泵送离心机处理污液到离心机中。离心机用于离心分离，以获得锗泥和含有切削液的清液。锗泥回收箱用于收容锗泥。
- 加工切削供给处理回收系统
- [发明专利]制冷机充气工装及充气方法-CN202210481632.9有效
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倪超
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安徽光智科技有限公司
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2022-05-05
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2023-10-03
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F25B45/00
- 本发明属于制冷机技术领域，公开了一种制冷机充气工装，包括充气缸体、充气轴和调节机构；充气轴的两端贯穿充气缸体、并分别从充气缸体的顶部开口、底部开口伸出，充气缸体的底部开口与制冷机的充气接口连接，充气缸体的充气管与高压气瓶连接，充气轴底部结构与充气接口内堵钉相适配；调节机构包括旋转把手、旋转固定块、轴承、第一防转开关和第二防转开关，第一防转开关控制旋转把手和充气轴同时或不同时转动；第二防转开关控制旋转固定块和充气缸体同时或不同时转动。本发明的充气工装只设置一个调节机构，结构简单、质量轻，使用过程中操作便捷、高效。
- 制冷机充气工装方法
- [实用新型]一种面型精度检测工装-CN202320845648.3有效
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赖永艳;张延蕊;欧琳芳;邓卫国;金明;苏辈;卞子恒;尹士平
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安徽光智科技有限公司
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2023-04-11
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2023-10-03
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G01B21/20
- 本实用新型公开了一种面型精度检测工装，包括：工装台，用于水平放置于检测台上，工装台的上端设置有用于与楔形红外抛光镜片的楔形面相贴合的楔形定位面，以使背离楔形红外抛光镜片的楔形面的检测面与检测台平面相互平行；斜面避让孔，开设于工装台上，斜面避让孔贯穿于楔形定位面，且斜面避让孔的直径小于楔形定位面的直径。本实用新型提供的面型精度检测工装，工装台水平放置检测台上，然后将楔形红外抛光镜片的楔形面放置于楔形定位面上，相互贴合紧密，使得检测面与检测台相互平行，保持较好的水平状态，显著提高了检测结果的准确度。同时，斜面避让孔，避免了工装对楔形红外抛光镜片表面的摩擦损伤，增强了对楔形红外抛光镜片的保护能力。
- 一种精度检测工装
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