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- [发明专利]一种制作微元件的方法-CN200810118652.X有效
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于中尧;张瑶;杨栈茨
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博奥生物有限公司;清华大学
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2008-08-21
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2010-02-24
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B81C1/00
- 该方法有两种，其一包括如下步骤：1)在基底表面制作环化橡胶负性光刻胶层；2)在环化橡胶负性光刻胶层上制作环氧基负性光刻胶层；3)进行光刻，得到微元件。另一种包括如下步骤：i)先在基底表面沉积电镀金属层；ii)在金属层表面制作环化橡胶负性光刻胶层；iii)在环化橡胶负性光刻胶层上制作环氧基负性光刻胶层；iv)光刻，得到具有三维微结构的器件；v)在具有三维微结构的器件上镀金属；vi)去除剩余的环氧基负性光刻胶和环化橡胶负性光刻胶，得到微元件。本发明的制作微元件的方法中使用环化橡胶负性光刻胶避免出现环氧基负性光刻胶在基底表面的龟裂和剥离。
- 一种制作元件方法
- [发明专利]显示面板的制造方法和显示面板-CN201710297399.8在审
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詹裕程;李栋
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京东方科技集团股份有限公司
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2017-04-28
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2017-08-25
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H01L21/84
- 该方法包括在衬底层上形成有源层；在形成有有源层的衬底层上形成光刻胶图案，光刻胶图案包括第一光刻胶区、第二光刻胶区和光刻胶完全去除区；去除与光刻胶完全去除区对应的有源层，得到有源层图案；去除第二光刻胶区的光刻胶；对第二光刻胶区对应的有源层图案进行预设处理，使第二光刻胶区对应的有源层图案能够与源漏极形成欧姆接触。本发明通过形成具有不同厚度区域的光刻胶图案，进而使得能够在源漏极形成前对有源层的接触区域进行预设处理。解决了相关技术中漏极与有源层图案之间的接触电阻仍然较大的问题。达到了源漏极与有源层图案之间的接触电阻较小的效果。
- 显示面板制造方法
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