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[实用新型]一种玻璃真空镀膜机-CN201621023240.4有效
发明人：闵正林 -专利权人：闵正林
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种玻璃真空镀膜机，包括竖直设置的第一半筒体及第二半筒体这两个半筒体，第一半筒体和第二半筒体在竖直边缘处相铰接，第一半筒体和第二半筒体可闭合形成密封的完整筒体；上下两端分别固定在第一半筒体的中心位置的上的第一电极柱和第二电极柱；沿上下方向分布且固定在第一电极柱和第二电极柱上的多个水平设置的蒸镀单元；固定在半筒体内壁上的多个C形托板，C形托板沿竖直方向延伸，C形托板的开口朝向半筒体的中心轴；其中，每两个上下相邻的蒸镀单元的延伸方向相正交地设置由该玻璃真空镀膜机蒸镀得到的反光膜更加均匀、质量更高，同时能够节省原料。
一种玻璃真空镀膜

[发明专利]车辆用灯具-CN201910110193.9有效
发明人：山本英明;高桥祐贵 -专利权人：株式会社小糸制作所
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： F21S43/145 文献下载
摘要：的灯具后方、具有透光性的面状发光部(42)；第二光源部(60)，与上述第一光源部(40)相比，设在灯具后方；以及反射面(70)，与上述第一光源部(40)相比，设在灯具后方；在上述面状发光部(42)的背面，形成半蒸镀面(90)；上述反射面(70)与上述第一光源部(40)离开设置，使得从上述第二光源部(60)射出、在上述半蒸镀面(90)一部分反射的光向着上述半蒸镀面(90)反射。
车辆灯具

[实用新型]半幅面金属化安全薄膜-CN201120484480.5有效
发明人：周峰 -专利权人：安徽赛福电子有限公司
申请日： 2011-11-29 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： H01G4/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半幅面金属化安全薄膜，所述经蒸镀出来的金属化安全薄膜上的一半幅面为带有多个微型保险丝的金属化安全膜区域，另一半幅面为普通的金属化膜区域，且两区域间通过留边区分隔。本实用新型的积极效果在于：由于在金属化膜真空蒸镀时，在基膜的一半幅面上使用油屏蔽技术或带屏蔽技术，使多个不相连的细小图案区域镀不上金属，从而形成多个微型保险丝，而另一半幅面不进行屏蔽处理，形成整块的金属化区域，因此，薄膜蒸镀完成后进行分切就可以得到一对性能完全一致的配对金属化安全膜和普通金属化膜，用它们制成的金属化安全膜电容器性能一致性和稳定性好，电容器寿命大幅度提高。
幅面金属化安全薄膜

[实用新型]一种oled显示器蒸镀用高PPI金属掩模板-CN201720269236.4有效
发明人：王国兵 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种oled显示器蒸镀用高PPI金属掩模板，包括一母板，母板的蒸镀侧设置有用药液刻蚀出来的半刻区，母板厚度30～50um，半刻区厚度10～25um。
一种 oled 显示器蒸镀用高 ppi 金属模板

[实用新型]车辆用灯具-CN201920191024.8有效
发明人：山本英明;高桥祐贵 -专利权人：株式会社小糸制作所
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： F21S43/145 文献下载
摘要：的灯具后方、具有透光性的面状发光部(42)；第二光源部(60)，与上述第一光源部(40)相比，设在灯具后方；以及反射面(70)，与上述第一光源部(40)相比，设在灯具后方；在上述面状发光部(42)的背面，形成半蒸镀面(90)；上述反射面(70)与上述第一光源部(40)离开设置，使得从上述第二光源部(60)射出、在上述半蒸镀面(90)一部分反射的光向着上述半蒸镀面(90)反射。
灯具光源部车辆用蒸镀面面状发光部反射面外罩反射本实用新型透光性射出背面表现

[发明专利]一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法-CN202211068223.2在审
发明人：刘腾飞;铁清木;杨建兵;张阳;王杰;顾文彬 -专利权人：南京国兆光电科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法，其中，所述的有机蒸镀掩膜版包括掩膜版本体，本体上设置有不同尺寸的开口，在开口区设置半蚀刻区域，本发明通过在其中半蚀刻区域表面上设置有环绕各个开口的支撑柱装置，支撑柱通过增加支撑接触限制开口沉积过程中半蚀刻区域掩膜版受磁力变化导致的形变，改善因磁力形变引起的颗粒污染问题，改善可靠性效果。
一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法

[发明专利]蒸镀掩模板及其制作方法-CN201210010709.0有效
发明人：魏志凌;高小平;郑庆靓 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于蒸镀的掩模板包括主图形区域、辅助图形区域和半刻线，半刻线为四边凹槽，且半刻线的刻蚀深度h是掩模板厚度H的40%-60%；半刻线的线径≤2mm。本发明涉及的掩模板及其制作方法，在去除辅助图形时，不需要其他辅助工具，就能成功的将辅助图形从主图形区域剥离，且剥离质量高；剥离后的掩模板外边框边缘整齐光滑无毛刺，外边框对位时不会导致位置偏差；还不会破坏掩模框架，可提高蒸镀质量
蒸镀掩模板及其制作方法

[实用新型]蒸镀掩模板-CN201220016198.9有效
发明人：魏志凌;高小平;郑庆靓 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀掩模板，包括主图形区域、辅助图形区域和半刻线，半刻线为四边凹槽，且半刻线的刻蚀深度h是掩模板厚度H的40%-60%；半刻线的线径≤2mm。本实用新型涉及的掩模板，在去除辅助图形时，不需要其他辅助工具，就能成功的将辅助图形从主图形区域剥离，且剥离质量高；剥离后的掩模板外边框边缘整齐光滑无毛刺，外边框对位时不会导致位置偏差；还不会破坏掩模框架，可提高蒸镀质量
蒸镀掩模板

[发明专利]公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法-CN202310457661.6在审
发明人：李萌萌;李兆营;李海涛 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法包括步骤：S1，提供真空蒸镀装置：真空蒸镀装置包括壳体、公自转行星系统、支撑平台、电子束蒸发源以及衬板，壳体内部具有腔室和抽真空孔，公自转行星系统位于腔室内且包括多个行星锅各行星锅的自转轴线相对公转轴线倾斜，衬板用于对抽真空孔进行遮挡但不妨碍抽真空；S2，放置单个坩埚：将坩埚置于腔室内以位于公转轴线正下方；S3，放置待镀膜的晶圆；S4，抽真空；S5，启动公自转行星系统；S6，执行第一次蒸镀：第一次蒸镀在各晶圆的表面上沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半；S7，各晶圆姿态调整180度：S8，再次启动公自转行星系统；S9，执行第二次蒸镀：第二次蒸镀沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半。
自转行星系统电子束蒸发镀膜方法

[发明专利]发光器件及其制备方法、显示器件-CN202110620486.9在审
发明人：赖学森;严怡然;张建新;敖资通;杨帆 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：其中，发光器件的制备方法包括步骤：获取待蒸镀金属电极层的半器件；在预设温度条件下在所述半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。本申请发光器件的制备方法，在金属电极动态沉积的同时，半器件在加热环境中进行原位热处理，不但使金属电极膜层致密性好，厚度均一；而且促进了界面层粒子的扩散，从而优化了功能层界面接触，有利于载流子迁移传输，提高了载流子迁移传输效率
发光器件及其制备方法显示

[发明专利]真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备-CN201810661717.9有效
发明人：张永峰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明是关于一种真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域。主要采用的技术方案为：真空蒸镀腔室，其包括：腔体，腔体内的底部设置有蒸发源，腔体的顶部设置有用于放置基板的安放机构，安放机构能够带动基板转动，并且安放机构的转动轴心与基板的中心同轴；转动驱动机构，转动驱动机构的驱动端设置在安放机构的下方，与安放机构的转动轴心相对；调节片，调节片的长度小于等于基板对角线长度的一半，调节片水平的设置在安放机构的下方，并且调节片的一端与驱动端连接，调节片与基板之间的距离在预设范围内；其中，转动驱动机构能够驱动调节片与安放机构同轴转动本发明提供的真空蒸镀腔室能够在基板上镀制膜厚均匀的有机材料镀层。
真空蒸镀腔室设备

[实用新型]蒸镀设备-CN202122005493.6有效
发明人：赵利;孙军旗;刘芳军;孙玉群;鲁艳春 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种蒸镀设备，具有一蒸镀腔体，所述蒸镀设备包括：蒸镀源和蒸镀锅；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；其中，所述蒸镀源的数量设置至少两个，每个所述蒸镀源间隔排布，且每个所述蒸镀源到所述蒸镀腔体的中心线的距离相等；蒸镀锅，设置在所述蒸镀腔体的顶部，所述蒸镀锅在所述蒸镀腔体内绕所述中心线公转；其中，单个所述蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，所述气体分子蒸镀材料在所述蒸镀腔体中运动形成单个蒸镀区域；所有所述单个蒸镀区域构成总蒸镀区域，所述蒸镀锅对应设置在所述总蒸镀区域内。本实用新型实施例以此提高了蒸镀的效率。
设备

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN202210849790.5在审
发明人：李晓虎;王路;王伟杰;焦志强;袁广才 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，属于蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
装置方法

[发明专利]一种开口掩膜板-CN201811197777.6在审
发明人：徐鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种开口掩膜板，涉及显示技术，该开口掩膜板包括多个单元，每个单元均包括半刻蚀部分和实材保留部分，在开口掩膜板的至少一个单元中，所述实材保留部分位于该单元的开口区域四周，所述半刻蚀部分位于该单元所对应的基板上的凸出膜层处由于实材保留部分位于开口区域四周，使得在蒸镀喷淋时，蒸镀材料进入开口掩膜板覆盖区域的面积更小，从而减小开口掩膜板的外Shadow效应。
掩膜板开口实材开口区域半刻蚀保留凸出覆盖区域蒸镀材料基板减小膜层喷淋掩膜蒸镀申请

[实用新型]一种蒸镀机-CN201821175507.0有效
发明人：张珅骏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。
蒸镀材料蒸镀源蒸镀蒸镀基板蒸镀机轨道对基板对位对准玻璃基板破片本实用新型对位机构轨道运行蒸镀腔室源运行蒸镀腔室内