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[实用新型]一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置-CN202020190927.7有效
发明人：郑沂;孙玉俊 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。上述技术方案具有如下优点，具有磁性材料的防着板对待蒸镀物具有较好的吸附力，使得没有沉积在正确位置的待蒸镀物可以粘附到防着板上，避免待蒸镀物镀到蒸镀机的内壁上，减少蒸镀机开腔保养的频率，提高待蒸镀物的回收率，便于待蒸镀物的重复利用。
一种蒸镀机蒸镀材料回收装置

[发明专利]蒸镀设备以及蒸镀方法-CN201811119290.6有效
发明人：杨锋 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀设备以及蒸镀方法，属于显示器制备技术领域，其可至少部分解决现有蒸镀源与基板之间的距离比较小时蒸镀设备沉积的薄膜不均匀的问题。本发明的一种蒸镀设备，用于在基板上沉积薄膜，蒸镀设备包括：基板架，用于安装基板；蒸镀台，用于安装蒸镀源，蒸镀源用于将待蒸镀物质加热而形成蒸镀蒸汽；蒸镀腔室，基板架和蒸镀台以相对设置的方式安装于蒸镀腔室内，蒸镀腔室包括调节结构，调节结构用于在密封状态下调节蒸镀腔室内的空间的体积。
设备以及方法

[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板-CN201610657891.7有效
发明人：沈武林;苏彦新;王卓;樊浩原;李兴华 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2016-08-11 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板，涉及显示技术领域，可以提高蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，降低生产成本，且提高了蒸镀材料的蒸镀速率。该蒸镀装置，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。用于对蒸镀材料进行蒸镀。
一种装置方法基板

[发明专利]一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统-CN201610509680.9有效
发明人：付文悦;王小虎;陈立强 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构变换不同位置，遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
一种遮挡装置及其方法系统

[发明专利]一种蒸镀罩和蒸镀设备-CN201610228686.9有效
发明人：李晓虎;孙中元;王路;朱海彬 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。本发明实施例的蒸镀罩能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。
一种蒸镀罩设备

[发明专利]薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法-CN201310291168.8无效
发明人：朱儇佑;许明洙;李勇锡;赵喆来;金善浩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-07-11 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法。所公开薄膜蒸镀装置包括：蒸镀源，生成将蒸镀到基板的蒸镀蒸汽；喷射部，向安装有基板的所述蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽；管制部，使预定的压力作用于所述喷射部，以调节为向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽或停止向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽根据这种构成，能够在蒸镀室内正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射，因此采用本发明时，可以期待生产效率的提高和产品品质的稳定化。
薄膜装置利用方法

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201620208282.9有效
发明人：崔富毅;陈旭;张金中 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决因基板发生坍塌而导致蒸镀在基板上的图案的位置精度降低的问题。所述蒸镀装置包括真空蒸镀室，真空蒸镀室内设置有蒸镀源单元、基板载具和冷却板，其中，基板载具位于蒸镀源单元的上方，待蒸镀基板安装在基板载具，冷却板位于待蒸镀基板的上方；冷却板中设置有吸附安置孔；吸附安置孔内设置有对待蒸镀基板进行吸附的吸附件，吸附件可相对待蒸镀基板上下移动。所述蒸镀装置通过吸附件吸附待蒸镀基板，使待蒸镀基板与冷却板接触，并使待蒸镀基板保持平整，减小待蒸镀基板的坍塌程度，改善蒸镀在待蒸镀基板上的图案的位置精度。
一种装置

[发明专利]蒸镀机以及蒸镀方法-CN201410050558.0无效
发明人：严达祥;李政军;黄俊允 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-02-13 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀机以及蒸镀方法，能够显著提高对有机材料的利用率，降低成本。该蒸镀机，包括：第一蒸镀腔体和第二蒸镀腔体，所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体彼此连通；一个线性蒸镀源，所述线性蒸镀源能够在所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间移动。
蒸镀机以及方法

[发明专利]蒸镀方法及装置-CN201711488114.5在审
发明人：邓联谱 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀方法及装置，其中该蒸镀方法包括以下步骤：在蒸镀腔内设置蒸镀源，蒸镀源上设置有蒸镀材料，将待蒸镀的基板放入蒸镀腔，基板与蒸镀源间隔，在蒸镀材料挥发路径垂直的方向上加装电场或磁场。本发明的蒸镀方法及装置可使形成的蒸镀膜层的纯度和均匀性更高，增强通过该蒸镀膜层制作的器件的寿命和效率。 1
蒸镀蒸镀源蒸镀材料蒸镀膜层蒸镀腔基板电场垂直的均匀性挥发放入加装磁场制作

[发明专利]显示屏的高耐磨性防指纹膜层及制作上述膜层的方法-CN201310214086.3有效
发明人：林海平 -专利权人：浙江星星瑞金科技股份有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B32B9/04 文献下载
摘要：本显示屏的高耐磨性防指纹膜层，显示屏包括基片包括真空蒸镀附在基片表面的改性二氧化硅层和真空蒸镀附在改性二氧化硅层表面的AF层。本制作方法包括前处理、准备真空蒸镀、执行真空蒸镀和出产品步骤。采用本制作方法生产的显示屏在保证相同性能或提高性能的前提下仍然能降低一半以上生产成本，由此有效地保证产品的竞争力。
显示屏耐磨性指纹制作上述方法

[实用新型]蒸镀单元及蒸镀装置-CN201920091609.2有效
发明人：李灏;罗志忠 -专利权人：云谷(固安)科技有限公司
申请日： 2019-01-21 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀单元及蒸镀装置。蒸镀单元包括：线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；角度限制件位于线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。应用本实用新型技术方案的蒸镀单元，由于角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转，因此能够增加蒸镀材料在角度限制件上的附着面积，延长了对线性蒸镀源进行清理的时间，从而提高蒸镀效率。
蒸镀角度限制件蒸镀源本实用新型线性方向蒸镀材料蒸镀基板蒸镀装置附着射出应用

[发明专利]蒸镀设备与利用此设备的蒸镀方法-CN201611207948.X有效
发明人：黄智勇;林士钦;王庆钧 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀设备与利用此设备的一种蒸镀方法，包括设置有一蒸镀腔室，一蒸镀源，一承载装置以及一流体扰动装置。蒸镀腔室具有一蒸镀空间，蒸镀源设置于蒸镀空间中的下方，蒸镀源适于容纳蒸镀源材料。承载装置以一参考轴为中心、可旋转地设置于蒸镀空间中的上方，且与蒸镀源相对；承载装置适于承载待镀物并使待镀物位于蒸镀源与承载装置之间。流体扰动装置适于在蒸镀空间中，朝向承载装置注入一经扰动后的流体。
设备利用方法

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN201910153513.9在审
发明人：李加伟 -专利权人：云谷(固安)科技有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：所述掩膜板包括第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，所述第一蒸镀区域及所述第二蒸镀区域内分别设有多个蒸镀开口，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的密度大于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的密度，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积小于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积
蒸镀开口掩膜板掩膜组件申请

[发明专利]蒸镀监控方法及装置、存储介质、电子设备-CN202111006597.7在审
发明人：王西;郑广禄 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本公开属于计算机技术领域，涉及一种蒸镀监控方法及装置、存储介质、电子设备。该方法包括：按照预设时间间隔获取第一蒸镀频率和第二蒸镀频率，并对第一蒸镀频率和第二蒸镀频率进行计算得到蒸镀频率差值，其中，第一蒸镀频率和第二蒸镀频率为蒸镀源材料受热蒸镀至石英水晶片的频率；根据蒸镀频率差值，确定第一蒸镀频率和第二蒸镀频率相等的时间，若时间大于时间阈值，生成用于表示蒸镀异常的告警信号。在本公开中，确定第一蒸镀频率和第二蒸镀频率相等的时间，并在时间大于时间阈值时，生成表示蒸镀异常的告警信号，在蒸镀过程中，建立了对系统信号异常时蒸镀频率监控的机制，进而可以及时的发现蒸镀过程中的问题，提高了产品的品质以及合格率
监控方法装置存储介质电子设备

[发明专利]一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备-CN201510658127.7在审
发明人：李晓虎;孙中元 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-10-13 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备，涉及显示设备制造领域，能够改善蒸镀的薄膜层厚度不均一的问题。该蒸镀掩膜版包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，遮挡区设置有遮挡部，蒸镀掩膜版还包括至少覆盖蒸镀区的挡板；挡板包括多个蒸镀子区，每个蒸镀子区中设置有多个开孔；多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小；距离第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所以开孔的面积总和越小。
一种蒸镀掩膜版以及设备