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[发明专利]一种蒸镀设备-CN202110152215.5有效
发明人：何瑞亭;李晓康 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀设备，由于该蒸镀设备是在一蒸镀源外侧周缘围设第一蒸镀挡板，第一蒸镀挡板与蒸镀源之间的间隙很小，因此能够减小蒸镀设备中第一蒸镀挡板的面积和重量，也极大地减少了第一蒸镀挡板的部件和安装空间，这样设计能够在蒸镀设备运行时，避免部件间的碰撞或干涉，提高蒸镀设备作业的流畅性，也可以避免在运载待蒸镀基板时，大件蒸镀挡板影响机器运作，使待蒸镀基板上产生蒸镀印记不良。该蒸镀设备还对应蒸镀源设置了遮挡部，这种小巧轻便的挡板设计能够改善蒸镀设备挡板的固定点易于损坏的问题，进而避免蒸镀印记不良。
一种设备

[发明专利]蒸镀图案的形成方法、压板一体型压入部件、蒸镀装置及有机半导体元件的制造方法-CN201680021088.2有效
发明人：武田利彦;广部吉纪;宫寺仁子;小幡胜也;山田尚人 -专利权人：大日本印刷株式会社;佳能特机株式会社
申请日： 2016-04-15 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀图案的形成方法，其使用设置有与蒸镀制作的图案对应的多个开口部的蒸镀掩模，在蒸镀对象物形成蒸镀图案，该形成方法包括：密合工序，其在蒸镀对象物的一面侧配置蒸镀掩模，在蒸镀对象物的另一面侧将压入部件、及磁性板按该顺序重合配置，并利用磁性板的磁性使蒸镀对象物和蒸镀掩模密合；以及，蒸镀图案形成工序，其在密合工序后，使从蒸镀源放出的蒸镀材料通过开口部附着于蒸镀对象物上，在蒸镀对象物形成蒸镀图案。
图案形成方法压板体型部件装置有机半导体元件制造

[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法-CN201910599323.X有效
发明人：饶勇;岳小非 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括：传送机构、第一蒸镀腔室和第二蒸镀腔室；其中，所述传送机构，被配置为将待蒸镀基板在所述第一蒸镀腔室和所述第二蒸镀腔室间传送；所述第一蒸镀腔室，被配置为在待蒸镀基板上形成第一蒸镀膜层；以及所述第二蒸镀腔室，被配置为在所述第一蒸镀膜层上形成第二蒸镀膜层。所述蒸镀设备及蒸镀方法能够降低蒸镀腔室温度，降低白点不良的概率。
一种设备方法

[发明专利]一种蒸镀装置、蒸镀调整方法以及计算机可读介质-CN201811494611.0在审
发明人：杨春梅;金政泽 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置、蒸镀调整方法以及计算机可读介质，以改善现有技术的蒸镀过程存在由于膜层检测器件长时间使用导致检测精度下降，进而导致蒸镀的膜厚异常的问题。所述蒸镀装置，包括：至少一个蒸镀源、第一速率检测部件、第二速率检测部件、以及控制部件，其中，所述控制部件，用于控制所述第一速率检测部件实时检测对应的所述蒸镀源的所述第一蒸镀速率，并确定对应的实际蒸镀功率，针对确定出的所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率不匹配的蒸镀源，控制所述第二速率检测部件检测该蒸镀源的第二蒸镀速率，在确定该蒸镀源的所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值超出预设范围时，根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率
蒸镀蒸镀源速率检测蒸镀装置计算机可读介质控制部件部件检测膜层检测实时检测速率调整膜厚预设匹配检测

[发明专利]显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法-CN202110296943.3在审
发明人：王虎;许瑾;赵伟;曹方义;夏曾强;王宏宇;周小康;蔡明瀚;魏现鹤;艾经伟;张小庆 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法。本申请实施例的蒸镀装置包括蒸镀基台和蒸镀单元。蒸镀基台用于固定待蒸镀器件。蒸镀单元与蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，蒸镀单元包括用于在待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源，第一蒸镀源和第二蒸镀源沿第一方向设置；在同一时刻，第一蒸镀源在待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿第一方向设置的第一部分和第二部分，第二蒸镀源在待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与第二部分重叠；第二蒸镀区域和第二部分用于在待蒸镀器件上形成第一膜层，第一部分用于在第一膜层上形成第二膜层。
显示器件装置方法

[发明专利]蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀速度计算方法-CN201410487690.8有效
发明人：崔熙德 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2014-09-22 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀速度计算方法。根据本发明的蒸镀装置包括：真空腔室，在内部气化蒸镀物以将该蒸镀物蒸镀到基板上；泵浦光源，向被气化的蒸镀物照射第一偏光，以使被气化的蒸镀物极化，且使被极化的蒸镀物沿预定方向形成电场；以及蒸镀速度计算单元，测量电场的强度以算出蒸镀物的蒸镀速度。
装置利用速度计算方法

[实用新型]蒸镀系统和蒸镀产线-CN201922353856.8有效
发明人：武启飞;廖良生;黄稳;徐飞;赵平;谢松涛 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供的蒸镀系统和蒸镀产线，包括金属蒸镀机构、有机蒸镀机构以及多个传送机构，通过将有机蒸镀机构所包括的多个有机蒸镀腔体依次首尾连通，将各传送机构分别设置于各有机蒸镀腔体中，传送正在进行有机蒸镀的基片，将金属蒸镀机构与有机蒸镀机构连通，以对有机蒸镀后的基片进行金属蒸镀，如此，简化了蒸镀系统的结构，降低了系统的造价成本。
系统蒸镀产线

[发明专利]一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪-CN201911405229.2在审
发明人：冯亚青;朱文俊;张敬娣;梁舰;敬文华;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域，公开了一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪。基片蒸镀承载盘，用于真空蒸镀仪中，包括底盘和挡板组件，底盘上设有多个用于放置基片的承载部；挡板组件设置于底盘下方，挡板组件能相对底盘运动，且挡板组件用于切换是否蒸镀与切换所需蒸镀图形。本发明提供的基片蒸镀承载盘中的挡板组件可以遮挡蒸镀图形使对应的基片不蒸镀图形，还可以针对每个基片的蒸镀要求切换蒸镀图形，使蒸镀仪能同时蒸镀多个及多种类的基片，增加了蒸镀基片的种类和个数，提高了基片蒸镀承载盘的空间利用率和蒸镀仪的蒸镀效率
一种基片蒸镀承载真空蒸镀仪

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板-CN202310365483.4在审
发明人：董晴晴;范刘静 -专利权人：上海天马微电子有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。
装置方法有机发光显示面板

[发明专利]蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法-CN201910069733.3有效
发明人：饶勇;李有亮;刘金彪;谭瑞;岳小非;罗楠;胡斌;仪修超;沈萌;加新星;肖鹏;李靖;晋亚杰 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法，属于显示技术领域。蒸镀结构包括：蒸镀坩埚、喷嘴和浮板，蒸镀坩埚用于盛放蒸镀源材料，蒸镀源材料的状态在受热后由液态变为气态；喷嘴设置在蒸镀坩埚的出口处，喷嘴用于向待蒸镀基板表面喷射呈气态的蒸镀源材料；浮板被配置为：漂浮在呈液态的蒸镀源材料的表面，且浮板与蒸镀坩埚的内壁之间具有间隙，浮板具有多个镂空结构，多个镂空结构被配置为：供呈气态的蒸镀源材料通过。本申请提高了在待蒸镀基板上形成的膜层的均一性。本申请用于蒸镀结构和蒸镀系统。
结构系统使用方法

[发明专利]一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法-CN201611061522.8有效
发明人：闵超;罗志忠;李维维;敖伟 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法，所述蒸镀用材料包括：待蒸镀材料，及包裹在所述待蒸镀材料表面的保护材料，其中：所述保护材料的功函数大于所述待蒸镀材料的功函数，当达到相同蒸镀速率时，所述保护材料所需要的蒸镀温度低于所述待蒸镀材料所需要的蒸镀温度由于这种蒸镀用材料在功函数较低的待蒸镀材料表面包裹了功函数较高的保护材料，使得待蒸镀材料在添加到蒸镀腔室进行蒸镀的过程中不会因为与空气接触而部分被氧化腐蚀，进而有效提高使用这种待蒸镀材料蒸镀得到的OLED
蒸镀蒸镀材料蒸镀用材料保护材料功函数蒸镀材料表面制备电子注入性能电子注入层空气接触氧化腐蚀蒸镀腔室

[实用新型]一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪-CN201922445523.8有效
发明人：冯亚青;朱文俊;张敬娣;梁舰;敬文华;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域，公开了一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪。基片蒸镀承载盘，用于真空蒸镀仪中，包括底盘和挡板组件，底盘上设有多个用于放置基片的承载部；挡板组件设置于底盘下方，挡板组件能相对底盘运动，且挡板组件用于切换是否蒸镀与切换所需蒸镀图形。本实用新型提供的基片蒸镀承载盘中的挡板组件可以遮挡蒸镀图形使对应的基片不蒸镀图形，还可以针对每个基片的蒸镀要求切换蒸镀图形，使蒸镀仪能同时蒸镀多个及多种类的基片，增加了蒸镀基片的种类和个数，提高了基片蒸镀承载盘的空间利用率和蒸镀仪的蒸镀效率
一种基片蒸镀承载真空蒸镀仪

[实用新型]一种蒸镀装置以及蒸镀系统-CN202320181945.2有效
发明人：楚志伟;宋裕斌;谢飞;刘远洋;田昊;朱彧;尚钰东;吴渊;高领伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开一种蒸镀装置以及蒸镀系统。其中一实施例的蒸镀装置包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括放置待蒸镀基板的第一蒸镀腔室和位于所述第一蒸镀腔室外侧的第二蒸镀腔室，所述蒸镀装置包括：设置在所述第二蒸镀腔室的蒸镀源，包括：蒸镀坩埚和位于所述蒸镀坩埚上的多个喷嘴，每一所述喷嘴出射蒸镀材料形成一个材料蒸镀区；设置在所述喷嘴远离蒸镀坩埚一侧的承载板，所述承载板与所述喷嘴具有预设距离；设置在所述承载板靠近所述蒸镀源一侧表面的探测单元，所述探测单元用于感测所述材料蒸镀区的材料蒸镀状态，以生成对应于所述材料蒸镀区的喷嘴工作信息，以及遮挡件，用于响应于输入的控制指令遮挡或者不遮挡所述探测单元。
一种装置以及系统

[发明专利]蒸镀方法及系统-CN201910005585.9有效
发明人：饶勇;刘金彪;李有亮;徐天宇;加新星;岳小非;晋亚杰;罗楠;仪修超;胡斌;陈俊蛟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-01-03 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀方法及系统，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的连续蒸镀时间短的问题。本发明蒸镀方法包括：在一个蒸镀制程内，进行第一蒸镀和第二蒸镀；其中，所述第一蒸镀包括，将所述第三蒸镀源关闭，采用所述第一蒸镀源以第一速率向基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；所述第二蒸镀包括，将所述第一蒸镀源关闭，采用所述第三蒸镀源以第一速率向所述基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；且所述第一速率大于所述第二速率。
方法系统

[发明专利]一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置-CN202010106315.X在审
发明人：郑沂;孙玉俊 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。上述技术方案具有如下优点，具有磁性材料的防着板对待蒸镀物具有较好的吸附力，使得没有沉积在正确位置的待蒸镀物可以粘附到防着板上，避免待蒸镀物镀到蒸镀机的内壁上，减少蒸镀机开腔保养的频率，提高待蒸镀物的回收率，便于待蒸镀物的重复利用。
一种蒸镀机蒸镀材料回收装置