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[实用新型]一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构-CN202123440023.9有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以对薄膜进行蒸镀，还可以对蒸镀后的薄膜进行水电镀。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置采用立体设置，能够减少占地空间，提高空间的利用率。
一种薄膜生产线真空机构

[发明专利]蒸镀机及其使用方法、显示面板-CN202311048821.8在审
发明人：郑盛夫 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀机及其使用方法、显示面板，解决了现有技术中蒸镀阴极膜层需要两个蒸镀腔室所导致的蒸镀机成本高、体积大，生产周期长，蒸镀材料利用率低中的至少一个问题。其中，蒸镀机包括蒸镀腔室；载台，位于蒸镀腔室内，载台包括吸附表面，吸附表面用于吸附基材；以及多个蒸镀源，每个蒸镀源包括第一腔体，第一腔体的表面设置有喷嘴，喷嘴连通第一腔体和蒸镀腔室，以将第一腔体内的蒸镀材料蒸镀到基材上；其中，多个蒸镀源各自的喷嘴相对于吸附表面的倾斜角度独立可调。
蒸镀机及其使用方法显示面板

[发明专利]材料成膜装置、制备方法及其制备的有机电致发光器件-CN200810124031.2有效
发明人：邱勇;张嵩;洪瑞;高裕弟 -专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司
申请日： 2008-05-29 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料成膜装置，其包括蒸镀腔室，蒸镀腔室内设有蒸镀源及蒸镀基体放置机构；蒸镀源设有至少两个，蒸镀源至少一个为电阻加热蒸镀源，至少一个为电子束加热蒸镀源。本发明将蒸镀腔室内单一形式的蒸镀源，改变为多种蒸镀形式共同实现蒸镀，克服了现有技术单一蒸镀源的缺陷，特别在有机电致发光器件的膜层制备中，有效改善后续膜层制备中对有机层的破坏，大幅提高器件良率；同时，速率比单纯采用电阻加热蒸镀得到提高
材料装置制备方法及其有机电致发光器件

[实用新型]一种掩模板-CN201320676061.0有效
发明人：魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽，在所述蒸镀孔的中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈碗状。本实用新型所提供的掩模板，蒸镀面的蒸镀孔的孔壁与掩模板本体的板面呈30°～60°夹角，蒸镀时可以减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，蒸镀孔在ITO面设有凹槽可以防止掩模板蒸镀孔的边缘变形划伤沉积基板。
一种模板

[实用新型]一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构-CN202021785843.4有效
发明人：王勇波;秦晓强 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构，其中，所述蒸镀用掩膜板包括蒸镀区和包围所述蒸镀区的外围区，所述蒸镀用掩膜板的外围区中具有贯穿蒸镀用掩膜板部分厚度的引线遮盖槽。所述蒸镀用掩膜板能够避免在蒸镀的过程中对基板引线区造成短路。
一种蒸镀用掩膜板蒸镀掩膜结构

[发明专利]一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法-CN201811548810.5在审
发明人：刘全宝;李浩永;郑基泽;鲁俊瑞;曹景博;金薰 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法，该装置包括：蒸发源模块用于加热待蒸镀材料至蒸镀状态；蒸发源遮挡板模块，所述遮挡板一端带传输通道a，用于在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，与所述蒸发源模块连通，在需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，与所述蒸发源模块错开；测速模块包括测速子模块及与测速子模块连接的传输通道b，在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时，所述传输通道b与所述传输通道a相对形成用于将蒸镀材料传输至所述测速子模块的通道，测速子模块用于蒸镀速率测速。本发明无论蒸镀材料是否需要蒸镀到基板上，都可使蒸镀速率保持恒定，提高了器件基板蒸镀效率。
一种监测速率装置方法

[发明专利]蒸镀装置及方法-CN201610830421.6有效
发明人：孙亮 -专利权人：湖畔光电科技（江苏）有限公司
申请日： 2016-09-18 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括：一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜本发明还公开了与该蒸镀装置相对应的蒸镀方法。本发明具有材料使用率高、成膜均匀性好且生产成本低的有益效果。
装置方法

[实用新型]一种蒸镀源-CN201320367636.0有效
发明人：唐元刚 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀源，包括蒸镀舟和缠绕在蒸镀舟外部的加热电阻丝，该蒸镀源还包括冷却管、活动底板和升降机构，所述冷却管缠绕在蒸镀舟的外部且不与加热电阻丝重合，所述活动底板连接升降机构并在升降机构的作用下沿蒸镀舟内壁上下运动与现有技术相比，本实用新型所述蒸镀源通过活动底板位置的变化改变蒸镀材料的位置实现蒸镀材料的快速降温：蒸镀时，蒸镀材料位于电阻丝加热区受热蒸发进行蒸镀；蒸镀停止时，蒸镀材料能够迅速离开电阻丝加热区，并进入所设置的冷却管冷却区，通过冷却循环液使材料迅速降温，避免被蒸镀材料变质和浪费。
一种蒸镀源

[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置-CN201721763249.3有效
发明人：刘肖楠;宋锐男;于森;宋裕斌;谢飞;李坡;吕冲;曾义红;唐富强;靳福江;安成国 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置，用于蒸镀技术领域，解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板，所述蒸镀载板包括：底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块，一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠，且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3，小于所述子蒸镀基板的面积；其中，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。用于蒸镀工序中。
蒸镀基板蒸镀载板底板支撑显示区域蒸镀装置本实用新型分离设置白点正投影点亮弧面凸起承载

[实用新型]蒸发源及蒸镀设备-CN201721643442.3有效
发明人：赵子仪;张金中;黄俊杰;裴凤巍 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种蒸发源及蒸镀设备，该蒸发源包括：坩埚，所述坩埚具有用于盛放蒸镀材料的容置腔，且所述容置腔包括多个蒸镀区；加热单元，用于加热所述坩埚内的蒸镀材料，设置于所述坩埚上；检测部件，用于检测各所述蒸镀区的蒸镀状态，设置在所述坩埚上，所述蒸镀状态包括蒸镀速率；用于对各蒸镀区的蒸镀温度进行调节的调温部件，设置在所述坩埚上；以及，用于根据所述检测部件所检测到的各所述蒸镀区的蒸镀状态，控制所述调温部件对各所述蒸镀区的蒸镀温度进行调节的控制单元本实用新型能够实时监控坩埚内蒸镀状态，实现膜厚均一性可控的目的。
蒸镀坩埚调温部件蒸发源检测本实用新型蒸镀材料蒸镀设备容置腔膜厚均一性加热单元实时监控可控的加热盛放

[实用新型]蒸镀设备-CN201821722248.9有效
发明人：李嘉宸 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内本实用新型可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。
填料腔有机材料真空阀门蒸镀腔体蒸镀设备送料装置蒸镀装置体内蒸镀本实用新型真空状态蒸镀腔传感器玻璃基板生产效率真空环境自动填充送料连通隔离衔接

[发明专利]掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法-CN201810458187.8有效
发明人：周丽芳;刘明星;王徐亮 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法，该掩膜板包括掩膜基板和遮挡层，掩膜基板上设置有蒸镀区，蒸镀区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，无效蒸镀区至少与显示面板的开槽区对应，且有效蒸镀区和无效蒸镀区内均分布有多个蒸镀开口，遮挡层设置于掩膜基板表面并遮挡无效蒸镀区内的蒸镀开口。上述掩膜板用于蒸镀显示面板，其中对于掩膜基板而言，不仅使有效蒸镀区与异形屏的显示区对应，还通过无效蒸镀区补齐了有效蒸镀外的缺口，整个蒸镀区的边缘受力均匀，可以防止掩膜基板在张网时褶皱，进而防止最终成型的显示面板混色
掩膜板组件制作方法

[发明专利]一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN202010429257.4有效
发明人：梁丰;牛晶华;戴铭志;李巍 -专利权人：武汉天马微电子有限公司;武汉天马微电子有限公司上海分公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法，涉及蒸镀领域，包括：移动载台，移动载台上设置有M个蒸发源和M个角度限制单元，角度限制单元包括第一开口，蒸镀材料的蒸镀范围由第一开口限定；信号发射单元向蒸镀范围内发射第一红外信号，第一红外信号经过蒸镀材料后形成第二红外信号；信号探测单元接收第二红外信号，通过第二红外信号分析蒸镀范围内所包含的蒸镀材料；当蒸镀范围内包含N种蒸镀材料时，第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节蒸镀范围本申请通过第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节各种蒸镀材料的蒸镀范围，使得多种蒸镀材料在蒸镀面上完全重合，避免出现超薄层，从而提高器件性能和产品良率。
一种真空系统方法

[实用新型]一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备-CN202321386224.1有效
发明人：尹伟杰;黄惠钰;赖俊志;李立嘉;刘明伟;李艳华 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备，热蒸镀预调材料回收装置包括蒸镀挡板与蒸镀装置；其中蒸镀挡板包括加热盖板和两片引流板，两片引流板位于加热盖板下方，分别斜向下向内设置；蒸镀装置包括蒸发舟、底座和加热器，蒸发舟位于底座(42)上方，加热器位于底座下方，使加热器通过底座加热蒸发舟中的蒸镀材料；蒸镀挡板覆盖在蒸镀装置的上方，两引流板的下端均位于蒸发舟内部的上方，使液态的蒸镀材料通过引流板回到蒸发舟中从而在预调蒸镀材料速率的过程当中，蒸发的蒸镀材料被蒸镀挡板收集，沉积在加热盖板上，通过加热使得凝固的蒸镀材料融化，经过引流板回流至蒸发舟内，节约蒸镀材料。
一种热蒸镀预调材料回收装置设备

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法-CN201410247239.9无效
发明人：张耀宇 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-06-05 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法，蒸镀装置包括：至少一蒸镀源；以及，一动力装置，接设于所述蒸镀源，所述动力装置驱动所述蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式，改为摇摆方式来达成成膜目的。利用蒸镀源的摇摆，减少其中一个或多个喷口出气率不良时的影响，提高蒸镀气体均匀性，从而提高成膜均匀性。
装置设备方法

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