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[发明专利]一种双向弯曲柔性传感器、手语识别系统及方法-CN202010608605.4有效
发明人：郭霄亮;杨鑫;俞度立 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种双向弯曲柔性传感器、手语识别系统及方法，该双向弯曲柔性传感器包括柔性基底、阵列式微柱和导电层，其中：柔性基底构成双向弯曲柔性传感器的底层；阵列式微柱设置在柔性基底上，为多个微柱按照预设高度阵列排列而成的，相邻微柱之间相隔预设间距，微柱为柔性复合导电材料；导电层为纳米片导电材料，填充在每个微柱之间，且导电层的厚度小于阵列式微柱的高度，导电层的两端分别设置有电极引线。本发明实施例在双向弯曲柔性传感器中设置阵列式微柱，使得传感器的内向弯曲和外向弯曲保持较高灵敏度，尤其提高了外向灵敏度，能缓冲来自外界施加的压力，从而起到保护导电层的作用，降低测量误差，更加精确计算弯曲的角度
一种双向弯曲柔性传感器手语识别系统方法

[发明专利]一种滤波器及其制备方法、光谱探测系统-CN201911083060.3在审
发明人：刘言军 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：所述分布式布拉格反射腔包括顶层分布式布拉格反射器和底层分布式布拉格反射器，所述超表面结构位于所述顶层分布式布拉格反射器和所示底层分布式布拉格反射器之间；所述超表面结构包括多个滤波区域，每个所述滤波区域包括周期性排布的纳米柱阵列；其中，所述多个滤波区域至少存在两个滤波区域的纳米柱阵列周期不同。采用上述技术方案，采用分布式布拉格反射腔结合超表面结构，同时设置超表面结构至少存在两个滤波区域的纳米柱阵列周期不同，保证可以得到窄带的透射光，保证滤波器滤波效果良好且结构简单。
表面结构滤波区域分布式布拉格反射器分布式布拉格反射滤波器纳米柱阵列顶层光谱探测系统周期性排布滤波效果透射光腔内窄带制备保证

[发明专利]可剥离氮化物结构及其剥离方法-CN202110172322.4有效
发明人：张康;何晨光;贺龙飞;吴华龙;赵维;刘云洲;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种可剥离氮化物结构，包括待剥离的支撑层以及在所述支撑层上依次形成的腐蚀牺牲层、腐蚀阻挡层和半导体器件本体，其中，所述支撑层为形成有微纳米柱阵列的衬底，或者所述支撑层包括衬底以及生长于所述衬底之上的氮化物模板层，所述氮化物模板层包含第一氮化物的微纳米柱阵列；所述腐蚀牺牲层为生长于微纳米柱阵列之上的连续的层结构，且包含掺杂的第二氮化物，所述腐蚀阻挡层包含掺杂的第三氮化物或非掺杂的第四氮化物，且掺杂的第三氮化物中的载流子浓度小于掺杂的第二氮化物中的载流子浓度
剥离氮化物结构及其方法

[发明专利]一种基于二氧化钒超表面的动态可调艾里光束发生器-CN202111534694.3有效
发明人：徐弼军;薛晓菊;吴白瑞;汪小刚;林露;吴俊 -专利权人：浙江科技学院
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二氧化钒超表面的动态可调艾里光束发生器，由多个周期单元排列组成阵列相位板；所述周期单元包括衬底层，衬底层上设有二氧化钒层，二氧化钒层上设有纳米柱。当周期单元在阵列相位板所处位置的相位为0时，周期单元上纳米柱的旋转角度相对于x轴为0度；当周期单元在阵列相位板所处位置的相位为π时，周期单元上纳米柱的旋转角度相对于x轴为90度。
一种基于氧化表面动态可调光束发生器

[发明专利]紫外探测器-CN201510468213.1在审
发明人：宋金会 -专利权人：宋金会
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外探测器，包括阵列的三维半导体纳米柱、平板状的透明薄膜电极和平板状的导电衬底，所述半导体纳米柱的顶部端面与所述透明薄膜电极的一侧表面连接，底部端面与所述导电衬底的一侧表面连接，且所述透明薄膜电极与导电衬底互相平行该紫外探测器具有与当前紫外探测器类似的大小和整体薄膜形状，由大量的竖直纳米柱阵列替代了整体的薄膜结构，能够在保持接收紫外线二维面积不变的情况下，通过增大半导体材料的表面积，从而增加紫外探测器灵敏度，成功突破当前紫外探测器的灵敏度极限，实现超高精度纳米紫外探测器。
紫外探测器

[发明专利]银负载型氧化铜纳米阵列光催化抗菌材料及其制备与应用-CN202310684631.9在审
发明人：王金龙;刘国利;郭彦炳 -专利权人：华中师范大学
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B01J23/89 文献下载
摘要：本发明公开一种银负载型氧化铜纳米阵列光催化抗菌材料及其制备与应用，包括基底铜网，以及原位生长于铜网的Ag/CuO‑Vo纳米阵列；Ag/CuO‑Vo纳米阵列包括CuO‑Vo纳米阵列以及负载于CuO‑Vo纳米阵列表面的纳米银，CuO‑Vo纳米阵列为具有氧空位Vo的CuO纳米阵列，灭菌效率高，材料制备方法简便。
负载氧化铜纳米阵列光催化抗菌材料及其制备应用

[发明专利]一种基于聚合物微球制备纳米级图形化蓝宝石衬底的方法-CN201710024540.7有效
发明人：翁国恩;陈少强;胡小波;涂亮亮;魏明德 -专利权人：华东师范大学;徐州同鑫光电科技股份有限公司
申请日： 2017-01-11 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于聚合物微球制备纳米级图形化蓝宝石衬底的方法，首先在蓝宝石衬底上生长一层二氧化硅层；然后在二氧化硅层上自组装形成单层紧密排列的聚合物微球阵列；接着对聚合物微球进行干法刻蚀以减小微球的直径，形成非紧密规则排列的聚合物微球阵列；然后以上述非紧密规则排列的聚合物微球阵列为掩模，对二氧化硅层进行刻蚀得到规则排列的二氧化硅纳米柱；最后以二氧化硅纳米柱为掩模对蓝宝石衬底进行刻蚀，得到所述纳米级图形化蓝宝石衬底本发明还公开了所述纳米级图形化蓝宝石衬底在GaN基LED中的应用。
一种基于聚合物制备纳米图形蓝宝石衬底方法

[发明专利]一种基于纳米粒子单层阵列的光刻掩膜制造方法-CN202310729638.8在审
发明人：杨欢;韩一平;崔志伟;汪加洁;赵文娟 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：一种基于纳米粒子阵列的光刻掩膜的制造方法，利用喷墨打印可控的水滴阵列，在水滴阵列表面分别对准喷打所需不同直径纳米粒子阵列，纳米粒子分散液与水滴不互溶，在水滴表面上形成纳米粒子单层膜，加热干燥后形成纳米粒子单层阵列，然后将纳米粒子单层阵列转移至柔性透明基底；通过调控不同位置水滴表面喷墨打印的纳米粒子胶体材料和直径，形成制造复杂微纳结构阵列多尺寸的基于纳米粒子单层阵列的光刻掩膜；本发明通过喷墨打印定域制造不同直径的纳米粒子单层阵列组合，突破了纳米粒子阵列掩膜只能制造单一形貌结构的限制，形成了工艺简单、高效，可控的纳米粒子单层阵列制造技术。
一种基于纳米粒子单层阵列光刻制造方法

[发明专利]磊晶生成结构及其生成方法-CN201410740951.2在审
发明人：郑克勇;王佑立;吴浚宏;李品颐;邱绍谚 -专利权人：郑克勇
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：该生成结构包含：基板；多个晶种，以阵列式排列并设置于基板的表面；多个纳米柱，分别纵向设置于所述晶种上；以及薄膜，水平覆盖于多个纳米柱的上表面以形成平面。
生成结构及其方法

[发明专利]柔性可调谐分束器及其制备方法-CN201910589744.4有效
发明人：林雨;蒋春萍;刘峰峰;李玉雄;隋展鹏 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G02F1/163 文献下载
摘要：所述柔性可调谐分束器包括结构单元阵列，所述结构单元包括：柔性透明基底；透明底电极，设置于基底上；电致变色层，设置于透明底电极上；金属功能层，包括周期化的纳米柱或纳米棒阵列结构。
柔性调谐分束器及其制备方法

[发明专利]一种具有跨尺度超浸润吸液芯超薄平板热管及其制造方法-CN202011491242.7有效
发明人：杨晓龙;唐煜;朱荻 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有跨尺度超浸润吸液芯超薄平板热管，具有这样的特征：包括上板、下板、中间层金属网和充液毛细管；上板和下板内表面的热端均加工有微柱阵列，冷端均加工有微槽阵列；微柱阵列和微槽阵列内均具有相应形状结构的次级沟道结构；微柱阵列、微槽阵列和中间层金属网的表面均具有微米尺度微裂纹和纳米团簇结构；上板和下板相对设置，中间层金属网被固定在上板和下板之间，微柱阵列、微槽阵列和中间层金属网共同构成超薄平板热管的吸液芯结构；充液毛细管的一端固定在上板
一种具有尺度浸润吸液芯超薄平板热管及其制造方法

[发明专利]一种基于表面等离激元格点共振的光学器件-CN201910749239.1有效
发明人：李光元;杨秀华;鲁远甫;焦国华;吕建成 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：一种基于表面等离激元格点共振的光学器件包括基底介质板以及沉积于所述基底介质板上的纳米结构单元阵列，所述纳米结构单元由从下往上依次设置的且截面形状相同的底层金属柱、中层介质柱和顶层金属柱紧贴叠加构成，所述底层金属柱和所述顶层金属柱的材料相同，所述纳米结构单元以周期性排布均匀分布在所述基底介质板上。上述光学器件在不对称(非均匀)的介质环境下性能优越，结构简单、制备成本低、易于集成化和小型化，在纳米量级的尺寸非常适合大规模生产，能够用来制作纳米激光器、窄线宽滤波器、纳米尺寸非线性器件和生化传感器等光学器件
一种基于表面离激元格点共振光学器件

[发明专利]有序掺杂纳米材料强化热导率复合材料及制备方法-CN201811091644.0在审
发明人：孙云娜;巫永鹏;史剑浩;赖丽燕;王艳;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：本发明公开一种有序掺杂纳米材料强化热导率复合材料及制备方法，包括：薄膜基底；纳米材料阵列，有序分散生长于薄膜基底上；基体，用于填充于有序分散的纳米材料阵列之间，完全包裹纳米材料阵列且完全填充薄膜基底未生长纳米材料阵列的区域粘结层，用于将纳米材料阵列和基体通过化学键或物理化学能连接起来；制备时：薄膜基底表面生长有序分散的纳米材料阵列，在纳米材料阵列上制备粘结层，以降低界面热阻，在纳米材料阵列的孔隙区域填充基体材料，使其紧密包裹纳米材料本发明可高效地制备上述复合材料，纳米材料阵列与基体结合牢固、界面粘结良好，纳米阵列的排布密度和位置易于控制，制备过程灵活性强，并且具有良好的热导率。
纳米材料制备薄膜基复合材料热导率粘结层填充掺杂化学键化学能表面生长界面热阻界面粘结紧密包裹孔隙区域纳米阵列填充基体制备过程生长排布

[发明专利]一种红外探测器及其制备方法-CN202211315602.7在审
发明人：杨为家;刘丽华;梁创铭;赵晶晶;魏子衡;吴苏苇;许永康;何鑫 -专利权人：五邑大学
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H10K30/10 文献下载
摘要：本发明的红外探测器，其中含有P型纳米柱阵列层和无机n型多孔薄膜层，所述无机n型多孔薄膜层与所述P型纳米柱阵列层相互嵌套，形成有机‑无机杂化结构，由此，利用纳米结构和有机‑无机杂化的增强效应，拓展了探测器的响应范围
一种红外探测器及其制备方法

[发明专利]一种制备氧化亚铜纳米柱阵列的方法-CN200710118801.8无效
发明人：常永勤;王际;张寅虎 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2007-08-14 - 公布日： 2007-11-21 - 主分类号： C01G3/02 文献下载
摘要：一种制备氧化亚铜纳米柱阵列的方法，属于纳米材料制备技术领域。优点在于，不需要复杂的真空系统，只需在有微弱气流的空气中加热Cu衬底即可获得Cu₂O纳米柱阵列。采用的方法简单易行，成本很低，是一种环保的制备方法。
一种制备氧化亚铜纳米阵列方法