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[发明专利]基于二维材料Nb8-CN202310857557.6在审
发明人：于鹏;刘萍威;张曰理 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明属于光电探测器技术领域，公开了基于二维材料Nb8PtSe20的红外响应探测器及其制备方法。该红外响应探测器，从下往上，依次包括基底、二维材料Nb8PtSe20、电极。本发明的红外光探测器含有特定的结构，以及利用二维材料Nb8PtSe20，不仅能够在室温下正常工作，而且在1064nm波段(短红外)和10.6μm波段(中红外)有较高的响应。
基于二维材料 nb base sub

[发明专利]一种高稳定性石墨烯光电探测器及其制备方法-CN202311039825.X在审
发明人：朱兆玮;黄丽婷;高阳 -专利权人：中国农业大学
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种高稳定性石墨烯光电探测器及其制备方法，该探测器至少包括：基底，其作为光电探测器的承载部件；电极对，其能够形成电场；石墨烯层，其能够用于吸收光线并产生光生载流子；电极对的若干电极沿第一方向排布在基底上，并且，电极对之间至少留存有第二距离的空余的基底；石墨烯层以降低悬挂高度的方式布设在电极对与空余的基底表面，并且，石墨烯层远离电极对与基底的表面上真空沉积有Parylene保护层；该探测器能够极大降低石墨烯层的悬挂高度，减少石墨烯层在制备过程中产生的物理损伤，降低非均匀局部内应力的产生；该方法通过在石墨烯层上真空沉积Parylene保护层以避免石墨烯层在制备过程中受到损伤。
一种稳定性石墨光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种纸基宽光谱光电探测器及其制备方法-CN202310941035.4在审
发明人：姜天才;陶金;肖希 -专利权人：武汉邮电科学研究院有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本申请涉及一种纸基宽光谱光电探测器及其制备方法，其包括衬底、有源区和两个电极，所述衬底采用纸片制作而成，所述有源区设于所述衬底上，两个所述电极设于所述有源区上。本申请采用纸片作为衬底，可以解决相关技术中难以降解的基材会产生大量的电子垃圾，对环境不友好的问题。本申请成本低廉，易于控制，且有利于光电集成，容易产业化，本申请器件上升时间达到0.066s，下降时间达到0.066s，具有响应速度快的优点，同时，探测宽的光谱范围为254nm～1550nm，具有探测宽的光谱范围的优点。由于本申请具有低成本，绿色环保等优势，将为应用在生物医学、大健康、光通信、人机交互等柔性便携光电子器件提供参考。
一种纸基宽光谱光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种中红外探测器及其制备方法-CN202210874512.5有效
发明人：周炜;江林;段嘉欣;黄志明;郑国彬;高艳卿;吴敬;周强国;李永振;姚娘娟;褚君浩 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种中红外探测器及其制备方法。本发明基于SiGe介质‑周期金属方块的磁共振吸收结构提供中红外吸收，利用Si‑SiO2微桥上的锰钴镍氧敏感元将入射红外光转换为电学信号。具体结构为：Si‑SiO2衬底上制备有绝热微桥，微桥上方依次制备有氧化铝缓冲层，锰钴镍氧敏感元，Cr/Au周期金属方块，双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构，锰钴镍氧薄膜敏感元两侧制备有外接电极及引线。双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构主要针对8‑12μm中红外窗口设计，可在降低锰钴镍氧敏感元电阻、热容的同时实现中红外高吸收，且探测器具备‑40～120℃宽温度区间范围内电阻温度系数较为稳定的优势特点，可应用于环境监测、夜视成像、工业测温等方面。
一种红外探测器及其制备方法

[发明专利]一种红外探测器用吸收膜及其制备方法-CN202310618616.4在审
发明人：苏现军;闫凯;吕衍秋;苏朋飞;经凌;马胜昔;姚官生 -专利权人：中航凯迈（上海）红外科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开一种红外探测器用吸收膜，其包括设置在芯片基底、红外透明材料玻璃或晶体基底上的正入射的单向吸收膜，此单向吸收膜为多层复合薄膜，自下而上依次包括金属高反膜层、陶瓷膜层、金属过渡膜层、半导体材料膜层、介质保护膜层；同时公开上述红外探测器用吸收膜的制备方法。本发明具有优异的选择光谱吸收和光隔断能力，在1.7～7μm的短/中波红外波段，调整低反射区域位置和最低反射率值，能够获得对应不同探测器应用所需的最佳吸收效果。
一种红外探测器用吸收及其制备方法

[发明专利]一种具有宽频响应的光电探测器及其制备方法-CN202310625019.4在审
发明人：袁其龙;王维;张文瑞;江南;褚伍波;杨科 -专利权人：宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有宽频响应的光电探测器的制备方法，包括获得金刚石衬底；在氧气氛围下，气体压力为0.01–80mTorr，温度范围为500–900℃，通过脉冲激光沉积工艺在金刚石衬底上沉积Sn掺杂氧化镓薄膜得到光电探测器，Sn掺杂氧化镓中的Sn的摩尔分数为0.01‑10％；利用光刻、显影工艺在金刚石/氧化镓表面形成欧姆接触图案，沉积欧姆接触金属，剥离光刻胶后退火得到欧姆接触金属电极。该制备方法能够将氧化镓高质量的沉积在金刚石表面，形成氧化镓/金刚石异质结，从而实现获得宽频响应的光电探测器。本发明还公开了一种具有宽频响应的光电探测器。
一种具有宽频响应光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种局域场调控增强的二维材料中长波红外探测器-CN202210115565.9在审
发明人：李绍娟;安君儒 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：一种局域场调控增强的二维材料中长波红外探测器涉及二维材料中长波红外探测器技术领域，解决了现有探测器的光吸收绝对值低、环境适用性弱的问题，该装置包括基底、位于基底上的二维材料层、连接二维材料层的电极、位于二维材料层上的光刻胶纳米森林结构。制备方法包括:在基底上表面上制备的二维材料层；制备连接二维材料层的电极；在二维材料层上利用光刻胶材料制备纳米森林结构。本发明的探测器利用纳米森林的局域等离激元特性提高光与物质的相互作用，极大提高器件对光的吸收能力，进而提高中长波红外光探测器件的探测性能；利用的惰性和空气稳定性好的纳米森林作为钝化层提高探测器的寿命和环境适用性。制备方法与传统半导体工艺兼容。
一种局域调控增强二维材料长波红外探测器

[发明专利]一种光电探测器、具有记忆功能的运算处理器及制备方法-CN202110740607.3有效
发明人：巫江;杜文;李彩虹;龙自扬;黄一轩 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电探测器、具有记忆功能的运算处理器及制备方法。所述光电探测器从下到上依次包括衬底层、光响应层、电极层；所述光响应层为富含缺陷的MoxWySz合金薄膜；所述MoxWySz合金薄膜以氯化钠促融制备。本发明通过将光响应层设置为富含缺陷的过渡金属硫化物MoxWySz合金薄膜，从而使得光电探测器具有持续光电导效应；通过设置比较器模块，使得图像逻辑运算处理器单元能够执行逻辑运算。所述限域倾斜CVD法中的NaCl能够促进MoS2和WS2的融合，从而生长富含缺陷的过渡金属硫化物MoxWySz合金薄膜，该薄膜中的缺陷可以束缚光生载流子，从而阻碍光生载流子的复合。
一种光电探测器具有记忆功能运算处理器制备方法

[发明专利]一种高可靠性的砷化镓光导开关及其制备方法-CN202310460205.7在审
发明人：李昕;杨迎香;胡龙;耿莉;杨向红;李明;文章;童仁皓 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种高可靠性的砷化镓光导开关及其制备方法，该光导开关包括SI‑GaAs衬底，SI‑GaAs衬底的两侧相对的表面均设有n+‑GaAs层，n+‑GaAs层上设有欧姆金属电极，两处欧姆金属电极分别作为砷化镓光导开关的阳极和阴极，两处欧姆金属电极的表面均设有外接电极；SI‑GaAs衬底的表面设有钝化层，钝化层在欧姆金属电极正对的位置设有裸露区域，欧姆金属电极的表面钝化层的裸露区域处设有外接电极；欧姆金属电极包括依次堆叠设置的Pd层、Ge层、Ti层、Pt层和Au层，其中，Pd层设置于n+‑GaAs层的表面。本发明能够提高GaAs PCSS寿命和可靠性，能够解决现有GaAs PCSS由电极边缘电场集中、热累积引起电极烧蚀、脱落，最终导致器件失效的问题。
一种可靠性砷化镓光导开关及其制备方法

[发明专利]自驱动N型半导体/极性液体/P型半导体光致液体极化紫外光电探测器及其制备方法-CN202210726313.X有效
发明人：林时胜;刘畅;戴越;陆阳华 -专利权人：杭州格蓝丰科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种自驱动N型半导体/极性液体/P型半导体光致液体极化紫外光电探测器及其制备方法，该光电探测器包括P型半导体、极性液体、绝缘窗口和N型半导体，还包括金属正电极和金属背电极。本发明的光电探测器利用极性液体的表面张力与N型半导体和P型半导体紧密连接。在费米能级差的作用下，极性液体会被极化。在光子的激发下，大量的空穴扩散到N型半导体/极性液体表面，大量的电子扩散到P型半导体/极性液体表面。首先会产生瞬间光极化电流，当光照稳定之后光极化电流趋于平稳，在关闭光源的时候，会产生去极化电流。该紫外光电探测器结构简单、由于没有晶格匹配的限制，响应波长可以灵活选择、便于推广。
驱动半导体极性液体极化紫外光电探测器及其制备方法

[发明专利]光检测元件-CN202211547006.1在审
发明人：野尻武司;福泽英明;柴田哲也;水野友人;青木进 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明提供一种新的光检测元件。该光检测元件具备磁性元件和光波导，所述磁性元件具有第一铁磁性层、第二铁磁性层、被所述第一铁磁性层和所述第二铁磁性层夹持的间隔层，所述光波导至少由芯和包覆所述芯的至少一部分的包层形成，在所述光波导中传播的光向所述磁性元件照射。
检测元件

[发明专利]光检测元件-CN202211546866.3在审
发明人：水野友人;福泽英明;柴田哲也 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明提供一种光检测能力高的光检测元件。该光检测元件具备在被照射光时产生电压的光感受层、第一电极以及第二电极，所述光感受层位于所述第一电极和所述第二电极之间，所述第二电极是含有选自钌、钼、及钨中的至少一种元素的金属。
检测元件

[发明专利]一种宽波段快响应自驱动型光电探测器及其制备方法-CN202310067629.7在审
发明人：潘毅;林煜楠;胡永琪;毛家彤;张又麒;张一诺;王栋立 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽波段快响应自驱动型光电探测器及其制备方法，包括衬底、二维过渡金属碲化物和两个金属电极；二维过渡金属碲化物位于衬底上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物的顶面轴心线两侧，且电极的功函数非对称设置。制备方法为S1：提高衬底表面亲水性；S2：在衬底表面通过化学气相沉积法得到二维过渡金属碲化物；S3：在二维过渡金属碲化物表面蒸镀两个非对称设置的金属电极。提高二维过渡金属碲化物的制备效率，能够在衬底较大范围内获得连续均匀的二维过渡金属碲化物。
一种波段响应驱动光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器-CN201710421123.6有效
发明人：宋世金;虞澜;刘安安;胡建力;黄杰;崔凯 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器，结构中包括单晶基片、原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜、吸收层、封装层、金属电极，单晶基片为c轴斜切的单晶基片，单晶基片的c轴斜切角度0°θ30°，原子层热电堆薄膜沿c轴倾斜外延生长在单晶基片上，在原子层热电堆薄膜上表面相对中心位置对称设置两个金属电极，两个金属电极由导线与电压表输入端连接，铁磁性薄膜生长在单晶基片上并设置在原子层热电堆薄膜的两侧，吸收层覆盖在原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜和金属电极上，封装层覆盖在吸收层上；本发明探测器体积小、响应电压峰值大、灵敏度高、响应时间快，能实现宽光谱探测和热辐射探测。
一种基于特效应和原子热电复合光热探测器

[发明专利]一种具有纳米孔阵列的超导微米线单光子探测器及其制备方法-CN201911055454.8有效
发明人：王强;徐明升;侯雷 -专利权人：山东大学
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有纳米孔阵列的超导微米线单光子探测器及其制备方法，该单光子探测器包括自下到上依次设置的衬底、金属薄膜反射镜、介质层、超导微米线；衬底上超导微米线的占空比为20％‑80％，超导微米线中设置有纳米孔阵列，纳米孔内设置有金属纳米颗粒。该单光子探测器具有较大的超导微米线结构使得器件整体有效探测面积变大；通过超导微米线上制备纳米孔阵列，并在纳米孔内设置金属纳米颗粒，利用金属纳米颗粒的光场局域增强效应，大大提高了的入射光以及由金属薄膜反射镜反射回的光的吸收效率。
一种具有纳米阵列超导微米光子探测器及其制备方法

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