[发明专利]一种滤波器及其制备方法、光谱探测系统在审
| 申请号： | 201911083060.3 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110632692A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘言军 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种滤波器及其制备方法、光谱探测系统，所述滤波器包括分布式布拉格反射腔和位于所述分布式布拉格反射腔内的超表面结构；所述分布式布拉格反射腔包括顶层分布式布拉格反射器和底层分布式布拉格反射器，所述超表面结构位于所述顶层分布式布拉格反射器和所示底层分布式布拉格反射器之间；所述超表面结构包括多个滤波区域，每个所述滤波区域包括周期性排布的纳米柱阵列；其中，所述多个滤波区域至少存在两个滤波区域的纳米柱阵列周期不同。采用上述技术方案，采用分布式布拉格反射腔结合超表面结构，同时设置超表面结构至少存在两个滤波区域的纳米柱阵列周期不同，保证可以得到窄带的透射光，保证滤波器滤波效果良好且结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 表面结构 滤波区域 分布式布拉格反射器 分布式布拉格反射 滤波器 纳米柱阵列 顶层 光谱探测系统 周期性排布 滤波效果 透射光 腔内 窄带 制备 保证 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器，其特征在于，包括：分布式布拉格反射腔和位于所述分布式布拉格反射腔内的超表面结构；/n所述分布式布拉格反射腔包括顶层分布式布拉格反射器和底层分布式布拉格反射器，所述超表面结构位于所述顶层分布式布拉格反射器和所述底层分布式布拉格反射器之间；/n所述超表面结构包括多个滤波区域，每个所述滤波区域包括周期性排布的纳米柱阵列；其中，所述多个滤波区域至少存在两个滤波区域的纳米柱阵列周期不同。/n
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