专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种接近式纳米光刻双光栅自动对准标记-CN201410620137.7在审
  • 徐锋 - 西南科技大学
  • 2014-11-07 - 2016-05-11 - G03F1/42
  • 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准标记,由分别位于掩模与硅片上的两组对准标记组成,任意一组对准标记由位于中心的圆型光栅与位于四边角的线型拼接光栅组成。任意一组对准标记中间部分为圆型光栅,用于实现粗对准;任意一组对准标记四个边角位置分别为两组周期相邻的线型拼接光栅组成,其中两个上边角为纵向拼接,两个下边角为横向拼接,分别用于在x,y方向上实现对准。通过两组对准标记可实现掩模与硅片的高精度快速自动化对准
  • 一种接近纳米光刻光栅自动对准标记
  • [发明专利]晶圆分层对准的方法及装置-CN202310501086.5有效
  • 李兵;段成明 - 粤芯半导体技术股份有限公司
  • 2023-05-06 - 2023-08-29 - H01L21/68
  • 本申请公开一种晶圆分层对准的方法及装置,包括依据对位标记的坐标信息对所述对位标记进行分区;针对每一所述分区的对位标记,分别建立第二对准偏差模型等步骤。在本申请提供的实施例中,在对准阶段,将对位标记进行了过滤,依照其坐标信息进行了分区,并分别建立第二对准偏差模型,从而能够获得准确的第二对准偏差模型,进而能够对准标记实现精准的补偿,使套刻精度达到后续的制程需要
  • 分层对准方法装置
  • [发明专利]一种组合导航系统空中自对准方法及装置-CN202211296084.9在审
  • 肖剑峰;程果 - 湖南科众兄弟科技有限公司
  • 2022-10-21 - 2023-01-31 - G01C25/00
  • 本发明实施例提供了一种组合导航系统空中自对准方法及装置,所述组合导航系统空中自对准方法包括:当自旋弹弹体发射时,控制惯组与GPS通电;获得所述惯组测定的关于所述弹体的运动数据;在确定所述GPS有效时,利用所述GPS测定的关于所述弹体的速度数据及所述惯组测定的运动数据对所述弹体进行粗对准,所述粗对准包括计算确定所述弹体的方向角信息;基于所述粗对准获得的数据进行对准,得到对应所述弹体的姿态转移矩阵。本发明实施例提供的组合导航系统空中自对准方法能够在自旋弹弹体发射后于空中实现准确自对准
  • 一种组合导航系统空中对准方法装置
  • [发明专利]对准标记,对准方法和对准系统-CN200710045496.4有效
  • 李运锋;韦学志;徐荣伟;陈勇辉;周畅 - 上海微电子装备有限公司
  • 2007-08-31 - 2008-04-09 - G03F9/00
  • 本发明提供了一种对准系统、对准方法和对准标记,该对准标记包括大周期光栅分支和小周期光栅分支,采用分光路探测系统,同时对组成光栅标记的大周期光栅分支±1级衍射光相干成像和小周期光栅分支±1级衍射光相干成像分别进行信号采集、处理与拟合,并结合两组信号的相位信息,确定精确的对准位置。由于仅采用±1衍射光相干成像,避免了高级次衍射光需采用具有楔板调节装置的空间分离装置;采用小周期光栅分支,可以保证获得高的对准精度;采用分光路探测系统,避免了粗对准信号和对准信号之间串扰现象。
  • 对准标记方法系统

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