“韦学志”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果49个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[外观设计]直线电机定子（带有指示灯和指示灯带）-CN202230774452.0有效
发明人：池峰;李文华;韦学志;何亚鹏 -专利权人：上海果栗自动化科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： 13-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：直线电机定子（带有指示灯和指示灯带）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于直线电机，以驱动配套设置的动子；并且在直线电机定子上设置有指示灯和指示灯带，用于显示直线电机定子的工作状态。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.指定设计1为基本设计。
直线电机定子带有指示灯

[发明专利]一种可交换储能量化配置的保温方法及实现装置-CN202011112519.0在审
发明人：杨乐琪;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人： 韦学志
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B65D81/18 文献下载
摘要：一种可交换储能量化配置的保温方法及实现装置。本发明公开了一种应用于中短途物流运输领域和医疗保健领域的保温方法，利用能量交换来确保相关保温对象处于适宜温度，特别是涉及为有限时长的用户场景可交换储能进行量化配置的保温方法。通过标定用户场景下单位时长内单位质量负载保持适宜温度范围所需的给定保温储能模块数量或对应可交换储能数值，得到该给定保温储能模块相应的可交换储能量化配置查询表，基于该查询表，用户可以为不同质量的保温对象配置恰当数量的保温储能模块，从而既保证保温效果又提高资源利用效率。同时，本发明还公开了一种用于上述保温方法的保温模块实现方案，该方案可以灵活地适配保温对象的形状，保证该量化配置关系的良好实现，进一步提升能源利用效率。
一种可交换量化配置保温方法实现装置

[发明专利]一种对准信号模拟发生装置-CN201010292198.7有效
发明人：王海江;唐文力;程鹏;陈振飞;李运锋;宋海军;韦学志 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-09-27 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准信号模拟发生装置，该装置中具有连续衰减轮，包括内侧轮盘、外侧轮盘和电机，光照到内侧轮盘或外侧轮盘的不同位置，即可实现对输入光强相应的衰减率，内侧轮盘和外侧轮盘径向上衰减率分别相同，圆周方向上衰减率连续变化，当光源垂直入射到内侧轮盘或外侧轮盘，并且光源输入位置固定的情况下，通过电机匀速驱动内侧轮盘和外侧轮盘转动，实现对输入光强的调制，调制频率与电机匀速旋转的转速相对应。
一种对准信号模拟发生装置

[发明专利]一种消除表面静电的流体压紧封装装置及封装方法-CN201110241760.8有效
发明人： 韦学志;陈勇辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-08-22 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供一种消除表面静电的流体压紧封装装置，包括：封装结构，所述封装结构具有第一基板，第二基板，及设置在所述第一基板和所述第二基板之间用于形成至少一腔室的熔料；辐射源，用于加热所述熔料，使所述熔料与所述第一基板和所述第二基板的连接面处结合，使所述腔室形成气密封装结构；流体源，所述流体源提供流体束，所述流体束作用于所述第一基板，用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的所述熔料；其特征在于，所述流体源内还包括离子发生装置，用于激发所述流体束以产生正负离子。
一种消除表面静电流体压紧封装装置方法

[发明专利]封装方法-CN201110068027.0有效
发明人： 韦学志;陈勇辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C03B23/203 文献下载
摘要：一种封装方法，包括：制备微细粉末，用所述微细粉末制备微细粉末膏体，利用所述微细粉末膏体、玻璃膏体对盖板玻璃的封装线进行涂覆处理，对经涂覆处理的所述盖板玻璃进行真空预烧结，在真空或惰性气体环境下，将完成真空预烧结的所述盖板玻璃与基板玻璃对叠，对完成对叠的盖板玻璃与基板玻璃组合进行激光扫描封装。所述封装方法可以将预烧结后的封装线高度不均匀性控制在理想范围内，明显降低封装时对激光功率的需求。
封装方法

[发明专利]一种封装装置及封装方法-CN201110068115.0有效
发明人： 韦学志;陈勇辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开一种封装装置，包括：载物台，用于承载用于装配的封装结构，所属封装结构具有第一基板，第二基板，及设置在所述第一基板和第二基板之间，用于形成至少一腔室的熔料；辐射源，用于加热所述熔料，使其与所述第一第二基板的连接面处结合，使上述腔室形成一气密封装结构；流体源，与所述辐射源连接并相对移动，所述流体源提供流体束，所述流体束作用于所述第一基板，用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的熔料。
一种封装装置方法

[发明专利]封装装置及封装方法-CN201110068089.1无效
发明人： 韦学志;陈勇辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C03B23/24 文献下载
摘要：本发明提供一种封装装置，包括：载物台，用于承载用于装配的封装结构，所属封装结构具有第一基板，第二基板，及设置在所述第一基板和第二基板之间，用于形成至少一腔室的熔料；辐射源，用于加热所述熔料，使其与所述第一第二基板的连接面处结合，使上述腔室形成一气密封装结构；流体源，提供流体束，所述流体束作用于所述第一基板，用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的熔料。
封装装置方法

[发明专利]一种提高对准精度的对准扫描方法-CN201010582193.8有效
发明人：朱正平;李运锋;宋海军;韦学志 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种对准扫描方法，用于抑制或消除对准过程中出现的寄生干涉，包括：步骤一、使扫描的起始位置位于投影物镜焦深范围内；步骤二、开始扫描，所述扫描过程中满足沿水平方向移动和沿垂直方向匀速移动，所述匀速运动满足使光强变化的频率大于传感器的响应时间；步骤三、使扫描的结束位置位于投影物镜焦深范围内。
一种提高对准精度扫描方法

[发明专利]用于光刻设备的对准信号处理系统及对准信号处理方法-CN201010619054.8有效
发明人：程鹏;韦学志;王海江;唐文力;陈振飞 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-28 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于光刻设备的对准信号处理系统，包括：光信号解调器，用于将调制光强信号转换为电压信号，并输出SS信号；电压信号经第一模数转换器后进入数据处理单元；SS信号经第二模数转换器后进入数据处理单元；数据处理单元根据所述SS信号校准所述电压信号；还包括一时序控制器用于控制所述第一模数转换器和第二模数转换器，使所述电压信号与所述SS信号同步采样。本发明同时提供一种用于光刻设备的对准信号处理方法。
用于光刻设备对准信号处理系统方法

[发明专利]对准标记测量信号处理方法-CN201010177516.5有效
发明人：李运锋;赵新;韩悦;韦学志 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-05-18 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准标记测量信号处理方法，在对对准信号进行采样后利用拟合模型进行信号拟合求解出最佳对准位置，利用光强采样和位置采样获得的结果进行模型拟合，在拟合模型参数的同时对信号的周期进行拟合，从而确定信号的相位，最终求解确定最佳对准位置。
对准标记测量信号处理方法

[发明专利]硅片对准光源幅度调制装置-CN201010173160.8有效
发明人：王海江;王诗华;戈亚萍;唐文力;李运锋;程鹏;陈振飞;宋海军;韦学志;胡明辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-05-12 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种硅片对准光源幅度调制装置，包括：激光器、光弹晶体、压电晶体、功率驱动器、调制控制器、光学组件、偏振分光镜、光电探测器、信号调理单元、信号采集单元及控制单元。光源模块提供的入射光束依次经过光幅调制模块、光学组件、分束器后形成第一调制光束与第二调制光束，光电探测模块探测所述第二调制光束的光信号，根据所述光信号的规律，判断及输出一调制参数，所述光幅调制模块根据所述调制参数调制所述入射光束。
硅片对准光源幅度调制装置

[发明专利]一种基于正交化模型的离轴信号处理方法、装置及系统-CN201010164981.5有效
发明人：陈延太;宋海军;韦学志;李运峰;王海江 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-04-29 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于正交化模型的离轴信号处理方法、装置及系统，通过确定一正交化模型并获取位置采样信号及光强采样信号，并对采样信号进行累加化简处理，以便快速精确的确定对准信号的相位，从而最终确定其对准位置。
一种基于正交模型信号处理方法装置系统

[发明专利]一种用于DUV光刻装置的掩模对准面形探测装置-CN201010135955.X有效
发明人：王海江;唐文力;李运锋;程鹏;陈振飞;宋海军;韦学志;胡明辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于DUV光刻装置的掩模对准面形探测装置，包括：面形探测标记，包含多个独立的探测标记；光学滤波器，包含多个光学滤波器单元，将DUV转化成可见光；面形的硅光电二极管，包括多个独立的单元；放大器，包括多路放大器单元；信号处理元件，具有多个信号处理单元；模数转换元件，具有多个模数转换单元对相应的信号处理单元输出的模拟信号进行模数转换；运算处理元件和上位机；其中，面形探测装置具有多个探测单元，每个探测单元都有相应的一个探测标记、一个光学滤波器单元、一个硅光电二极管单元，一个放大器单元、一个信号处理单元、一个模数转换单元。
一种用于 duv 光刻装置对准探测

[发明专利]具有频率状态反馈功能的电光相位调制器-CN201010022688.5有效
发明人：陈振飞;唐文力;王海江;韦学志 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-01-12 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：一种电光相位调制器，包括功率提取单元、功率检测单元、反馈信号产生单元和电光相位调制晶体，其中电光相位调制晶体对输入的光束进行相位调制；功率提取单元提取调制信号源输出的驱动信号中的功率信号和驱动信号与驱动信号经电光相位调制晶体反射的反射信号的干涉信号的功率信号；功率检测单元将功率信号转换为电信号；反馈信号产生单元根据电信号产生反馈信息反馈到调制信号源；调制信号源根据反馈信号调节驱动信号，使驱动信号频率值保持在相位调制器的谐振频率附近。
具有频率状态反馈功能电光相位调制器

[发明专利]光刻机的对准信号的周期测校方法-CN200910247635.0有效
发明人：李运锋;王海江;宋海军;韦学志 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准信号周期的测校方法，其中，通过调整拟合周期值，获得一系列的对应多重相关系数MCC值，建立拟合周期与MCC之间的关系曲线，从而可确定最大MCC处的拟合周期，该拟合周期即为对准信号的最佳拟合周期。在对准信号拟合时，利用该测校方法获得的最佳信号周期进行信号拟合，可以获得更好的拟合效果，进而提高粗对准和精对准精度。
光刻对准信号周期校方

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 49 条