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[发明专利]位置测量系统的照明装置-CN202111672269.0在审
发明人：程于水;徐荣伟;忻斌杰;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光刻设备技术领域，公开了一种位置测量系统的照明装置，包括：光源，用于输出光束；软边光阑，用于调制所述光束；照明光路，用于将调制后的所述光束照射于待测硅片上。软边光阑可以有效地减小远场菲涅耳衍射，产生平滑的光强分布，减小了硅片面光斑区域内的能量波动；降低了硅片面光斑区域外的杂散光干扰，提升位置测量系统的信噪比。
位置测量系统照明装置

[发明专利]一种对准装置、方法及对准重复性检测方法-CN202010612166.4在审
发明人：杨金良;陈小娟;忻斌杰 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种对准装置、方法及对准重复性检测方法。对准装置包括照明系统、掩模版、投影物镜、基准板、探测器以及控制系统，基准板上设置有至少一个基准标记，探测器的通道与基准标记一一对应；基准标记包括至少一个基准子标记，基准子标记包括至少一个沿X方向延伸的X向基准狭缝和至少一个沿Y方向延伸的Y向基准狭缝；掩模版上设置有掩模标记，掩模标记包括至少一个掩模子标记，掩模子标记包括至少一个沿X方向延伸的X向掩模狭缝和至少一个沿Y方向延伸的Y向掩模狭缝。本发明实施例提供的技术方案根据单对基准标记和掩模标记即可确定掩模版相对于基准板在X方向和Y方向上的位置，如此，可减小探测器的通道数量，降低成本。
一种对准装置方法重复性检测

[发明专利]掩膜对准标记组合、掩膜对准系统、光刻装置及其方法-CN201910239716.X有效
发明人：陈小娟;忻斌杰;李术新 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜对准标记组合、掩膜对准系统、光刻装置及其方法，通过在掩膜板及工件台基准板上分别设置包括多组光栅的第一对准标记分支和第二对准标记分支，使得在对准扫描过程中，辐射探测器可以测得多个空间像的辐射信息，进而结合第一位置探测器和第二位置探测器探测到的掩膜板及所述工件台基准板的位置信息获得多个粗掩模对准位置，根据多个粗掩模对准位置计算得到精掩模对准位置，从而提高了掩模对准测量精度。
对准标记组合系统光刻装置及其方法

[实用新型]位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统-CN202020625464.2有效
发明人：高安;孙建超;忻斌杰;陈小娟 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L31/0232 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统，该位置灵敏探测器包括：光敏器件层，用于接收第一波长光，并转换成电信号；光转换结构，光转换结构包括透明基板和第一光转换层；透明基板位于光敏器件层之上；第一光转换层设置有横向间隔分布的反光区和光转换透光区，光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，其中，第二波长光的波长大于第一波长光的波长；透明基板远离第一光转换层一侧的表面为非球面。本实用新型实施例提供的技术方案，第一光转换层中光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，降低了位置灵敏探测器的加工难度以及生产成本。
位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统

[发明专利]一种光信号的处理装置及方法-CN201710909289.2有效
发明人：孙建超;忻斌杰;李运锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光信号处理装置及方法，包括测量光能输出单元、自参考棱镜单元、信号测量接收单元和光能损耗单元，所述测量光能输出单元将光信号采集至自参考棱镜单元，所述光信号经自参考棱镜单元进入光能损耗单元损耗部分光信号后再进入信号测量接收单元。本发明提供的光信号的处理装置及方法，通过对衍射光中低级次光的处理，降低低级次光的噪声干扰，可以有效的提高对准重复性。
一种信号处理装置方法

[发明专利]离轴照明装置-CN201610379169.1有效
发明人：孙建超;忻斌杰;于大维 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种离轴照明装置，采用离轴照明方式，可以调整照明光的入射角度和偏振态，满足不同方向对准标记的照明需求，特别是在光栅周期达波长量级时，照明光的偏振对衍射效率的影响变得明显，并且装置结构简单易于加工实现，整个系统能量利用率高，此外，还可以处理对准测量中的非对称误差。
照明装置

[发明专利]一种对准测量系统及对准方法-CN201611075055.4有效
发明人： 忻斌杰;孙建超;李运锋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对准测量系统及对准方法，该系统通过第一光源模块和第二光源模块提供具有不同波长的四种光束，通过光源控制模块控制第一光源模块和第二光源模块中不同光源的开启和关闭，通过成像模块将照射到对准标记上的第一光源模块、第二光源模块发出的光束分别成像在第一参考光栅、第二参考光栅的不同位置上；第一参考光栅和第二参考光栅为四种光束的不同级次衍射光提供不同周期的参考标记；信号采集处理模块采集透过第一参考光栅、第二参考光栅的光强信号并进行处理，以及通过对准操作与管理模块计算对准位置。本发明可以实现对四种波长同时进行测量，获得性能最佳的波长，利用该波长进行该工艺条件下的光刻生产，提高工艺适应性。
参考光栅光源模块波长对准对准测量信号采集处理模块光源控制模块工艺适应性参考标记成像模块对准标记对准位置工艺条件管理模块光刻生产光强信号衍射光光源成像照射测量采集

[发明专利]一种对准测量装置和一种对准系统及方法-CN201610285781.2有效
发明人： 忻斌杰;于大维;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明一种对准测量装置和一种对准系统及方法，在成像透镜与探测装置之间设置了微透镜阵列，调整微透镜阵列即可使不同焦距处的测量对象的光线到达探测装置探测面的不同位置上，这样在信号探测装置上可以形成位于不同景深的测量对象的图像，将这些不同景深的测量对象的图像经过运算单元运算后即可得到不同景深的测量对象所在的位置，该位置包括水平坐标和垂直坐标，这样在对准系统中，可使用控制系统根据运算得到的测量对象所在的位置控制移动平台移动，使得所有的测量对象对准。该装置和方法能够只需成像一次即可计算得到不同景深测量对象所在的位置，无需多次扫描成像，因此操作简单方便，省时省力。
一种对准测量装置系统方法

[发明专利]一种调焦调平装置及测量方法-CN201510041183.6有效
发明人：黄栋梁;忻斌杰;唐平玉 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-01-28 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种调焦调平装置，包括：一照明单元，用于输出多路照明光束；一投影单元，用于将该多路照明光束依次引导至被测硅片上的多个不同的测量标记；一探测单元，用于依次接受该多个不同的测量标记的反射光。本发明同时公开一种调焦调平测量方法。
一种调焦平装测量方法

[发明专利]光程调整装置和光程调整方法-CN201410412381.4有效
发明人：蓝科;李运锋;宋海军;忻斌杰;王诗华 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-08-20 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：在本发明提供的光程调整装置和光程调整方法中，通过所述光程调整装置调整自参考干涉仪中第一棱镜和第二棱镜的相对位置，从而实现光程的精确调整，防止采用所述自参考干涉仪的自参考干涉对准系统因所述第一棱镜与第二棱镜的胶合误差出现0级光泄露，进而提高对准信号的对比度。
光程调整装置方法

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