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[发明专利]试样观察系统以及图像处理方法-CN202180013541.6在审
发明人：近藤直明;原田实;岭川阳平 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种试样观察系统，具有扫描型电子显微镜和计算机，进行如下处理：(1)取得所述扫描型电子显微镜拍摄的多个图像；(2)从所述多个图像取得包含缺陷部位的学习用缺陷图像和不包含所述缺陷部位的学习用参照图像；(3)使用所述学习用缺陷图像和所述学习用参照图像来计算推定处理参数；(4)取得包含缺陷部位的检查用缺陷图像；以及(5)使用所述推定处理参数和所述检查用缺陷图像来推定伪参照图像。
试样观察系统以及图像处理方法

[发明专利]基于自动化决策的能量分散式X射线方法及设备-CN201580055501.2在审
发明人： H·辛哈;D·斯皮瓦克;H·旭;H·萧;R·博特罗 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：一个实施例涉及一种用于对在目标衬底上的有缺陷裸片中检测到的缺陷进行自动化复检的方法。所述方法包含使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。此外，揭示基于所述EDX结果将所述缺陷分类的自动化方法，所述自动化方法提供组合形态信息与元素信息两者的最终帕累托。还揭示其它实施例、方面及特征。
基于自动化决策能量分散射线方法设备

[发明专利]扫描电子显微镜图像锚定阵列的设计-CN202180045443.0在审
发明人： S·巴塔查里亚;S·埃斯本斯哈德 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种扫描电子显微镜，其从光学检验系统接收晶片的结果文件。所述结果文件包含所述晶片上的锚定点。使用所述扫描电子显微镜产生所述晶片上的所述锚定点处的缺陷检查图像。将设计片段对准到所述锚定点处的所述缺陷检查图像，从而产生经对准缺陷检查图像。使用所述经对准缺陷检查图像进行缺陷检测。
扫描电子显微镜图像锚定阵列设计

[发明专利]缺陷检测方法、装置及电子设备-CN202110210770.9有效
发明人：盖增园;迟小羽 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种缺陷检测方法、装置及电子设备，该方法包括：获取待检测对象的图像；获取所述图像中像素的亮度信息；根据所述亮度信息，获得所述待检测对象的外观缺陷信息，其中，所述外观缺陷信息表征所述待检测对象外观中存在的缺陷该方法使得电子设备可以快速、准确的获得待检测对象的外观缺陷信息，从而节省人力，提升用户体验。
缺陷检测方法装置电子设备

[发明专利]一种电子显示屏表面缺陷的检测方法-CN202210655861.8在审
发明人：廖金枝;华佑南;张兮;李晓旻 -专利权人：胜科纳米（苏州）股份有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N21/91 文献下载
摘要：本发明提供一种电子显示屏表面缺陷的检测方法，所述检测方法包括以下步骤：将电子显示屏样品依次进行电晕处理和荧光液浸泡，得到预处理后的电子显示屏样品；然后用荧光显微镜检测经过预处理后的电子显示屏样品表面裂纹本发明提供的电子显示屏表面缺陷的检测方法，使得电子显示屏样品表面的黏附性明显改善，实现电子显示屏表面湿润性和粘附力增加的目的，从而使得荧光液体可以非常容易地浸润进入缺陷位置，到达荧光定位的目的。
一种电子显示屏表面缺陷检测方法

[发明专利]电子显示屏封装材料的缺陷检测方法-CN201811015140.0在审
发明人：张南;陈妍;寥金枝;潘慧慧;傅超;华佑南;李晓旻 -专利权人：胜科纳米(苏州)有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01N21/91 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子显示屏封装材料的缺陷检测方法，包括提供样品，并对样品进行预处理；根据样品特征配制纳米级别的荧光溶液或荧光气体，并将配置好的荧光溶液或荧光气体置于无光处保存；将所述样品放置于荧光溶液或荧光气体中，使荧光分子充分渗入样品的缺陷内；取出样品、清洗并烘干；采用激光或者紫外光照射样品，使缺陷中的荧光分子产生荧光；观测样品并获取样品上纳米级以上的缺陷。本发明可以清晰探测到电子显示屏封装材料中纳米级及以上尺寸的缺陷，为检测纳米级缺陷提供了技术保障。此外，本发明对于电子显示屏封装材料的面积没有限制，且不会破坏电子显示屏封装材料下方的金属层或电路，避免对电子显示屏封装材料造成不可逆的破坏。
电子显示屏封装材料荧光荧光溶液纳米级缺陷检测荧光分子预处理紫外光照射观测样品技术保障纳米级别样品放置样品特征不可逆金属层烘干无光配制渗入电路清洗激光取出探测保存清晰检测配置

[发明专利]一种电子五金件加工用视觉检测方法-CN202310752945.8在审
发明人：曹兰震;张世泉;李雪萍;沈宁 -专利权人：扬州永基精密五金制品有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种电子五金件加工用视觉检测方法。包括初步筛选和表观图像采集，还包括表观图像分析、表观缺陷分析、深度缺陷分析、制造质量分析和待测件分类。通过对待测件对应的表观图像匹配指数、表观缺陷指数、深度缺陷指数分析能够实现对待测件进行多维度检测，准确的对待测件的质量进行判断，更加全面的检测待测件的尺寸、孔位、轮廓、表面缺陷和深度缺陷，有效增加了待测件的检测精度，改变了传统的人工检测电子五金件质量的方式，避免了因人工检测的主观性导致的电子五金件质量判断误差，很大程度上避免了待测件检测结果参差不齐的情况，有效提高了标准电子五金件的识别效率，保障了电子五金件制造质量分析结果的精准性和可靠性
一种电子五金件工用视觉检测方法

[发明专利]可实现缺陷自动调控的电子衍射仪-CN201710596412.X有效
发明人：刘胜;李辉;张国庆;申胜男 -专利权人：武汉大学
申请日： 2017-07-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明涉及电子衍射仪，提供一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，还包括检测光路、缺陷调控光路以及处理单元，检测光路的三倍频激光由第一入射窗口透射至真空样品室内，缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至真空样品室内的样品台上，于真空样品室内还设置有电子枪，电子枪的阴极位于检测光路上，缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，处理单元包括接收组件以及控制中心。本发明的电子衍射仪可对微纳制造过程原位实时无损测量，实现边生长、边检测，且通过对衍射图像处理获得样品表面缺陷信息，并根据此信息反馈调节飞秒激光脉冲能量及扫描位置，进行缺陷的修复，实现边检测、边调控的目的
实现缺陷自动调控电子衍射

[发明专利]一种集成晶圆与芯片电子视图的云储存和标识追溯方法及系统-CN202211322672.5在审
发明人：袁晨;李勤建;陈金堂 -专利权人：江苏捷捷微电子股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成晶圆与芯片电子视图的云储存和标识追溯方法，本方法包括以下步骤：S1、生成芯片电子视图；S2、生成识别码；S3、全站别下载电子视图并更新缺陷；S4、良品和残次品筛选，S1、生成芯片电子视图：根据晶圆型号和封装类型，服务器自动生成对应的晶圆电子视图和框架电子视图；S2、生成识别码。本发明将原有纸质框架模拟图升级为云端的电子视图，联通现有站别所有设备实现联网，联动，运用设备从云端下载电子视图的方法标记晶圆、框架和缺陷信息，实现全工艺链设备共享晶圆、框架和缺陷信息，从而实现防呆，防错，精准定位缺陷和长时间可追溯性的要求。
一种集成芯片电子视图储存标识追溯方法系统

[发明专利]搅拌摩擦焊隧道缺陷的电子束补焊方法-CN201610624939.4有效
发明人：方坤;仇晗;梁宁;李正;雷党刚;王传伟;王国超 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B23K9/04 文献下载
摘要：本发明搅拌摩擦焊隧道缺陷的电子束补焊方法，涉及一种补焊技术，具体涉及铝合金搅拌摩擦焊液冷组件经精加工后暴露出来的隧道缺陷的补焊方法。其目的是为了提供一种搅拌摩擦焊隧道缺陷的电子束补焊方法，实现了铝合金搅拌摩擦焊液冷组件经精加工后暴露出来的隧道缺陷的补焊，从而避免精加工结构的变形，节省了产品成本和周期。本发明搅拌摩擦焊隧道缺陷的电子束补焊方法包括：清洗、烘干；确定焊接深度h；安装；编制焊接程序；补焊；机械加工。本发明的方法能够用于对隧道缺陷进行补焊，填补市场空白。本发明的方法适用于铝合金隧道缺陷的无变形补焊焊接，属于材料焊接技术领域。
搅拌摩擦隧道缺陷电子束方法

[发明专利]PMOS器件源漏泄漏缺陷的检测方法-CN201010128882.1有效
发明人：范荣伟;吴浩;王恺;赵宁;龙吟 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2010-03-19 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G01R31/307 文献下载
摘要：本发明涉及PMOS器件源漏泄漏缺陷的检测方法，包括下步骤：(a)提供晶圆，该晶圆包括基底，阱区，栅极，源极、漏极，绝缘介质层，与源极或者漏极连通的金属互连线；(b)至少在金属互连线的表面沉积电介质层，使得金属互连线的电子反射率与入射电子能量的关系曲线的第二交叉点降低至E2’；(c)发射电子束扫描晶圆表面以检测出存在泄漏缺陷的源漏，且电子束的能量超过E2’。通过上述方法，只需要用较低的电子束能量即能进行源漏泄漏缺陷检测，可以在现有电子束缺陷扫描机台的极限范围内进行，对PMOS器件的良率检测工艺有很大帮助。
pmos 器件漏泄缺陷检测方法

[发明专利]一种正电子平均寿命分解方法-CN201210174938.6无效
发明人：庞锦标;王柱;田丰收;周凯;刘亮亮 -专利权人：武汉大学
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N23/06 文献下载
摘要：本发明涉及一个正电子平均寿命分解方法，包括以下步骤：先设定所研究材料体中的缺陷类型以及个数，根据待处理的正电子平均寿命值的大小以及对应的测量温度绘图，然后采用理论上计算所得到的正电子平均寿命的温度关系，构建简化的正电子平均寿命模型函数，再设定约束条件、通过最小二乘法原理，对实验测量的正电子平均寿命进行拟合，并输出结果。本发明不仅可以分解多个相关联缺陷的寿命谱，而且还可以得到缺陷的正电子捕获率、浓度等等物理量，对复杂缺陷体系的研究具有重要实用价值，同时本发明所提供的技术方案还具有良好的扩展性。
一种正电子平均寿命分解方法

[发明专利]精确定位前层缺陷的聚焦离子束制样方法-CN201410443663.0有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;顾晓芳;刘祚钺 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-09-02 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种精确定位前层缺陷的聚焦离子束制样方法。对晶圆进行在线缺陷检查以找出缺陷，并且利用扫描电子显微镜或光学显微镜观察缺陷具体形貌。如果扫描电子显微镜无法观察到缺陷或判断缺陷发生的原因，并且根据光学显微镜观察结果也无法判断缺陷发生原因，则首先利用光学显微镜获取显微观察结果，然后借助显微观察结果，结合晶圆产品设计过程中获取的不同层次光罩的信息进行缺陷定位
精确定位缺陷聚焦离子束方法

[发明专利]增材制造缺陷检测方法及增材制造装置-CN201710418485.X在审
发明人：马旭龙;林峰;郭超 -专利权人：清华大学天津高端装备研究院;天津清研智束科技有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明属于增材制造领域，公开了一种增材制造缺陷检测方法，包括至少在预热和/或熔化阶段，通过图像拍摄装置获取可见光图像和/或红外线图像，并通过电子成像装置获取电子成像图像；将可见光图像和/或红外线图像与电子成像图像单独或融合后与标准图像进行对比，在存在差异时，确定预热和/或熔化阶段存在缺陷。本发明还公开了一种增材制造装置，包括成形室、图像拍摄装置以及电子成像装置。本发明通过图像拍摄装置获取可见光图像和/或红外线图像，并通过电子成像装置获取电子成像图像，并单独或融合后与标准图像对比，能够根据对比结果判断是否存在缺陷，检测准确且不易造成误检或漏检，且避免了现有缺陷检测存在的缺陷检测滞后的问题
制造缺陷检测方法装置

[发明专利]检测电子元件表面缺陷的装置-CN201610302273.0在审
发明人：廖兴旺 -专利权人：成都慧信实验设备有限公司
申请日： 2016-05-09 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明检测电子元件表面缺陷的装置，属于表面质量检查设备领域。目的是提供一种能准确反应电子元件表面缺陷的尺寸的检测电子元件表面缺陷的装置。包括支座，安装于支座的光源、放大镜和摄像镜头，光源、放大镜和摄像镜头由下至上依次布置；在光源下方设有电子元件检测台，电子元件检测台包括与支座可拆卸连接的反射本体，在反射本体上设有垂直贯穿反射本体的方形通孔该检测电子元件表面缺陷的装置可明确表面缺陷的尺寸大小，根据尺寸大小确定修复方案，避免了修复的盲目性。
检测电子元件表面缺陷装置