专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]红外探测器、混成芯片及其背划痕处理方法-CN202110503440.9在审
  • 李海燕;曹凌霞 - 中国电子科技集团公司第十一研究所
  • 2021-05-10 - 2021-10-01 - H01L21/304
  • 本发明公开了一种红外探测器、混成芯片及其背划痕处理方法。红外探测器混成芯片背划痕处理方法,包括:将红外探测器混成芯片至预设厚度;去除至预设厚度的红外探测器混成芯片中光敏芯片的边缘区域;将去除光敏芯片边缘区域的红外探测器混成芯片磨抛至目标厚度,预设厚度大于目标厚度采用本发明,通过将红外探测器混成芯片至预设厚度,实现大部分光敏芯片厚度的去除,混成芯片因一部分的应力释放面型情况会得到优化,整体平面度会得到提高。另外,增加刻蚀或腐蚀工艺,形成光滑的光敏芯片器件边缘,降低在后续磨抛工艺中出现材料渣、划痕的可能性,同时通过几十微米厚度的去除,去除前面过程中出现的划道。
  • 红外探测器混成芯片及其背减薄划痕处理方法
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202010341206.6有效
  • 魏丹珠;闾新明 - 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
  • 2020-04-27 - 2020-08-21 - B81C1/00
  • 本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,所述半导体器件的制造方法包括:提供一晶圆,所述晶圆包括相对设置的正面和背面,所述晶圆的正面具有膜层结构;第一次,研磨所述晶圆的背面,以使得所述晶圆至第一厚度;图形化处理所述晶圆的背面,以在所述晶圆的背面形成图形化结构;以及,第二次整体研磨所述晶圆的背面,以使得所述晶圆至第二厚度。本发明的技术方案使得在所述晶圆到所需厚度的同时,还能避免导致所述晶圆的背面的图形化处理的工艺出现异常。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]一种不规则晶圆的方法-CN201410812372.4有效
  • 张国华;李云海 - 无锡中微高科电子有限公司
  • 2014-12-23 - 2015-04-08 - H01L21/02
  • 本发明提供一种不规则晶圆的方法,包括下述步骤:步骤一,设定设备目标厚度;步骤二,测量并记录需要的不规则晶圆的外形尺寸;步骤三,提供一片外形完整的陪片,陪片外缘尺寸与设备的工作台盘的环形真空带相吻合;在陪片上确定需要切割的具体尺寸,并对所需切割的尺寸进行标记;步骤四,对步骤三中已作标记的陪片沿标记位置进行切割;步骤五,将步骤四中已切割陪片的中间部分取走,使其中间部位形成一个空缺区域;步骤六,将需的不规则晶圆放置于步骤五中陪片形成的空缺区域,然后使用薄膜粘贴在不规则晶圆和陪片正面,使得两者成为一个整体
  • 一种不规则方法
  • [发明专利]一种调节两旋轮旋压错距量的方法-CN201811543736.8有效
  • 曹学文;杨延涛;王亚社;赵琳瑜;孟繁瀛;张岩;杨东浩;王春平;宋琪 - 西安航天动力机械有限公司
  • 2018-12-17 - 2020-05-19 - B21D22/16
  • 一种调节两旋轮旋压错距量的方法,在设定各旋轮量时,依据材料的加工硬化规定了三旋轮错距旋压时各旋轮的量。根据总量T以及旋轮数量、各旋轮错距旋压时量分配值,得到各旋轮量。在调整各旋轮的轴向位置时,将各旋轮沿筒形件径向移动至旋压毛坯相应的壁厚量区域,使各旋轮旋入角α边所在直线均与第一个旋轮旋入角α边所在直线相切,得到各旋轮间错距量,精度达到0.01mm级。本发明将多个旋轮等效为一个台阶式整体旋轮,实现金属材料的稳定变形;在确定各旋轮间错距量时,充分考虑了材料及设备的回弹、各旋轮量的分配导致的加工硬化,与实际生产相吻合,并且具有操作简单、快捷方便的特点
  • 一种调节两旋轮旋压错距量方法
  • [发明专利]半导体的加工方法-CN202111622877.0在审
  • 马阳军 - 东莞新科技术研究开发有限公司
  • 2021-12-28 - 2023-06-30 - B24B37/04
  • 本发明公开了一种半导体的加工方法,应用于二氧化硅基体内含有镍铁线圈的半导体元件,包括:将半导体元件放置在第一盘上进行第一次研磨,得到一次后的半导体元件;将一次后的半导体元件放置在第二盘上进行第二次研磨,得到二次后的半导体元件;其中,第二盘上的金刚石颗粒小于第一盘上的金刚石颗粒,第二盘的旋转速度小于第一盘的旋转速度;将二次后的半导体元件放置在第三盘上进行抛光研磨,得到抛光后的半导体元件;其中,第三盘上的金刚石颗粒小于第二盘上的金刚石颗粒,第三盘的旋转速度小于第二盘的旋转速度。
  • 半导体加工方法
  • [发明专利]场效应晶体管制造方法-CN200910311265.2无效
  • 李滨;李诚瞻;刘新宇;魏珂;陈晓娟 - 四川龙瑞微电子有限公司
  • 2009-12-11 - 2010-06-02 - H01L21/335
  • 本发明涉及场效应晶体管制作技术,特别涉及氮化镓基微波功率场效应器件衬底的方法。本发明针对现有技术的场效应晶体管制造方法中衬底薄技术的缺点,公开了一种场效应晶体管制造方法,改进其衬底薄技术,以适应高硬度衬底材料的,提高衬底加工工艺质量,改进衬底质量,提高器件整体性能。本发明的场效应晶体管制造方法,在场效应晶体管制造工艺过程中,利用等离子体对碳化硅等场效应晶体管高硬度衬底进行刻蚀。能够避免晶圆破裂,提高衬底的质量,特别适合氮化镓基场效应晶体管器件的制造工艺。
  • 场效应晶体管制造方法
  • [实用新型]电阻式触摸屏制作系统-CN200920129449.2有效
  • 金弼;杨应国;张莉;刘志斌 - 中国南玻集团股份有限公司
  • 2009-01-16 - 2009-11-18 - G06F3/045
  • 本实用新型涉及电阻式触摸屏制作系统,包括:用于对进入的两片厚素玻璃中每一片的一面分别镀以透明导电膜的镀膜装置11;用于对镀膜装置馈送来的其中一片玻璃的另一面进行蚀刻的蚀刻装置12;以及用所述蚀刻装置后的透明导电膜玻璃和镀膜装置镀膜的的另一片厚透明导电膜玻璃制作电阻式触摸屏的触摸屏制作装置本实用新型电阻式触摸屏制作系统与传统的以素玻璃开始进行制作的现有系统相比,大大降低了素玻璃在真空镀膜时的破损率,有效地降低了电阻式触摸屏整体的制作成本。
  • 电阻触摸屏制作系统

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