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- [发明专利]定位方法及装置-CN202010400906.8在审
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许青波
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苏州能讯高能半导体有限公司
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2020-05-13
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2021-11-19
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H01L21/68
- 本发明提供了一种定位方法及装置,涉及定位加工技术领域。定位方法包括:在已知坐标系内固定待加工工件,待加工工件包括待定位面;沿垂直于待定位面的方向,对待加工工件进行图像采集,从而获得投影图像信息;根据投影图像信息,获得待加工工件的投影的轮廓信息,以及待加工工件的投影的轮廓的中心坐标信息;移动待加工工件,以使待加工工件的投影的轮廓的中心坐标与预设坐标相同;转动待加工工件,以使待加工工件的投影的轮廓与预设轮廓对应。该过程中通过图像采集的方式标记待加工工件,然后将其中心移动到预设的位置,并且使其朝向也符合预设要求,定位过程准确,相比于人工定位的方式,该种定位方法定位准确率更高。
- 定位方法装置
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