专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种用于离子注入机的晶片缺口定位结构-CN202310486184.6有效
  • 孙小冬;王维;宋振海 - 无锡翔域半导体有限公司
  • 2023-05-04 - 2023-10-10 - H01L21/68
  • 本发明提供一种用于离子注入机的晶片缺口定位结构,属于半导体制造领域,包括离子注入机本体,所述离子注入机本体一侧的底部设置有驱动装置,所述驱动装置的中间设置有第一电机,所述第一电机前后两侧的底部均固定连接有连接件,两个所述连接件与所述驱动装置螺纹连接。通过在离子注入机本体一侧设置第一电机,第一电机通过第一转轴对放置组件进行转动,而第一转轴通过第一支撑板对放置盘、调整组件和下压组件进行支撑,放置组件与调整组件配合,放置盘和下压组件配合,且两者通过皮带进行传动,便可稳定的对晶片进行支撑,避免在对晶片缺口定位时由于晃动等情况导致位置发生偏斜,影响对晶片的加工。
  • 一种用于离子注入晶片缺口定位结构
  • [发明专利]一种离子注入机用离子源固定机构-CN202311006830.0在审
  • 孙小冬;王维;宋振海 - 无锡翔域半导体有限公司
  • 2023-08-11 - 2023-09-19 - H01J37/08
  • 本发明涉及离子注入机技术,用于解决离子源固定机构拆卸耗费时间,固定结构易遗失,拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题,具体为一种离子注入机用离子源固定机构,包括旋转底板;本发明通过下滑动块在自身重力作用下,且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑,防止对连接线造成拉扯损伤,并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理,减小散乱的连接线占用空间的同时,便于工作人员对各段连接线的检查,通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动,传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作,使对离子源的拆卸时间得到缩短,且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失的情况。
  • 一种离子注入离子源固定机构
  • [发明专利]一种用于铝离子注入机的激光预热装置-CN202310357164.9在审
  • 孙小冬;王维;宋振海 - 无锡翔域半导体有限公司
  • 2023-04-06 - 2023-08-22 - C23C14/54
  • 本发明涉及半导体器件制造设备技术领域,具体为一种用于铝离子注入机的激光预热装置,包括真空室、安装架和活动架,所述真空室的顶部设置有安装架,所述安装架顶部的两侧均设置有激光发生器,所述安装架的内部设置有调节机构。本发明通过利用在安装架上设置的两个激光发生器,通过调节机构对激光发生器发射出来的激光进行调节,使激光稳定的落在半导体产品表面待加工的区域进行预热处理,从而提高离子的注入效率,并且在对光路进行调整时,通过第一导光架、第二导光架和第三导光架将光路送入对中架的内部,光路穿过对中架内部的透镜射向半导体产品的表面,对半导体产品的表面进行预热处理,进而有效提高对半导体产品的铝离子注入效率。
  • 一种用于离子注入激光预热装置

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