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[发明专利]减压干燥装置-CN200710159744.8无效
发明人：八寻俊一;坂井光广;坂本贵浩 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并防止转印痕迹附着在基板上的涂敷膜上。该减压干燥单元(VD)(46)通过搬入侧滚轴搬送路(104)的滚轴搬送和台(122)上的浮起式辊搬送，将应接受减压干燥处理的基板G搬入腔室(106)中，通过台(122)上的浮起式辊搬送路的浮起式辊搬送和搬出侧滚轴搬送路(110)的滚轴搬送，将在腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G向腔室(106)外搬出。在减压干燥处理中，基板G以面接触状态载置在台(122)的上面。
减压干燥装置

[发明专利]基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置-CN201110340266.7无效
发明人：古田诚;仲子透;山崎哲也 -专利权人：株式会社安川电机
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉
基板搬送用手具有装置

[发明专利]元件安装装置-CN201110005795.1有效
发明人：藤章至;小峰正道 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2011-01-07 - 公布日： 2011-07-13 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：该元件安装装置(100)包括：第一搬送路(11)；第二搬送路(12)；设置于第一搬送路(11)侧，能够对第一搬送路(11)上的第一基板(110)及第二搬送路(12)上的第二基板(120)安装电子元件的第一头部组件(2)；设置于第二搬送路(12)侧，能够对第一搬送路(11)上的第一基板(110)及第二搬送路(12)上的第二基板(120)安装电子元件的第二头部组件(3)；以及基于基板信息、时间信息以及设备信息，从非同步搬送独立安装模式和非独立安装模式中选择适合的安装模式的安装模式选择部
元件安装装置

[发明专利]涂布、显像装置和涂布、显像方法-CN200610003290.0有效
发明人：石田省贵;中原田雅弘;山本太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-02-08 - 公布日： 2006-08-16 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种涂布、显像装置，在将抗蚀剂涂布在基板上、液浸曝光后的基板进行显像时，能够抑制微粒污染。该涂布、显像装置构成为具有：设置有涂布抗蚀剂的涂布单元和供给显像液并显像的显像单元的处理区；和与进行液浸曝光的曝光装置连接的接口部，上述接口部具有基板清洗单元、第一搬送机构和第二搬送机构。通过第一搬送机构将曝光后的基板搬送到基板清洗单元，通过第二搬送机构搬送由该清洗单元清洗后的基板，因此可避免微粒再次附着，能够防止微粒污染扩散至处理区的各处理单元和各处理单元所处理的基板。
涂布显像装置方法

[发明专利]基板处理装置以及物品制造方法-CN202310187214.3在审
发明人：吉田宏二;岸本克史 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置以及物品制造方法。基板处理装置具备：多个处理部；搬送机构，其在所述多个处理部之间搬送基板；以及控制部。所述多个处理部包括：涂布部，其将成膜溶液涂布于基板；干燥部，其使由所述涂布部涂布于基板的成膜溶液干燥，所述控制部判断是否能够从由所述涂布部对处理基板开始涂布成膜溶液起在既定时间内由所述搬送机构将所述处理基板搬送到所述干燥部，在判断为能够进行该搬送的情况下，所述控制部控制所述涂布部，使得将成膜溶液涂布于所述处理基板。
处理装置以及物品制造方法

[发明专利]基板处理装置和基板搬送位置调整方法-CN202210281422.5在审
发明人：高良穣二;佐藤秀彦;长畑寿;木村友里 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开涉及一种基板处理装置和基板搬送位置调整方法。基板处理装置具备：工艺模块，其包括载置台和边缘环，载置台设置于腔室的内部且具有第一载置面和第二载置面，边缘环载置于第二载置面；测定部，其测定基板的蚀刻速率；以及控制部，控制部进行控制以在特定的处理条件下将基板搬送到第一载置面的不同的搬送位置，并对每个搬送位置蚀刻基板；控制部针对每个搬送位置从测定部获取基板的端部附近的处于基板的同心圆上的多个地点处的蚀刻速率，基于获取到的每个搬送位置的各蚀刻速率的来生成同心圆的周向的各个近似曲线，控制部基于所生成的每个搬送位置的近似曲线来分别计算表示基板的移动方向的线性式
处理装置基板搬送位置调整方法

[发明专利]基板制造装置和印刷机-CN201210111696.6有效
发明人：小林基记 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2012-04-16 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明提供基板制造装置和印刷机。该基板制造装置包括：彼此相邻的第一作业装置和第二作业装置；以及控制第一作业装置的动作的控制部。第一作业装置包括：搬送基板的基板搬送部；以及对基板搬送部搬送的基板进行指定的作业的作业机构部。基板搬送部及作业机构部在形成于它们之间且连通至第二作业装置侧的间隙成为指定值以下的换产调整时位置、与该间隙超过该指定值的位置之间能够相对移动，当第二作业装置动作中进行第一作业装置的换产调整时，控制部使基板搬送部和作业机构部中的至少一者移动以使基板搬送部和作业机构部位于该换产调整时位置
制造装置印刷机

[实用新型]一种搬送装置-CN201820289468.0有效
发明人：赵诚诚;钱静娴;周健 -专利权人：张家港康得新光电材料有限公司
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型属于搬送设备技术领域，公开了一种搬送装置，包括：底座；支撑组件，所述支撑组件设置在所述底座上；吸附件，所述吸附件设置在所述支撑组件上，用于吸附待搬送物件；所述搬送装置还包括抽气组件，所述抽气组件与所述吸附件相连通通过上述搬送装置，可直接通过抽气组件对吸附件处抽气，使得吸附件产生负压将待搬送物件吸附，随后即可取出待搬送物件，无需作业人员手动搬出待搬送物件或手持待搬送物件进行检查，提高了检查效率以及生产效率。而且对于基板类待搬送物件，在进行基板的检查时，通过上述搬送装置，能够避免基板因错位导致的漏光、漏液、穿刺等不良现象的发生，减少了生产过程因基板变形导致的浪费。
物件搬送装置吸附件抽气组件支撑组件基板吸附底座本实用新型搬送设备不良现象基板变形生产过程生产效率穿刺检查基板因搬出抽气负压漏光漏液错位取出

[发明专利]搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置-CN202111373493.X有效
发明人：涩谷孝史 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置。提供防止成膜不良、搬送辊的动作不良的效果高的、设置于直列型的成膜装置的搬送辊的集尘罩。一边搬送基板一边成膜的直列型的成膜装置的搬送装置具备：多个搬送辊，搬送被载置的基板；以及集尘罩，针对多个搬送辊中的每一个设置，并包围搬送辊，集尘罩包括：前面部，在搬送辊的轴向上覆盖搬送辊的基板侧的侧面；以及上面部，覆盖搬送辊的上侧，上面部具有使搬送辊的上方周面露出的开口部。
装置方法电子器件制造以及

[发明专利]基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法-CN201080049093.7有效
发明人：河江国博;柳川卓也 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-10-28 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部
基板搬送装置曝光支持元件制造方法

[发明专利]基板搬送系统、电子设备的制造装置及电子设备的制造方法-CN201811561559.6有效
发明人：佐藤功康 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的基板搬送系统从第1装置向中继装置搬送基板，并从上述中继装置向第2装置搬送基板，上述中继装置包括：容器；基板载置台，该基板载置台设置在上述容器内，用于载置基板；以及用于使上述基板载置台移动的基板载置台驱动机构，上述基板搬送系统包括：上述中继装置；位置信息取得机构，该位置信息取得机构取得表示基板相对于上述容器的位置的基板位置信息；以及控制机构，该控制机构用于基于上述基板位置信息来控制上述基板载置台驱动机构。
基板搬送系统电子设备制造装置方法

[发明专利]基板处理装置以及基板搬送方法-CN200710091404.6有效
发明人：西出信彦 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-03-28 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置和基板搬送方法，该基板处理装置包括：基板保持旋转机构，其用于保持并旋转基板；定位构件，其设在该基板保持旋转机构上，用于将基板定位在规定的基板保持位置；基板搬送机构，其将基板递交给到上述基板保持旋转机构；推压单元，其设在该基板搬送机构上，将基板推向上述定位构件。
处理装置以及基板搬送方法

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法及记录介质-CN201680044904.1有效
发明人：上村大义;伊藤刚;谷山智志 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的课题在于缩短搬送室内的氧浓度的降低时间。本发明的基板处理装置具有：搬送室，其从收容基板的收纳容器搬送上述基板；净化气体供给机构，其对搬送室内供给净化气体；以及压力控制机构，其设置于排放搬送室内的环境气体的排气路，并控制搬送室内的压力，压力控制机构具有：排气挡板，其使排气路全开或全闭；以及调整挡板，其设置在排气挡板内，且将搬送室内保持为预定的压力。
处理装置半导体制造方法记录介质

[发明专利]基板制造装置及基板制造方法-CN201811248191.8有效
发明人：中森靖仁;礒圭二;冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
制造装置方法

[发明专利]基板制造装置及基板制造方法-CN201280037448.X在审
发明人：中森靖仁;礒圭二;冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H05K3/28 文献下载
摘要：本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
制造装置方法