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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质-CN201810502488.6有效
发明人：社本光弘;下山正;长井瑞树;中田勉 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质，镀覆装置实现设想今后将需求的高镀覆品质的至少一部分，并且进而对多个基板进行镀覆。镀覆装置具有可保持多个基板的基板固持器、及可保持多个阳极的阳极固持器。多个阳极各自是与对应的基板相向地配置。将调节板设于阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间。调节板具有在阳极与基板之间流动的电流能穿过的筒状的贯穿部。针对虚设基板，在阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间设有封闭部。封闭部中，可在可保持的阳极与可保持的基板之间流动的电流无法穿过。
镀覆装置暂时性计算机可读存储介质

[发明专利]用于真空加工系统中的基板放置的方法和设备-CN201310243221.7无效
发明人：马库斯·波佩勒;马可·绍尔;安德烈亚斯·京茨勒 -专利权人： TEL太阳能公司
申请日： 2013-06-19 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及用于使基板相对于基板固持器对准的方法和设备。基板在第一方向上移动到相对于基板固持器的某一位置。使基板固持器移动以便经由可以与第一方向垂直的第二方向上的旋转移动和平移移动中的一个或更多个移动与基板对准，使得基板和基板固持器对准。一旦对准，则基板按期望的位置或设置安置在基板固持器上。
用于真空加工系统中的放置方法设备

[发明专利]垂直基板固持器-CN201780084281.5有效
发明人：布莱斯·帕特里克·巴特勒;詹姆斯·格雷戈里·科伊拉德;明煌·黄;迈克尔·艾伦·麦克唐纳;唐纳德·林恩·普雷瑟;传奇·王 -专利权人：康宁公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本文说明用于将基板固持在接近垂直的位置中的设备，其中所述设计最小化基板下陷(substrate sag)，同时允许基板在变化的热条件下膨胀与收缩。设备最小化基板上的应力，在基板经受涂布与其他热处理的同时防止基板断裂或受损。
垂直基板固持器

[发明专利]物体搬运装置及方法、曝光装置及方法、平板显示器的制造方法、元件制造方法-CN201680020622.8有效
发明人：青木保夫;长岛雅幸;山中贵裕 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。
物体搬运装置方法曝光平板显示器制造元件

[发明专利]冷成形玻璃制品和其组装工艺-CN201780041822.6有效
发明人：阿图尔·库马尔;成重·李;威廉·迈克尔·赛德曼;娅微·孙 -专利权人：康宁公司
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本案公开了一种制品的实施例，其包括弯曲形状的冷成形玻璃基板、多个分离的机械固持器和框架。冷成形玻璃基板具有第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面。在又一个实施例中，多个分离的机械固持器附接冷成形玻璃基板的第二主表面。机械固持器可附接于框架以界定多个机械固持器中的每一个的位置，使得机械固持器界定弯曲形状。还提供形成这种制品的工艺的实施例。这样的工艺可以包括将多个分离的机械固持器附接柔性玻璃基板，使得玻璃基板保持其柔性，并将机械固持器附接框架，使得附接至框架的机械固持器界定用于柔性玻璃基板的冷成形弯曲形状。
成形玻璃制品组装工艺

[发明专利]用于多个基板的固持器和具有该固持器的腔室-CN201110166499.X有效
发明人：崔政焕;朴景雄 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2004-08-27 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在位于一单个腔室中的彼此独立的复数个基板上执行相同或不同处理的基板固持器和一种装配有该基板固持器的腔室。根据本发明，提供一种用于固定复数个基板的基板固持器。该基板固持器包括用于注射气帘气体以将该等复数个基板彼此分隔开的复数个喷嘴。
用于多个基板固持器具有

[发明专利]用于多个基板的固持器和具有该固持器的腔室-CN200410057328.3有效
发明人：崔政焕;朴景雄 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2004-08-27 - 公布日： 2005-03-23 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在位于一单个腔室中的彼此独立的复数个基板上执行相同或不同处理的基板固持器和一种装配有该基板固持器的腔室。根据本发明，提供一种用于固定复数个基板的基板固持器。该基板固持器包括用于注射气帘气体以将该等复数个基板彼此分隔开的复数个喷嘴。
用于多个基板固持器具有

[发明专利]电镀装置-CN201811592104.0有效
发明人：社本光弘;中田勉;下山正 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C25D17/12 文献下载
摘要：本发明是使在多边形基板上电镀的膜的面内均匀性提高。电镀装置包括以保持阳极的方式而构成的阳极固持器、以保持多边形基板的方式而构成的基板固持器、以及设置在阳极固持器与基板固持器之间的调节板。调节板包括具有遵循多边形基板的外形的第一多边形开口的本体部、以及从第一多边形开口的边缘朝向基板固持器侧突出的壁部。壁部在包含第一多边形开口的边的中央部的第一区域内朝基板固持器侧跨第一距离而突出，在包含第一多边形开口的角部的第二区域内被切缺，或者朝向基板固持器侧跨小于第一距离的第二距离而突出。
电镀装置

[发明专利]镀覆装置的调整方法及测定装置-CN201610437228.6有效
发明人：藤方淳平;下山正;荒木裕二;长井瑞树 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供一种不实施镀覆处理，而可取得基板固持器、阳极固持器、调整板及/或桨叶的位置调整量的镀覆装置的调整方法及测定装置。本发明提供一种镀覆装置的调整方法，具有构成能保持基板固持器、阳极固持器和电场调整板的镀覆槽。该镀覆装置的调整方法具有：在镀覆槽的设置前述基板固持器的位置设置第一治具的工序；在镀覆槽的设置阳极固持器或电场调整板的位置设置第二治具的工序；使用具备第一治具及第二治具的一方的传感器测定设置于镀覆槽的第一治具与第二治具的位置关系的工序；及依据所测定的位置关系调整基板固持器、阳极固持器或电场调整板的设置位置的工序。
镀覆装置调整方法测定

[发明专利]执行器、机器人及基板转运方法-CN202210406642.6在审
发明人：刘晓刚;曹斌;金俊杰;王健;宋建业;李建松 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本申请涉及本申请涉及执行器、机器人及基板转运方法，其中，执行器，包括：安装座；多个固持臂，多个固持臂均安装在安装座上，且至少两个固持臂具有第一距离和第二距离，第二距离大于第一距离，固持臂包括固持臂主体和固持结构，各固持臂主体上均设置有固持结构，以使单独的固持臂对目标物形成固持。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的基板由于变形而导致的损坏的问题。
执行机器人转运方法

[发明专利]位置检测传感器单元以及位置检测传感器单元的制造方法-CN202080054859.4在审
发明人：松井孝典;坂上美佳 -专利权人：株式会社美姿把
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H02K29/08 文献下载
摘要：本发明提供一种位置检测传感器单元以及位置检测传感器单元的制造方法，可高精度地保持电路基板，并且抑制零件数。本发明的位置检测传感器单元6具有固持器外壳45及传感器基板固持器46。传感器基板固持器46具有基板插入槽，且具有握持传感器线连接部的侧部的、基板握持部。固持器外壳45具有：第一基板收容部81，收容插入部34的顶端34a；以及第二基板收容部82，收容插入部34的基部34b。第二基板收容部82相较于第一基板收容部81，以插入部34作为起点的径向内侧的宽度设定得更宽。
位置检测传感器单元以及制造方法

[发明专利]定向腔室及处理基板的方法-CN201910575176.2有效
发明人：洪伟华 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及一种定向腔室以及一种处理一基板的方法。本公开实施例提供一种半导体基板处理系统的定向腔室。定向腔室包括基板固持座、定向检测器及吹扫系统。基板固持座配置以固持基板。定向检测器配置以检测基板的定向。吹扫系统配置以将清洁气体注入定向腔室中并从基板上移除污染物。
定向处理方法

[实用新型]线缆连接器-CN201120244768.5有效
发明人：高磊;杨兵涛;吴迎龙;陈明江 -专利权人：富港电子(东莞)有限公司;正崴精密工业股份有限公司
申请日： 2011-07-01 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01R13/73 文献下载
摘要：本实用新型公开一种线缆连接器，由母端连接器及公端连接器组成，其中，该母端连接器包括一绝缘座体、若干个固设在绝缘座体上的母端端子及至少一固持件；绝缘座体具有半封闭的收容空间，包括底板、位于底板相对两侧的侧板以及位于底板后方的背板，底板下表面左右至少一侧分别向下贯穿开设有一固持槽，固持槽前后两侧槽壁下端分别相内相对延伸形成一挡持部；固持件收容于固持槽内，其具有一基板及一由基板中部向下冲压形成的焊接弹片，基板收容于固持槽内且挡持于挡持部上表面通过增设固持件，有利于实现线缆连接器的小型化。
线缆连接器

[发明专利]用于化学机械平坦化后的基板清洗的方法及设备-CN201480006171.3有效
发明人： S-H·高;L·卡鲁比亚 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：提供一种在化学机械平坦化(CMP)之后清洗基板的方法及设备。该设备包含壳体；可在第一轴上旋转并被配置以将基板保持在大致垂直的方向的基板固持件；具有垫保持表面的第一垫固持件，该垫保持表面以平行和间隔开的关系面向该基板固持件，该第一垫固持件可在第二轴上旋转，该第二轴平行于该第一轴设置；可被操作来相对于该基板固持件移动该垫固持件的第一致动器，以改变该第一轴和该第二轴之间的距离；以及设置于该壳体中的第二垫固持件，该第二垫固持件具有垫保持表面，该垫保持表面以平行和间隔开的关系面向该基板固持件，该第二垫固持件可在第三轴上旋转，该第三轴平行于该第一轴和该第二轴。
用于化学机械平坦清洗方法设备

[发明专利]散热装置-CN00138080.X无效
发明人：米山厚;余宏基 -专利权人：富士康(昆山)电脑接插件有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2000-12-25 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：一种用在微处理器上的散热装置包括散热器和固持机构，其中散热器具有若干散热片、设在散热器上的收容部及由散热器四周向外延伸的固定部。固持机构包括固定架、基板和顶杆，其中固定架具有两相对的固持板及连接固持板的连接板，固持板压持在上述固定部上，设有固定体和卡扣在散热器边缘的卡扣部。基板设有容纳上述固定体的固持部，该固持部上具有凹口。
散热装置

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