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- [发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法-CN202110746539.1有效
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青木保夫
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株式会社 尼康
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2017-09-29
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2023-09-19
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G03F7/20
- 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
- 曝光装置平板显示器制造方法以及元件
- [发明专利]曝光装置以及制造方法-CN202310794992.9在审
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青木保夫
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株式会社尼康
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2020-03-12
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2023-08-25
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G03F7/20
- 本发明提供一种曝光装置以及制造方法。为了实现装置的小型化，即占用区域的窄小化，曝光装置包括：光学系统，照射基板；载台装置，一边保持基板一边移动；保持部，保持基板；腔室，收容光学系统、载台装置及保持部；以及控制装置，使载台装置移动。载台装置包括保持装置。保持部在基板位于腔室的开口内时位于能够保持基板的位置。控制装置在载台装置位于保持部下方的状态下，使保持装置保持通过保持部而被保持的基板中不与曝光区域重叠的部分，使保持装置能够从保持部接收基板，在基板的所述部分被保持装置保持的状态下，移动载台装置使载台装置自保持部远离，且一边使保持基板的载台装置相对于光学系统移动，一边使光学系统照射基板。
- 曝光装置以及制造方法
- [发明专利]曝光装置、平板显示器制造方法以及元件制造方法-CN202080036828.6有效
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青木保夫
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株式会社尼康
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2020-03-12
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2023-07-21
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G03F7/20
- 本发明提供一种曝光装置、平板显示器制造方法以及元件制造方法。为了实现装置的小型化(占用区域(footprint)的窄小化)，曝光装置(100)包括：曝光装置本体(10)；腔室(200)，收容所述曝光装置本体；基板保持部(160)，接纳并保持由所述腔室(200)外的外部搬送机器人(300)搬送而来的基板(P)，且设在所述腔室内；以及基板交接装置(140)，进行所述基板(P)从所述外部搬送机器人(300)向所述基板保持部(160)的交接、所述基板(P)从所述基板保持部(160)向所述曝光装置本体(10)所具有的保持装置(28)上的交接、所述基板(P)从所述保持装置(28)上向所述外部搬送机器人(300)的交接。
- 曝光装置平板显示器制造方法以及元件
- [发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法-CN202110361410.9有效
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青木保夫
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株式会社 尼康
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2017-09-29
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2023-05-16
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G03F7/20
- 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
- 移动装置曝光平板显示器制造方法
- [发明专利]基板的更换装置-CN201810026949.7有效
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青木保夫
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株式会社 尼康
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2012-05-11
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2023-05-02
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H01L21/677
- 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。
- 更换装置
- [发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法-CN201780095240.6有效
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青木保夫
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株式会社尼康
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2017-09-29
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2022-08-26
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G03F7/20
- 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法。基板搬运装置(100A)，向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运基板(P2)。基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在保持装置上方保持基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向保持面(TS)与基板保持面之间的位置，保持经第一保持部(161A)保持的基板(P2)的一部分；驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，在第二保持部(184a)保持基板(P2)的一部分的状态下，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)相对移动。
- 搬运曝光装置方法平板显示器元件制造
- [发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法-CN201780095324.X有效
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青木保夫
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株式会社尼康
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2017-09-29
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2022-08-16
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G03F7/20
- 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，基板搬运装置(100A)，将基板(P2)搬运至保持装置的保持面(TS)，且包括：第一保持部(161A)，在保持装置上方保持基板；第二保持部(184a)，保持经第一保持部(161A)保持的基板的一部分；及驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)向沿着保持面(TS)的既定方向相对移动；且第一保持部(161A)在驱动部(164)进行的相对移动中，以基板中经第一保持部(161A)保持的区域的上下方向的位置靠近保持装置的方式保持基板。
- 搬运曝光装置方法平板显示器元件制造
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