[发明专利]一种薄膜电容的显示装置及其存储单元的制造方法在审
| 申请号： | 202111475914.X | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114038837A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张勇;徐明强 | 申请（专利权）人： | 南通百正电子新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L23/31;H01L23/29;H01L21/311;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李新林 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜电容的显示装置及其存储单元的制造方法，一种薄膜电容的显示装置，包括基板，所述基板上表面设有多个电容本体，多个所述电容本体上表面覆设有绝缘薄膜，所述绝缘薄膜为聚酰亚胺薄膜，所述绝缘薄膜上表面覆设有防护膜，所述防护膜采用AR合成保护膜，所述防护膜表面开设有多个散热孔。本发明通过设置绝缘薄膜，对电容本体进行有效绝缘保护，防止电容本体出现漏电，并通过设有一层非常薄的防护膜，提高薄膜电容整体的韧性，通过控制湿法刻蚀与等离子刻蚀的比例，能够更加高效得到精度较高的蚀刻图案，从而能够在存储单元生产过程中提高刻蚀的效率，缩短工艺耗时的同时保证刻蚀的精度，进一步提高了存储单元生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电容 显示装置 及其 存储 单元 制造 方法 | ||
【主权项】：
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