[发明专利]半导体封装装置及其制造方法在审
| 申请号: | 202110817980.4 | 申请日: | 2021-07-20 | 
| 公开(公告)号: | CN113594129A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 | 
| 发明(设计)人: | 吕文隆 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 | 
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 | 
| 代理公司: | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人: | 唐华东 | 
| 地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 台湾;71 | 
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| 摘要: | 本公开涉及半导体封装装置及其制造方法。该半导体封装装置包括:基板,具有相对的第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面之间具有至少两个导电层,所述至少两个导电层中相邻两个导电层之间具有第一绝缘层,其中一导电层对应设置有一开口;导孔,穿过所述开口,所述导孔的外壁与所述开口的边缘之间设置有绝缘层。通过在导孔的外壁与开口的边缘之间设置绝缘层,减少导孔在实际制程中因对位误差导致与导电层发生电连接的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 封装 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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