[发明专利]半导体封装结构在审
| 申请号： | 202010704682.X | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113889453A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨瑞纹;赖信诚;冯捷威;王泰瑞;锺育华;丁子洋 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L23/538;H01L23/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体封装结构，其包括重布线层结构、芯片、电子组件以及应力补偿层。所述重布线层结构具有相对的第一表面与第二表面。所述芯片设置于所述重布线层结构的所述第一表面上，且与述重布线层结构电连接。所述电子组件设置于所述重布线层结构中，与所述芯片电连接，且包括设置于其中的介电层。所述应力补偿层设置于所述重布线层结构中或上。所述介电层在垂直于所述第二表面的第一方向上提供50Mpa至200Mpa之间的第一应力，所述应力补偿层在与所述第一方向相反的第二方向上提供50Mpa至200Mpa之间的第二应力，且所述第一应力与所述第二应力之间的差不超过60Mpa。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 封装 结构 | ||
【主权项】：
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