[实用新型]大气颗粒物的等离子体电离装置有效

专利信息
申请号: 201820697034.4 申请日: 2018-05-10
公开(公告)号: CN208336147U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 刘冉冉;王自发;朱地 申请(专利权)人: 中国科学院大气物理研究所
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J49/02
代理公司: 北京市盛峰律师事务所 11337 代理人: 梁艳
地址: 100029 北京市朝*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种大气颗粒物的等离子体电离装置,涉及质谱分析技术领域。装置包括空气动力学透镜和等离子体电离源,在使用过程中,含有颗粒物例如气溶胶的空气样品首先在真空作用下被吸入空气动力学透镜,颗粒成为一束后进入内电极,气体小分子被真空泵抽走,避免了气体的干扰,提高了颗粒物的采集效率和离子化效率;同时,将样品管路末端作为等离子体发生装置的内电极,增加了样品与等离子体的接触时间,提高了离子化效率;另外,通过在绝缘管末端增加一层滤膜,提高了颗粒物的离子化效率,减少了碎片离子,得到的离子可以直接进入质谱仪的进样口进行检测。所以,本实用新型提供的装置可以与质谱结合进行气溶胶等样品中物质的定性和定量分析。
搜索关键词: 等离子体电离 离子化效率 颗粒物 透镜 本实用新型 大气颗粒物 内电极 气溶胶 等离子体发生装置 等离子体 质谱分析技术 空气动力学 定量分析 空气样品 碎片离子 吸入空气 样品管路 真空作用 动力学 进样口 绝缘管 小分子 真空泵 质谱仪 滤膜 质谱 离子 定性 采集 检测
【主权项】:
1.一种大气颗粒物的等离子体电离装置,其特征在于,包括空气动力学透镜和等离子体电离源,所述等离子体电离源包括内电极、绝缘管、外电极、放电气体管路和交流电源,所述空气动力学透镜的出口与所述内电极的入口端连通,且所述空气动力学透镜与所述内电极的连通处设置有真空泵,所述内电极套设在所述绝缘管内,位于所述内电极出口处的所述绝缘管外壁上包裹有所述外电极,所述交流电源连接在所述内电极和所述外电极之间,所述放电气体管路与所述绝缘管的入口处垂直连通,所述放电气体管路中通过的放电气体在所述内电极和所述绝缘管之间的空隙中流动,所述绝缘管的出口处设置有滤膜,所述绝缘管出口处的气压低于所述内电极的入口处的气压。
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  • 实施方式包括模块化高频发射源。在一个实施方式中,所述模块化高频发射源包括多个高频发射模块,其中每个高频发射模块包括振荡器模块、放大模块和施加器。在一个实施方式中,所述振荡器模块包括电压控制电路和电压受控的振荡器。在一个实施方式中,所述放大模块耦接到所述振荡器模块。在一个实施方式中,所述施加器耦接到所述放大模块。在一个实施方式中,每个高频发射模块包括不同的振荡器模块。
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  • 本文描述的实施方式包括一种处理工具,所述处理工具包括处理腔室、用于支撑所述处理腔室中的基板的吸盘、形成所述处理腔室的一部分的介电窗、以及模块化高频发射源。在一个实施方式中,所述模块化高频发射源包括多个高频发射模块。在一个实施方式中,每个高频发射模块包括振荡器模块、放大模块和施加器。在一个实施方式中,所述放大模块耦接到所述振荡器模块。在一个实施方式中,所述施加器耦接到所述放大模块。在一个实施方式中,所述施加器定位在所述介电窗附近。
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