[发明专利]一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置及其侦测方法在审
| 申请号： | 201711242825.4 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107984374A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈智 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/04;B24B49/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 严罗一 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置，包括底座、固定于底座上表面的研磨垫和设置于所述研磨垫上方的研磨垫修整器，所述研磨垫修整器包括修整头、与修整头连接的修整器摇臂和与所述修整器摇臂连接的修整器转轴，还包括一小研磨头；一检测窗；一激光光源；一激光探测器。以及一种采用本发明的化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置的实时侦测方法。本发明利用小晶圆结合终点检测的方法测量研磨速率，可在生产的过程中研磨或修整研磨垫时测量速率，避免停机测量对产能的浪费，而且测量的速率可用于下一片即将研磨的产品片，滞后较小，所测速率更能准确反映实际产品片速率的快慢，从而得到准确的研磨时间和厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 研磨 速率 实时 侦测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置，包括底座、固定于底座上表面的研磨垫和设置于所述研磨垫上方的研磨垫修整器，所述研磨垫修整器包括修整头、与修整头连接的修整器摇臂和与所述修整器摇臂连接的修整器转轴，其特征在于：还包括一小研磨头，水平设置，所述小研磨头上端连接所述修整器摇臂下表面，所述小研磨头下表面略高于所述研磨垫上表面，并在小研磨头下表面设置容纳小硅片的容纳腔；一检测窗，竖直设置，设置于研磨垫的竖直通孔内，所述检测窗的上下表面与所述研磨垫上下表面齐平，所述检测窗为透光材质；一激光光源，设置于底座内，所述激光光源位于所述检测窗正下方，用以发射激光透过检测窗照射到小硅片的上表面和下表面分别发生反射和折射；一激光探测器，设置于激光光源底部，用以接收激光的反射和折射光信号。
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- 2018-09-13 - 2019-05-24 - B24B37/005
- 本实用新型提供一种研磨教示装置。该研磨教示装置用于实施在对车辆顶板外端部的沟槽中的硬焊接合部进行研磨时，将研磨盘引导至与硬焊接合部相抵接的研磨开始位置的第一教示操作、及引导研磨盘从研磨开始位置沿着沟槽移动到研磨结束位置的第二教示操作，具备引导构件和光源，引导构件被构成为圆锥筒形状，被支撑为能绕其中心轴线旋转，并且，引导构件以大径侧端面与研磨盘的一个面相重叠的状态保持着研磨盘，光源被安装在引导构件上，并从引导构件的中心侧朝着径向外侧发光，在进行研磨时照射着沟槽。采用该研磨教示装置能使教示操作简单易行，并能提高教示的准确度。
- 一种用于芯片条研磨的加料装置-201821561652.2
- 付业民;郭寂波 - 深圳市劲升迪龙科技发展有限公司
- 2018-09-25 - 2019-05-21 - B24B37/005
- 本实用新型公开了一种用于芯片条研磨的加料装置，包括皮带尺、限位板、支撑板、控制面板和旋转轴，所述支撑板内部的两侧皆设有旋转轴，所述支撑板的外侧壁上安装有控制面板，控制面板两侧支撑板外壁的两端皆固定有接触板，所述接触板远离支撑板一侧的表面皆安装有支撑架，所述电机的输出端通过联轴器固定有转轴，挡板内部的支撑板顶端设有皮带尺，所述皮带尺的顶端固定有等间距的底板，底板顶端的两侧皆安装有限位板，所述限位板两侧的底板顶端皆固定有第一单向伸缩杆，所述限位板之间的底板顶端安装有推块。本实用新型不仅扩大了加料装置的使用范围，提高了加料装置的实用性，而且提高了加料装置的实用性。
- 一种多维光纤研磨系统-201910163892.X
- 魏勇;赵晓玲;张楷;吴萍;胡江西;苏于东 - 重庆三峡学院
- 2019-03-05 - 2019-05-14 - B24B37/005
- 本发明属于光纤研磨领域，主要涉及一种多维光纤研磨系统，包括：电控三维位移台、电控转动机构、光纤夹持装置、冷凝装置、冷凝介质添加器、光纤研磨机、光纤端面监视装置、计算机，通过冷凝装置对光纤夹持装置内部的液体制冷凝固，使得光纤整体被液体密封能够有效的防止在研磨过程中因为夹持不牢固所导致的光纤断裂或磨损的情况，利用计算机调节电控三维位移台使得光纤能够在光纤研磨盘上实现X、Y、Z方向上的三维平动，通过计算机可调节电控转动机构使光纤端面相对光纤研磨盘面转动，并在研磨过程中通过光纤端面监视装置对研磨过程进行实时的精密监测以制备出多种端面结构的光纤耦合器，进而提高光纤耦合器的效率或用于特种光纤传感。
- 一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法-201611214492.X
- 戴文俊 - 上海集成电路研发中心有限公司
- 2016-12-23 - 2019-04-23 - B24B37/005
- 本发明公开了一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法，利用声波在不同介质中传输速度的差异来具体量化研磨垫的使用寿命，通过超声波检测方式对研磨垫进行厚度测量，可得到当前研磨垫的厚度准确数据，从而能够实时检测研磨垫的磨损情况，使研磨垫得到充分的利用；本发明具有客观、直接确认研磨垫使用周期的优点。
- 加工装置-201821204209.X
- 冈本典彦 - 东京毅力科创株式会社
- 2018-07-27 - 2019-04-23 - B24B37/005
- 本实用新型提供一种能够准确地测量研磨载荷、对晶圆进行期望的加工的加工装置。其具有：多个卡盘，其用于保持基板；以及至少1个加工轴；在所述加工装置中，所述加工轴包括：加工部，其对所述基板进行加工；电动机，其使所述加工部旋转；电动机保持部，其保持所述电动机；以及升降机构，其使所述电动机保持部升降；所述电动机保持部由用于安装所述电动机的环部以及包围所述电动机的周围并与所述升降机构的升降轴相连接的罩体形成；在所述电动机和所述环部之间设置有用于调整所述电动机的倾斜状态的倾动机构以及至少3个载荷传感器S。
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