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[发明专利]一种快/热中子同时探测的金刚石探测器的制备方法-CN202310804330.5在审
发明人：刘金龙;牟恋希;王鹏;杨良禾;郭明明;李建林;李成明;魏俊俊;陈良贤;张建军 -专利权人：北京科技大学;河南飞孟金刚石股份有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种快/热中子同时探测的金刚石探测器的制备方法，属于半导体技术领域，辐射探测器制备技术，涉及具有共格界面金刚石与六方氮化硼复合结构的中子探测器制备方法。具体包括如下步骤：a)“探测器级”单晶金刚石材料的制备及处理；b)具有共格界面的金刚石六方氮化硼复合结构的制备；c)分区域镀制不同材料的金属电极；d)将探测器各自封装到相应的检测系统中。本发明通过构建具有共格界面金刚石六方氮化硼结构的中子探测器，能够分别实现对于热中子和快中子的收集，降低金刚石中子探测器的暗电流，显著提高了中子探测效率。
一种热中子同时探测金刚石探测器制备方法

[发明专利]一种大尺寸金刚石功能结构件的制备与加工方法-CN202310690168.9在审
发明人：刘金龙;李淑同;叶盛;王鹏;栗正新;黄珂;苗建印;陈良贤;魏俊俊;张建军;李成明 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：一种大尺寸金刚石功能结构件的制备与加工方法，属于金刚石材料与加工领域。通过将多片金刚石焊接与激光雕刻成型，形成满足功能和结构应用的大尺寸金刚石材料，工艺步骤为：1、采用化学气相沉积的方法制备金刚石膜，再对满足力学与热学性能要求的金刚石膜进行切割、退火、研磨、抛光和清洗，金刚石膜研磨抛光后表面粗糙度0.1‑1.5m；2、在经过预处理后的金刚石表面沉积过渡层和焊接金属层；3、采用焊接技术对表面金属化后的金刚石膜进行组装焊接，焊接得到大尺寸金刚石复合材料；4、采用三维结构建模与激光加工成型相结合的方法对上述金刚石复合材料进行复杂结构的加工，实现三维结构的雕刻，满足功能结构件的装配要求。
一种尺寸金刚石功能结构件制备加工方法

[发明专利]一种制备高质量金刚石的气体循环系统及其使用方法-CN201811146959.0有效
发明人：李成明;安康;陈良贤;贾鑫;魏俊俊;张建军;刘金龙 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：一种制备高质量金刚石的气体循环系统及使用方法，属于材料制备领域。气体循环系统包括直流喷射等离子体化学气相沉积系统、气体供给系统、尾气循环系统、气体纯化系统。气体供给系统为两台直流喷射等离子体化学气相沉积装置提供原料气。尾气循环系统可将沉积系统中的尾气抽出，并供给到由氢气提纯仪组成的气体纯化系统，尾气经过提纯之后分离出高纯氢气和含氩、碳元素的混合气，其中高纯氢气供给回沉积装置，含氩、碳尾气作为原料气供给到其中一台沉积装置中沉积热沉级金刚石，另一台沉积装置可以实现高纯气体的供给，沉积光学级金刚石膜。通过上述过程，实现高纯氢气的循环使用，既可满足高质量金刚石膜的制备需求，也可降低制备成本。
一种制备质量金刚石气体循环系统及其使用方法

[发明专利]一种在微结构衬底上沉积金刚石的方法-CN202210973814.8有效
发明人：魏俊俊;郝志恒;董春燕;杨志亮;刘金龙;陈良贤;李成明;高旭辉 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本发明涉及一种在微结构衬底上沉积金刚石的方法，特别是结构中包含热导率较高、凝聚系数较低的SiC，提供了一种通过调控微结构界面金刚石沉积速度而沉积出平整光滑的高质量金刚石层的方法。属于半导体技术和电子器件散热领域。本发明首先在抛光的硅衬底上镀制凝聚系数低的碳化硅薄膜；然后在碳化硅表面光刻显影实现图案化；然后通过ICP刻蚀制备微孔阵列；通过MPCVD沉积金刚石；最后对沉积的金刚石研磨抛光，使其表面平整化。该方法特别适用于集成电路、芯片等电子电器领域中对高效微通道散热的需求。
一种微结构衬底沉积金刚石方法

[发明专利]一种(100)/(111)取向复合的高性能金刚石半导体的制备方法-CN202210878345.1有效
发明人：刘金龙;赵上熳;产思义;牟恋希;王鹏;郑宇亭;陈良贤;魏俊俊;欧阳晓平;李成明 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：一种(100)/(111)取向复合的高性能金刚石半导体的制备方法，属于金刚石半导体材料领域。工艺步骤为：a.筛选位错密度大于106/cm2的(100)金刚石晶种；b.利用等离子体刻蚀，使位错露头；c.通过生长工艺控制，实现高密度多晶点的形成；d.表面精密抛光，形成(100)和(111)取向复合的金刚石材料；e.通过掺杂外延生长或者氢化处理，实现(100)和(111)取向的差异化导电，形成载流子迁移率和载流子密度综合提升的金刚石半导体。本发明利用(100)单晶金刚石衬底的位错缺陷，并调控微波等离子体化学气相沉积技术生长工艺，使得形核生长成具有(111)择优取向的多晶金刚石，从而形成(100)与(111)取向复合的金刚石材料，对材料与工艺要求简单，具有工艺的普适性。
一种 100 111 取向复合性能金刚石半导体制备方法

[发明专利]一体化金刚石微空腔支柱阵列强化池热沉的制备方法-CN202310414692.3在审
发明人：魏俊俊;冯旭瑞;梁礼峰;王越;董春燕;韦欣怡;陈良贤;张建军;刘金龙;李成明 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明公开一体化金刚石微空腔支柱阵列强化池热沉的制备方法，所述方法采用研磨抛光双面金刚石自支撑板为基底，通过甩胶、曝光、显影、ICP刻蚀、激光切割获得表面带有微空腔支柱的金刚石底板；再将钼粉填充至底板的微空腔支柱内和支柱间隙且填充钼粉与底板外沿高度一致，以CVD技术继续生长金刚石，之后对底板进行封装使其具有一定的厚度；最终通过超声酸洗去除钼粉，获得一体化金刚石微空腔支柱阵列强化池热沉。该产品能够有效进行沸腾能量传递，在能量应用中具有巨大的效用。同时克服了长久以来的通过金刚石微通道提高散热的技术偏见，避免了现有技术中诸多降低散热效率的缺陷，进一步提高了HTC和CHF，利于工业大规模推广和使用。
一体化金刚石空腔支柱阵列强化池热沉制备方法

[实用新型]一种气泵阀芯的单工位气密测试仪-CN202223391206.0有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-18 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气泵阀芯的单工位气密测试仪，所述气密测试仪包括仪器壳体，充气泵，储气罐，电气比例阀，流量传感器，PLC控制系统，以及电气盒；本实用新型通过充气泵向储气罐充气，之后在电气比例阀的控制下将气体输送至流量传感器和压力传感器并经检测接头上的待检测的气泵阀芯流出，而PLC控制系统再通过流量传感器和压力传感器采集数据，并将数据以图表的形式通过显示屏显示出来，以供工作人员可以依据图表直观、快速的判断待检测的气泵阀芯的质量，使得对气泵阀芯的检测具有检测效率高、准确性高的优点。
一种气泵单工位气密测试仪

[发明专利]一种带微槽道结构曲面金刚石氚钛靶的制备方法-CN202210635581.0有效
发明人：李成明;马金彪;黄亚博;黄珂;叶盛;操淑琴;陈良贤;魏俊俊;刘金龙;郑宇亭;欧阳晓平 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种带微槽道结构曲面金刚石氚钛靶制备方法，属于核技术应用技术领域。首先采用直流电弧等离子体化学气相沉积(DC arc plasma jet CVD)制备高热导率曲面金刚石膜；随后采用曲面研磨机对曲面金刚石膜生长面和形核面进行研磨；再通过激光器在金刚石膜的形核面进行微槽道加工；将加工后曲面金刚石膜进行酸洗去除激光加工产生的石墨；最后通过多功能磁控溅射设备在曲面金刚石膜的生长面镀制1‑10μm厚吸氚金属层，进而获得带微槽道结构曲面金刚石氚钛靶。本发明曲面金刚石氚钛靶导热系数高、散热性能优异，特别适用于高载热氚靶散热技术等领域应用需求。
一种带微槽道结构曲面金刚石氚钛靶制备方法

[发明专利]一种具有阵列电极结构金刚石探测器的制备方法-CN202210755404.6有效
发明人：刘金龙;牟恋希;胡婷婷;李成明;魏俊俊;陈良贤;郑宇亭;安康;张建军;欧阳晓平 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有阵列电极结构的金刚石探测器的制备方法，属于半导体技术领域，辐射探测器制备技术，具体涉及“电子级”单晶金刚石，金刚石辐射探测器电极结构及其制备方法。具体包括如下步骤：a)“电子级”(100)单晶金刚石的生长；b)单晶金刚石的表面精密抛光；c)采用飞秒激光技术在金刚石材料内部制备石墨线阵列；d)将多层金属电极镀制在石墨线表面实现电荷收集。本发明在单晶金刚石内引入垂直的石墨阵列电极，能够实现对于金刚石内部电离的电子‑空穴对的高效快速收集，并具有空间分辨特性。
一种具有阵列电极结构金刚石探测器制备方法

[实用新型]一种水泵流量检测设备-CN202223478626.2有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水泵流量检测设备，所述检测设备包括机构框架，压紧工装，插接工装，供电工装，调压工装，计量工装，以及检测控制系统，本实用新型通过将待检测的水泵安装在放置治具内，压紧工装对其压紧固定，插接工装将连接接头插接在供水接头上，供电工装再将水泵通电开机，先检测水泵是否能够正常完成抽水工作；再通过调压工装将水泵泵出水的压力调为标准水压，再通过计量工装测量在一段时间内水泵的抽水量是否符合设计水量，从而对该水泵抽水量的准确度进行检测。
一种水泵流量检测设备

[实用新型]一种多工位的水量计量机构-CN202223478869.6有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： G01G17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位的水量计量机构，所述计量机构包括机构框架，称重器安装立柱、称重器安装面板，电子称重器，称重水箱，下拉气缸，阀杆安装面板，下拉阀杆，以及集水箱，本实用新型通过电子称重器对称重水箱内的水量进行实时称重，用于配合对水泵进行质量检测时对水泵的抽水量进行计量，可以获取每个时间点的称重结果，可以根据一段时间内的称重结果，判断水泵是否能够正常完成抽水工作；也可以根据一段时间内的称重结果计算出平均抽水量，判断水泵抽水量的准确度是否达到要求。
一种多工位水量计量机构

[实用新型]一种水泵性能的检测机构-CN202223478884.0有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水泵性能的检测机构，所述检测机构包括机构框架，压紧工装，插接工装，供电工装，调压工装，以及检测控制系统，本实用新型通过将待检测的水泵安装在放置治具内，压紧工装对其压紧固定，插接工装将连接接头插接在供水接头上，供电工装再将水泵通电开机，先检测水泵是否能够正常完成抽水工作；再通过调压工装将水泵泵出水的压力调为标准水压，再测量在一段时间内水泵的抽水量是否符合设计水量，从而对该水泵抽水量的准确度进行检测。
一种水泵性能检测机构

[实用新型]一种粉末干燥剂的装填设备-CN202223580027.1有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B65G47/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种粉末干燥剂的装填设备，所述装填设备包括框架底座，两个盛装盒上料机构，两个移载机构，粉末料上料机构；本实用新型的盛装盒上料机构通过设有盛装盒震动盘、过料台、旋转的上料圆盘以及两个移载机构，从而能够将小号的金属盛装盒夹取、移放入大号的金属盛装盒内；并将大号的金属盛装盒夹取、移放至下一道工序，从而实现金属盛装盒的自动上料，并在直线驱动机构的带动下，利用下料推板能够将储料仓内的粉末料从出粉孔推出，从而实现自动上料，用以提高粉末干燥剂的生产效率。
一种粉末干燥剂装填设备

[实用新型]一种盛装盒上料设备-CN202223580408.X有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B65G27/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种盛装盒上料设备，所述盛装盒上料设备包括设备底座，两个盛装盒上料机构，以及两个移载机构；其中，所述盛装盒上料机构包括盛装盒震动盘，过料台，旋转座，驱动电机，以及上料圆盘；本实用新型的盛装盒上料机构通过设有盛装盒震动盘、过料台、旋转的上料圆盘以及两个移载机构，从而能够将小号的金属盛装盒夹取、移放入大号的金属盛装盒内；并将大号的金属盛装盒夹取、移放至下一道工序，从而实现金属盛装盒的自动上料，用以提高粉末干燥剂的生产效率。
一种盛装盒上料设备

[实用新型]一种用于干燥剂冲压设备的输送机构-CN202223580475.1有效
发明人： 陈良贤;林秋燕 -专利权人：厦门市智优鑫众自动化有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B65G17/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于干燥剂冲压设备的输送机构，所述输送机构包括输送支架，四个输送齿轮，两输送链条，输送电机，多个冲压治具，输送托板，以及冲压托板；本实用新型的输送机构通过输送电机电动输送链条转动，从而带动冲压治具转动，干燥剂盛装盒能够放置在冲压治具的冲压通孔内，并置于输送托板和冲压托板上，以配合后续的加工，并且，多个冲压治具环绕输送链条并等间距的安装在安装角块上，使得该输送机构能够往复的配合粉末干燥剂的自动生产加工，用以提高粉末干燥剂的生产效率。
一种用于干燥剂冲压设备输送机构

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