[发明专利]一种标记图形及其形成方法

摘要

提供一种用于3D NAND台阶的标记图形的形成方法，其特征在于：标记图形与顶部选择栅(TSG)图形通过一次掩模刻蚀同步形成于N‑O叠层，所形成的标记图形为凸起结构。该标记图形形成在外围台阶区域，且形成在TSG图形垫角落区域。通过将标记图案整合到TSG图形的制备工艺中，减少了整个台阶工艺的步骤，降低了3D NAND的制造成本，解决了台阶工艺中无法测量大台阶图形尺寸变化和套刻(overlay)的问题，同时可以间接反映大台阶侧壁形貌和倾角对应不同刻蚀次数的变化。

主权项

一种用于3D NAND台阶的标记图形的形成方法，包括如下步骤：提供衬底，具有位于其上的N‑O叠层，N‑O叠层包括用于形成沟道通孔的中心区域和形成互连的外围台阶区域；提供一掩模，通过一次刻蚀同步形成顶部选择栅(TSG)图形垫和标记图形。