[发明专利]一种用于曲面图形化的柔性掩膜板制备方法

摘要

本发明公开一种用于曲面图形化的柔性掩膜板的制备方法，步骤：将基片表面预处理；在基片表面贴上干膜；在干膜上溅射一层Cr/Cu种子层；电镀Ni金属膜于基片种子层上；NaOH溶液中浸泡，超声处理释放Ni金属膜；Ni金属掩膜固定于玻璃上，贴一层干膜；对干膜进行曝光显影处理；进行刻蚀或激光切割使Ni金属膜图形化；再把Ni金属膜贴在基片上，溅射所需金属图案；取下Ni膜，得到所需金属的图形结构。本发明使用了柔性金属掩膜代替了传统的硬掩膜，能在曲面表面制造出精细的图形结构。本发明可实现曲面的图形化，柔性Ni膜可重复使用，成本低，操作灵活方便。

主权项

1.一种用于曲面图形化的柔性掩膜板的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：1)将曲面基片表面打磨平整，对曲面基片表面粗抛光处理，用丙酮溶剂去除表面油污，并用电化学除油，超声清洗手段使表面洁净；2)采用层压贴干膜技术在经过步骤1)处理的曲面基片表面进行双面贴膜工艺，贴膜完毕后，进行后烘，得到薄膜层；3)在薄膜层上溅射一层Cr/Cu种子层，得到含种子层的曲面基片；4)在曲面基片的种子层上电镀Ni金属膜，在电镀Ni金属膜前，采用点胶方法添加释放孔；5)将步骤4)得到的曲面基片浸于NaOH溶液超声释放Ni金属膜，将Ni金属膜固定于玻璃，在Ni金属膜上热压贴上干膜；6)对步骤5)处理后的Ni金属膜上的干膜进行曝光显影工艺流程，显影后的图形采用刻蚀工艺，实现Ni金属膜的图形化，得到图形化金属Ni掩膜。