[发明专利]一种圆片级封装结构及其工艺方法有效
申请号: | 201410828528.8 | 申请日: | 2014-12-26 |
公开(公告)号: | CN104465586B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 梁志忠;王亚琴 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/495;H01L21/60 |
代理公司: | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 周彩钧 |
地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种圆片级封装结构及其工艺方法,所述结构包括基板(1),所述基板(1)正面倒装有芯片(2),所述芯片(2)正面设置有金属凸点(3),所述金属凸点(3)与基板(1)之间通过锡球(4)相连接,所述芯片(2)正面与基板(1)之间设置有底部填充胶(5),所述芯片(2)背面包封有塑封料(6),所述基板(1)背面电镀有金属层(7)。本发明一种圆片级封装结构及其工艺方法,圆片上的图面设计与引线框的图面完全对应,实现整片圆片倒装于引线框,再进行圆片的切割分离以及封装,实现单颗芯片尺寸等同于引线框单颗Unit的晶圆级封装。 | ||
搜索关键词: | 基板 圆片级封装结构 引线框 芯片 圆片 金属凸点 背面 底部填充胶 晶圆级封装 单颗芯片 切割分离 图面设计 正面设置 金属层 塑封料 电镀 包封 倒装 图面 锡球 整片 封装 | ||
【主权项】:
1.一种圆片级封装结构的工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:步骤一、取一圆片,圆片正面线路设计完全对应于引线框图面,单颗芯片尺寸等同于封装尺寸;步骤二、在圆片正面电极上制作金属凸点;步骤三、在金属凸点上制作锡球;步骤四、圆片通过金属凸点上的锡球倒装于基板,基板单颗产品尺寸等同于单颗芯片尺寸;步骤五、将完成倒装的圆片与基板放入回流焊设备进行回流焊;步骤六、对完成回流焊的产品进行正面切割,切至基板正面,切穿圆片;步骤七、对完成圆片切割的切割槽内注入底部填充胶,利用毛细现象填充芯片与基板之间空白区;步骤八、对完成底部填充胶填充后产品进行塑封;步骤九、对完成塑封后的产品进行基板背面电镀;步骤十、对完成电镀的产品进行切割,分离单个产品。
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