[发明专利]基板检查装置、基板处理装置、基板检查方法以及基板处理方法

摘要

本发明由旋转保持部以使基板能够旋转的方式保持该基板。在进行第一拍摄时，由拍摄部对由旋转保持部保持的基板进行拍摄，由此生成用于表示基板的图像的第一图像数据。在进行第一拍摄后，由旋转保持部使基板仅旋转预先规定的角度。在使基板旋转后进行第二拍摄时，由拍摄部对由旋转保持部保持的基板进行拍摄，由此生成用于表示基板的图像的第二图像数据。基于第一图像数据及第二图像数据，判定基板的表面状态有无缺陷。

主权项

1.一种基板检查装置，其中，具有：旋转保持部，以使基板能够旋转的方式保持该基板，拍摄部，设置为对由所述旋转保持部保持的基板进行拍摄，第一拍摄控制部，控制所述拍摄部，以在进行第一拍摄时生成用于表示基板的图像的第一图像数据，第一旋转控制部，控制所述旋转保持部，以在进行所述第一拍摄后使基板仅旋转预先规定的角度，第二拍摄控制部，控制所述拍摄部，以在所述第一旋转控制部使基板旋转后进行第二拍摄时，生成用于表示基板的图像的第二图像数据，以及判定部，基于所述第一图像数据及所述第二图像数据，判定基板的表面状态有无缺陷。