[发明专利]半导体装置及其制造方法有效
| 申请号: | 200810092336.X | 申请日: | 2008-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN101295686A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
| 发明(设计)人: | 冈田和央;篠木裕之;关嘉则;山田紘士 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/60;H01L21/78 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种半导体装置及其制造方法,通过提高支承体和粘接层间的耐湿性,从而提高半导体装置的可靠性。本发明的半导体装置具有:在半导体元件上形成的第一绝缘膜(2)、在所述第一绝缘膜(2)上形成的第一配线(3)、在所述半导体元件上经由粘接层(7)粘接的支承体(8)、覆盖从所述半导体元件的背面到侧面的部分及所述粘接层(7)侧面的第三绝缘膜(11)、与所述第一配线(3)连接且经由所述第三绝缘膜(11)在所述半导体元件的背面延伸的第二配线(12)、在所述第二配线(12)上形成的保护膜(13)。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,具有:在半导体元件上形成的第一配线、在所述半导体元件上经由粘接层粘接的支承体、覆盖所述半导体元件的从背面到侧面的部分及所述粘接层侧面的绝缘膜、与所述第一配线连接且经由所述绝缘膜在所述半导体元件的背面延伸的第二配线、在包含所述第二配线的半导体元件上形成的保护膜。
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