专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]IV族衬底上的III-N MEMS结构-CN201580080280.4有效
  • H·W·田;S·达斯古普塔;S·K·加德纳;R·皮拉里塞泰;M·拉多萨夫列维奇;S·H·宋;R·S·周 - 英特尔公司
  • 2015-06-26 - 2022-02-01 - B81C1/00
  • 公开了用于在IV族衬底(例如,硅、硅锗或锗衬底)上形成III族材料‑氮化物(III‑N)微机电系统(MEMS)结构的技术。在一些情况下,该技术包括在衬底上、以及任选地在浅沟槽隔离(STI)材料上形成III‑N层,然后通过蚀刻来释放III‑N层以形成悬置于衬底上方的III‑N层的自由部分。该技术可以包括例如使用湿法蚀刻工艺,其选择性地蚀刻衬底和/或STI材料,但不蚀刻III‑N材料(或者以显著地较慢的速率蚀刻III‑N材料)。可以在III‑N层上形成压阻元件,例如,以检测III‑N层的自由/悬置部分中的振动或挠曲。因此,可以使用该技术来形成MEMS传感器,例如,加速度计、陀螺仪和压力传感器。
  • iv衬底iiimems结构

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