[发明专利]陶瓷封装外壳制备方法及陶瓷封装外壳在审
申请号: | 201811480019.5 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN109494198A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 赵东亮;何潇熙;郝宏坤;杜少勋 | 申请(专利权)人: | 河北中瓷电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L23/08;H01L21/48 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 赵宝琴 |
地址: | 050000 河北省石*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷封装外壳 镀覆 制备 焊接 陶瓷基板表面 陶瓷基板 陶瓷外壳 加工 电子封装技术 修正 金属化处理 复杂形状 简单形状 内部基板 片状陶瓷 烧结 薄壁类 瓷基板 工艺性 金属层 金属化 批生产 底盘 磨抛 排胶 墙体 深腔 生坯 成型 切割 陶瓷 | ||
1.陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
成型,制备简单形状的片状陶瓷生坯;
排胶、烧结,得到陶瓷熟瓷基板;
磨抛、切割,根据预定设计,加工出外壳需要的陶瓷底板、陶瓷墙体及内部基板对应形状的陶瓷基板;
金属化,对各所述陶瓷基板表面进行金属化处理;
镀覆,对各所述陶瓷基板表面镀覆焊接需要的金属层;
焊接,根据设定的外壳的形状,将各部分陶瓷基板焊接到一起,形成陶瓷外壳;
加工修正、镀覆,对焊接后的陶瓷外壳进行加工修正和镀覆,形成产品。
2.如权利要求1所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述成型中:
采用干压成型、流延成型、注塑成型、凝胶注模成型中的一种制备出简单形状的片状陶瓷生坯。
3.如权利要求1所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述排胶、烧结中:
氮化铝烧结温度为1750℃-1850℃,氧化铍烧结温度1600℃-1750℃。
4.如权利要求1所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述金属化中:
采用厚膜金属化、薄膜金属化、直接键合、活性焊接工艺中的一种或几种在陶瓷基板制备金属化。
5.如权利要求4所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述厚膜金属化:
是在陶瓷表面通过丝网印刷的方式印刷10-30μm厚的钨、银、金中的一种或多种浆料,在标准工艺曲线下烧结。
6.如权利要求4所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述薄膜金属化:
是采用溅射、蒸发工艺中的一种,在陶瓷基板表面制备0.1-3μm的钛、钨化钛、镍、铜、铂、铅、金中的一种或多种金属。
7.如权利要求4所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述直接键合工艺:
是在1000-1070℃的条件下,在陶瓷基板表面直接覆接无氧铜。
8.如权利要求4所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述活性焊接工艺:
是采用活性金属焊膏在陶瓷基板表面焊接铜、铝、不锈钢、可伐中的一种或多种金属。
9.如权利要求1所述的陶瓷封装外壳制备方法,其特征在于,所述焊接需要的钎料为银基、铜基、锡基、铅基、铝基中的任一种,根据不同的钎料,选择不同温度,将各部分陶瓷基板焊接到一起。
10.陶瓷封装外壳,其特征在于,采用如权利要求1-9任一项所述的方法制备,包括陶瓷底板和陶瓷墙体,所述陶瓷墙体和陶瓷底板焊接相连。
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