[发明专利]半导体封装件及其制造方法在审
申请号: | 201710541530.0 | 申请日: | 2013-09-02 |
公开(公告)号: | CN107195602A | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 郑斌宏 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/13;H01L21/56 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体封装件,其特征在于,包括:
一基板,具有多个分割道,该多个分割道贯穿该基板;
一芯片,设于该基板上;以及
一底胶,形成于该芯片与该基板之间;
其中,该基板具有一重布线路层;该多个分割道横向地经过该重布线路层,但未分割该重布线路层。
2.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该基板具有数个导电孔,该芯片透过该重布线路层电性连接该些导电孔。
3.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该些个分割道使该基板形成数个彼此分离的子基板,且该重布线路层连接相邻的该些子基板。
4.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该基板包括:
一基材,具有一上表面及一下表面;
一第一介电层,形成于该基材的该下表面,并露出该基板的一导电孔;
一重布线路层,形成于露出的该导电孔;以及
一第二介电层,形成于该重布线路层上并露出的该重布线路层的一部分。
5.如权利要求4所述的半导体封装件,其特征在于,该基板更包括:
一第一介电层,形成于该基材的该上表面,并露出该基板的该导电孔;
一重布线路层,形成于露出的该导电孔;以及
一第二介电层,形成于该重布线路层上并露出的该重布线路层的一部分。
6.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该底胶部分形成于该多个分割道。
7.一种半导体封装件的制造方法,其特征在于,包括:
设置一基板于一载板上;
形成多个分割道贯穿该基板;
设置一芯片于该基板上;
形成一底胶于该芯片与该基板之间;以及
移除该载板;
其中,该基板具有一重布线路层;且该多个分割道横向地经过该重布线路层,但未分割该重布线路层。
8.如权利要求7所述的制造方法,其特征在于,该底胶部分形成于该多个分割道。
9.如权利要求7所述的制造方法,其特征在于,于设置该基板于该载板的步骤中,该基板具有数个导电孔;于形成该多个分割道的步骤中,该多个分割道横向地绕过该些导电孔;于设置该芯片于该基板的步骤中,该芯片电性连接该些导电孔。
10.如权利要求7所述的制造方法,其特征在于,一第一介电层形成于该基板的一表面,并露出该基板的一导电孔;
该重布线路层形成于露出的该导电孔;以及
一第二介电层形成于该重布线路层上并露出的该重布线路层的一部分。
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